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고정축에 장착된 각각의 결합수단에 결합되고 회전되는 각각의 암의 끝에 설치된 방사선 광원, 공초점 현미경 및 시편 지지대를 포함하고, 방사선을 감지하여 영상 신호를 생성하는 방사선 검출기를 포함하며,제1 모드에서, 상기 방사선 광원과 상기 방사선 검출기를 이용해 상기 시편 지지대 상의 대상체의 내부 구조에 대한 영상 신호를 획득하고, 제2 모드에서, 상기 공초점 현미경을 이용해 상기 시편 지지대 상의 대상체의 표면 상태에 대한 영상 신호를 획득하기 위한 것으로서, 상기 공초점 현미경은,레이저 광을 발생시키는 광원; 상기 광원에서 발생된 레이저 광을 평행광으로 변환하거나 포커싱하여 출력하는 콜리메이션 렌즈; 상기 콜리메이션 렌즈를 통과한 레이저 광의 일부를 통과시키는 빔스플리터; 상기 빔스플리터를 통과한 레이저 광을 집속하는 제1 FC 콜리메이터; 상기 제1 FC 콜리메이터를 통과한 레이저 광을 전달하는 광섬유; 상기 광섬유를 통과한 레이저 광을 집속하는 제2 FC 콜리메이터; 상기 제2 FC 콜리메이터에서 집속된 레이저 광을 반사시키는 미러; 상기 미러에서 반사된 레이저 광의 제1축 방향으로의 출사각을 조절하여 반사시키는 스캐너 수단; 상기 스캐너 수단에서 반사된 레이저 광을 제2축 또는 제3축 방향으로의 출사각을 조절하여 통과시켜 대상체로 입사하는 제2 렌즈; 대상체에서 반사 또는 산란된 레이저 광이 상기 제2 렌즈, 상기 스캐너 수단, 상기 미러, 상기 제2 FC 콜리메이터, 상기 광섬유, 및 상기 제1 FC 콜리메이터를 거쳐 상기 빔스플리터에서 반사되는 레이저 광을 집속하는 제3 렌즈; 및 상기 제3 렌즈를 통과한 레이저 광을 감지하여 영상 신호를 획득하는 광검출기를 포함하는 것을 특징으로 하는 하이브리드 현미경
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제1항에 있어서, 상기 방사선은 X-선을 포함하는 것을 특징으로 하는 하이브리드 현미경
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제1항에 있어서, 상기 방사선 광원의 방사선 발생, 상기 공초점 현미경의 레이저 광의 발생과 검출, 및 상기 방사선 검출기의 방사선 검출을 제어하는 제어장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 하이브리드 현미경
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제3항에 있어서, 상기 제어장치는, 상기 방사선 광원, 상기 공초점 현미경, 및 상기 시편 지지대의 회전을 제어하는 것을 특징으로 하는 하이브리드 현미경
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제3항에 있어서, 상기 제어장치는 외부의 컴퓨터와 통신하여 상기 제어를 수행하는 것을 특징으로 하는 하이브리드 현미경
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제5항에 있어서, 상기 제어장치는 상기 대상체의 내부 구조에 대한 영상 신호를 처리하고, 상기 대상체의 표면 상태에 대한 영상 신호를 처리하여, 처리된 해당 영상 신호에 따른 영상이 상기 컴퓨터의 디스플레이 수단에서 디스플레이되도록 상기 컴퓨터로 전송하는 것을 특징으로 하는 하이브리드 현미경
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제1항에 있어서, 상기 제1 모드에서, 상기 고정축을 중심으로 상기 각각의 암을 회전시켜 상기 방사선 검출기의 위치로 상기 방사선 광원 및 상기 시편 지지대를 정렬하여, 상기 방사선 광원에서 발생한 방사선을 상기 시편 지지대 상의 대상체로 조사하고 상기 방사선 검출기를 이용해 상기 대상체를 투과한 투과 방사선을 감지하여 상기 대상체의 내부 구조에 대한 영상 신호를 획득하고,상기 제2 모드에서, 상기 고정축을 중심으로 상기 각각의 암을 회전시켜 상기 시편 지지대의 위치로 상기 공초점 현미경을 정렬하여, 상기 공초점 현미경에서 발생한 레이저 광을 상기 시편 지지대 상의 대상체로 조사하고 상기 대상체에서 반사되는 레이저 광을 상기 공초점 현미경에서 검출하여 상기 대상체의 표면 상태에 대한 영상 신호를 획득하는 것을 특징으로 하는 하이브리드 현미경
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제1항에 있어서, 상기 스캐너 수단은 갈바노 방식의 거울 회전기 또는 MEMS 스캐너인 것을 특징으로 하는 하이브리드 현미경
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제1항에 있어서, 상기 제2 렌즈는 광디스크 모듈의 픽업 렌즈 형태인 것을 특징으로 하는 하이브리드 현미경
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제1항에 있어서, 상기 제3렌즈는 볼록 렌즈인 것을 특징으로 하는 하이브리드 현미경
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