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공정 기판을 준비하는 단계;상기 공정 기판 위에 시드층을 형성하는 단계;상기 시드층 위에 범프 공간을 형성하기 위한 PR 패턴을 적층하는 1차 포토리소그래피 공정 단계;상기 PR 패턴 위에서 전기도금을 실시하여 1차 포토리소그래피 공정 중 PR이 제거된 부분에 범퍼가 되는 메탈 도금층을 형성하는 단계;상기 메탈 도금층 형성 후에 상기 1차 포토리소그래피 공정 단계에서 적층된 상기 PR 패턴 위에 배선 공간을 형성하기 위한 PR 패턴을 적층하는 2차 포토리소그래피 공정 단계;상기 2차 포토리소그래피 공정에서 형성된 PR 패턴 위에서 전기도금을 실시하여 상기 2차 포토리소그래피 공정 중 PR이 제거된 부분에 배선이 되는 메탈 도금층을 형성하는 단계;상기 배선 위로 프로브 블록의 기판이 되는 필름을 접착하는 단계; 및상기 공정 기판 및 상기 시드층을 제거한 후, 상기 1차 포토리소그래피 공정에서 형성된 PR 패턴 및 상기 2차 포토리소그래피 공정에서 형성된 PR 패턴 모두 제거하는 단계를 포함하는 패널 검사용 프로브 블록의 제조 방법
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청구항 1에 있어서,상기 공정 기판으로 실리콘 기판 또는 유리 기판을 사용하는 것을 특징으로 하는 패널 검사용 프로브 블록의 제조 방법
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청구항 1에 있어서,상기 시드층은 공정 기판에 Cu 박막을 증착하여 형성하는 것을 특징으로 하는 패널 검사용 프로브 블록의 제조 방법
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청구항 3에 있어서,공정 기판을 제거할 때 Cu 식각액으로 상기 Cu 박막을 선택적으로 식각함으로써 필름을 분리하는 것을 특징으로 하는 패널 검사용 프로브 블록의 제조 방법
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청구항 1에 있어서,상기 범퍼가 되는 메탈 도금층을 형성하는 단계에서, 상기 1차 포토리소그래피 공정에 의해 형성된 PR 패턴에서 Ti-Co 도금을 실시하여 메탈 도금층을 형성하는 것을 특징으로 하는 패널 검사용 프로브 블록의 제조 방법
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청구항 1에 있어서,상기 배선이 되는 메탈 도금층을 형성하는 단계에서, 상기 2차 포토리소그래피 공정에 의해 형성된 PR 패턴에서 Cu 도금을 실시하여 메탈 도금층을 형성하는 것을 특징으로 하는 패널 검사용 프로브 블록의 제조 방법
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청구항 1에 있어서,상기 필름을 접착하는 단계에서 접착제로서 경화 후 접착 성능을 나타내는 액상 레진(Resin) 또는 UV 에폭시(Epoxy)를 사용하는 것을 특징으로 하는 패널 검사용 프로브 블록의 제조 방법
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청구항 1에 있어서,상기 필름을 접착하는 단계에서 접착 테이프를 사용하여 필름을 접착하는 것을 특징으로 하는 패널 검사용 프로브 블록의 제조 방법
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청구항 1에 있어서,상기 공정 기판 및 시드층을 제거할 때 식각액으로 시드층을 선택적으로 식각함으로써 시드층을 제거함과 더불어 공정 기판을 분리하여 제거하는 것을 특징으로 하는 패널 검사용 프로브 블록의 제조 방법
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청구항 1에 있어서,상기 공정 기판 및 시드층을 제거할 때 기계적 연마 또는 화학적 식각의 방법을 통하여 공정 기판을 제거한 후 식각액으로 시드층을 식각하여 제거하는 것을 특징으로 하는 패널 검사용 프로브 블록의 제조 방법
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