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내부가 진공상태로 밀폐되고 진공상태로 유지되어야 할 적용 기기 내부에 설치되어 일단이 적용 기기 내부에 고정되는 벨로우즈;상기 적용 기기의 내부 압력 상태에 따라 벨로우즈가 길이방향으로 신장 및 수축될 때 벨로우즈의 신장 및 수축 상태에 따른 신호를 출력하는 신호출력부;를 포함하고, 상기 신호출력부는 그로부터 출력되는 신호를 입력받아 벨로우즈가 수축된 상태를 진공 해제 상태로 판단하는 제어부에 연결되며, 상기 신호출력부는,상기 벨로우즈의 신장 및 수축 상태에 따라 길이방향으로 이동하는 벨로우즈의 가동단에 형성되는 제1전극과; 상기 벨로우즈 일측에 형성되어 제1전극과 전기적으로 연결되어 구비되는 제2전극과;상기 벨로우즈의 신장 및 수축 상태에 따라 제1전극과 온/오프되는 스위치 접점을 형성하도록 상기 적용 기기 내에 고정 설치되는 접점부;를 포함하여 구성되고, 상기 제2전극과 접점부가 전류를 인가하면서 통전 상태를 검출하는 상기 제어부에 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 진공도 센서
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청구항 1에 있어서,상기 벨로우즈가 도체로 제작되고, 상기 제1전극과 제2전극이 도체인 벨로우즈에 의해 통전 가능하게 연결되는 것을 특징으로 하는 진공도 센서
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청구항 1에 있어서,상기 제2전극이 적용 기기 내부에 고정되는 벨로우즈의 일단에 형성되는 것을 특징으로 하는 진공도 센서
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청구항 5에 있어서,상기 제1전극과 제2전극이 벨로우즈의 양단에 벨로우즈 내부를 밀폐하도록 고정 설치되는 것을 특징으로 하는 진공도 센서
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청구항 1에 있어서,상기 제1전극에는 외부로 길게 연장되는 연장부가 형성되고, 상기 접점부가 제1전극의 연장부와 스위치 접점을 형성하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 진공도 센서
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8
청구항 1에 있어서,상기 신호출력부는,상기 벨로우즈의 신장 및 수축 상태에 따라 길이방향으로 이동하는 벨로우즈의 가동단에 설치되는 반사경과, 상기 반사경으로 빛을 조사하고 반사된 빛을 검출하는 광검출부;를 포함하여 구성되고, 상기 벨로우즈의 수축 상태에서만 광검출부에서 조사된 빛이 도달하여 반사될 수 있도록 상기 반사경의 위치가 설정되며, 상기 광검출부가 반사경에 의해 반사된 빛을 검출함에 따른 신호를 인가하도록 제어부에 연결되는 것을 특징으로 하는 진공도 센서
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내부가 진공상태로 밀폐되는 하우징과, 상기 하우징의 내부 일측에 고정 설치되고 고정접점부를 갖는 고정전극부와, 상기 하우징의 내부 타측에 전후진 가능하게 설치되고 가동접점부를 가지며 전후진됨에 따라 전류를 통전/차단할 수 있게 상기 가동접점부가 고정전극부의 고정접점부와 접촉/분리되면서 접점을 개폐하게 되는 가동전극부와, 상기 하우징의 내부에서 고정접점부와 가동접점부의 주변을 둘러싸도록 이격 배치되는 아크실드와, 상기 하우징 내 진공상태가 해제됨을 검출하기 위한 진공도 센서를 포함하며, 상기 진공도 센서는, 내부가 진공상태로 밀폐되고 진공상태로 유지되어야 할 하우징 내부에 설치되어 일단이 하우징 내부에 고정되는 벨로우즈와;상기 하우징의 내부 압력 상태에 따라 벨로우즈가 길이방향으로 신장 및 수축될 때 벨로우즈의 신장 및 수축 상태에 따른 신호를 출력하는 신호출력부;를 포함하고, 상기 신호출력부는 그로부터 출력되는 신호를 입력받아 벨로우즈가 수축된 상태를 진공 해제 상태로 판단하는 제어부에 연결되며, 상기 신호출력부는,상기 벨로우즈의 신장 및 수축 상태에 따라 길이방향으로 이동하는 벨로우즈의 가동단에 형성되는 제1전극과; 상기 벨로우즈 일측에 형성되어 제1전극과 전기적으로 연결되어 구비되는 제2전극과;상기 벨로우즈의 신장 및 수축 상태에 따라 제1전극과 온/오프되는 스위치 접점을 형성하도록 상기 하우징 내에 고정 설치되는 접점부;를 포함하여 구성되고, 상기 제2전극과 접점부가 전류를 인가하면서 통전 상태를 검출하는 상기 제어부에 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 진공밸브
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청구항 9에 있어서,상기 벨로우즈가 도체로 제작되고, 상기 제1전극과 제2전극이 도체인 벨로우즈에 의해 통전 가능하게 연결되는 것을 특징으로 하는 진공밸브
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청구항 12에 있어서,상기 제2전극이 아크실드에 접속되어 고정되고, 상기 접점부가 하우징 내부로 삽입되어 고정 설치되며, 제2전극이 접속된 상태로 하우징 외부로 노출된 아크실드 일측과 접점부가 상기 제어부에 연결되는 것을 특징으로 하는 진공밸브
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청구항 9에 있어서,상기 제2전극이 하우징 내부에 고정되는 벨로우즈의 일단에 형성되는 것을 특징으로 하는 진공밸브
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청구항 14에 있어서,상기 제1전극과 제2전극이 벨로우즈의 양단에 벨로우즈 내부를 밀폐하도록 고정 설치되는 것을 특징으로 하는 진공밸브
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16
청구항 9에 있어서,상기 제1전극에는 외부로 길게 연장되는 연장부가 형성되고, 상기 접점부가 제1전극의 연장부와 스위치 접점을 형성하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 진공밸브
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17
청구항 9에 있어서,상기 신호출력부는,상기 벨로우즈의 신장 및 수축 상태에 따라 길이방향으로 이동하는 벨로우즈의 가동단에 설치되는 반사경과, 상기 반사경으로 빛을 조사하고 반사된 빛을 검출하는 광검출부;를 포함하여 구성되고, 상기 벨로우즈의 수축 상태에서만 광검출부에서 조사된 빛이 도달하여 반사될 수 있도록 상기 반사경의 위치가 설정되며, 상기 광검출부가 반사경에 의해 반사된 빛을 검출함에 따른 신호를 인가하도록 제어부에 연결되는 것을 특징으로 하는 진공밸브
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18
청구항 17에 있어서,상기 광검출부가 하우징 외부에 설치되고, 상기 하우징에는 광검출부로부터 하우징 내부로 조사되는 빛을 투과시키면서 반사경에 의해 반사된 빛을 투과시키는 광투과부가 설치된 것을 특징으로 하는 진공밸브
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