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탄소나노튜브 분산액(40)과 금속 도금액(50)을 각각 제조하는 제1단계와;
상기 탄소나노튜브 분산액(40)에 모재로써 작업전극(60)과, 상대전극(70)을 침지하여 전기영동법으로 탄소나노튜브막(100)을 형성하는 제2단계와;
상기 탄소나노튜브막(100)을 상기 금속 도금액(50)에 침지하여 전기도금법으로 상기 탄소나노튜브막(100) 표면에 금속막(200)을 형성하는 제3단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 강화 금속 복합막의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 제2단계 및 제3단계를 복수회로 행하여 탄소나노튜브막(100)과 금속막(200)이 여러 겹으로 적층형성시키는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 강화 금속 복합막의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 제3단계 이전에 탄소나노튜브막(100)이 형성된 모재를 세척하고, 건조하는 과정이 더 포함되는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 강화 금속 복합막의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 제1단계의 탄소나노튜브 분산액 제조를 위한 분산 용매로는, 증류수, 에탄올, 이소프로필알콜, n-펜타놀 및 THF(tetrahydrofuran), DMF(dimethylformamide) 중에 어느 하나 또는 이들을 둘 이상 혼합한 용매를 사용하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 강화 금속 복합막의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 제2단계의 전기영동법에 있어서, 양극에 탄소나노튜브를 전착시킬 경우에는 음이온성 계면활성제를 추가하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 강화 금속 복합막의 제조방법
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제 5항에 있어서, 상기 음이온성 계면활성제로 SDS(Sodium dodecyl sulfate)를 사용하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 강화 금속 복합막의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 제2단계의 전기영동법에 있어서, 음극에 탄소나노튜브를 전착시킬 경우에는 양이온성 계면활성제 또는 NiCl2, Ni(NO3)2·H2O, Mg(NO3)2, MgCl2 및 NaOH 중에 어느 하나의 물질을 추가하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 강화 금속 복합막의 제조방법
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제 7항에 있어서, 상기 양이온성 계면활성제로 BKC(benzalkonium chloride), 테트라알킬암모늄염(CTAB (cetyltrimethylammonium bromide), CTAC(cetyltrimethylammonium chloride), PDMA(poly diallyldimethylammonium chloride) 및 아민계 계면활성제(decylamine, dodecylamine) 중의 어느 하나를 사용하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 강화 금속 복합막의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 탄소나노튜브 강화 금속 복합막 형성을 위한 모재는 원통형 또는 평판형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 강화 금속 복합막의 제조방법
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제 1항 내지 제 9항 중의 어느 한 항의 제조방법에 의해 제조된 탄소나노튜브 강화 금속 복합막이 형성된 것을 특징으로 하는 검사용 탐침장치
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