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내부의 진공상태 유지를 위한 하우징을 포함하는 엑스레이 튜브에 있어서,상기 하우징 내부에 배치되며 일측에 연결된 제1 전원으로부터 공급되는 전압에 의해 전자를 방출하는 음극;상기 음극과 이격되어 상기 하우징 내부에 배치되며 일측에 연결된 상기 제1 전원으로부터 공급되는 전압에 의해 상기 음극으로부터 방출된 전자가 충돌하는 양극; 및상기 음극과 상기 양극 사이에 배치되며 일측에 연결되는 제2 전원으로부터 공급되는 전압에 의해 상기 음극으로부터 방출되는 전자의 양을 조절하는 게이트 전극을 포함하고,상기 제2 전원은 상기 음극의 일측과 연결되며 상기 제1 전원이 상기 음극에 공급하는 전위보다 작은 크기의 전위를 상기 게이트 전극에 공급하여 상기 게이트 전극이 상기 음극보다 낮은 전위를 갖도록 하는 것을 특징으로 하는 마이크로 포커스 엑스레이 튜브
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제 1항에 있어서,일측이 상기 음극과 연결되고 타측이 상기 제1 전원과 연결되어 상기 제1 전원으로부터 상기 음극으로 공급되는 전류의 크기를 조절하는 전류 조절부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 포커스 엑스레이 튜브
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제 2항에 있어서,상기 전류 조절부는 MOSFET인 것을 특징으로 하는 마이크로 포커스 엑스레이 튜브
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제 1항에 있어서,상기 게이트 전극은 상기 음극을 감싸는 형태로 구비되고, 상기 양극과 대향하는 상기 게이트 전극의 일면이 상기 음극의 전자 방출면과 동일 선상에 배치되거나 또는 상기 음극의 전자 방출면 후측에 배치되는 것을 특징으로 하는 마이크로 포커스 엑스레이 튜브
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5 |
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제 1항에 있어서,상기 음극의 일측은 상기 제2 전원과 연결되는 것을 특징으로 하는 마이크로 포커스 엑스레이 튜브
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내부의 진공상태 유지를 위한 하우징을 포함하는 엑스레이 튜브에 있어서,상기 하우징 내부에 배치되며 일측으로부터 공급되는 전원에 의해 전자를 방출하는 음극;상기 음극과 이격되어 상기 하우징 내부에 배치되며 상기 음극으로부터 방출된 전자가 충돌하는 양극;상기 음극과 상기 양극 사이에 배치되며 일측에 연결된 제2 전원으로부터 공급되는 전압에 의해 상기 음극으로부터 방출되는 전자의 양을 조절하는 제1 게이트 전극; 및상기 양극과 상기 제1 게이트 전극 사이에 배치되며 일측에 연결된 제3 전원으로부터 공급되는 전압에 의해 상기 음극으로부터 방출되는 전자의 양을 조절하는 제2 게이트 전극을 포함하고,상기 제2 전원은 상기 음극의 일측과 연결되며 상기 제1 전원이 상기 음극에 공급하는 전위보다 작은 크기의 전위를 상기 제1 게이트 전극에 공급하여 상기 제1 게이트 전극이 상기 음극보다 낮은 전위를 갖도록 하고, 상기 제3 전원은 상기 음극의 일측과 연결되고 상기 제3 전원으로부터 공급되는 전압에 의해 상기 음극으로부터 전자가 방출되는 것을 특징으로 하는 마이크로 포커스 엑스레이 튜브
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7 |
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제 6항에 있어서,일측이 상기 음극과 연결되고 타측이 상기 제1 전원과 연결되어 상기 제1 전원으로부터 상기 음극으로 공급되는 전류의 크기를 조절하는 전류 조절부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 포커스 엑스레이 튜브
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8 |
8
제 7항에 있어서,상기 전류 조절부는 MOSFET인 것을 특징으로 하는 마이크로 포커스 엑스레이 튜브
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제 6항에 있어서,상기 제1 게이트 전극은 상기 음극을 감싸는 형태로 구비되고, 상기 양극과 대향하는 상기 제1 게이트 전극의 일면이 상기 음극의 전자 방출면과 동일 선상에 배치되거나 또는 상기 음극의 전자 방출면 후측에 배치되는 것을 특징으로 하는 마이크로 포커스 엑스레이 튜브
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10
제 6항에 있어서,상기 음극의 일측은 상기 제2 전원과 연결되는 것을 특징으로 하는 마이크로 포커스 엑스레이 튜브
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