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레이저의 M2 값을 측정하기 위한 레이저 M2 측정기에 있어서, 레이저 빔을 순차 통과시키기 위해 일정 거리씩 이격된 복수의 빔 스플릿터; 상기 복수의 빔 스플릿터에서 각각 분리되어 반사되 나오는 경로 차이가 있는 복수의 레이저빔들의 영상을 획득하는, 이동없는 고정된 카메라; 및레일리 거리 보다 짧은 경우와 긴 경우에 대하여 동시에 측정하기 위한 다른 빔 스플릿터를 포함하고,상기 다른 빔 스플릿터를 이용해 상기 레이저 빔이 분리되는 제1 레이저빔과 제2 레이저빔 중 상기 제1 레이저빔은 상기 복수의 빔 스플릿터로 입사시키고, 상기 제2 레이저빔은 다른 광학계의 경로를 거쳐 상기 복수의 빔 스플릿터로 입사시키며,상기 카메라는, 분리된 상기 복수의 레이저빔들로부터 직접 해당 경로 차이가 있는 레이저 빔들의 영상을 획득하거나, 분리된 상기 복수의 레이저빔들이 반사 거울을 통해 반사될 때 해당 경로 차이가 있는 레이저 빔들의 영상을 획득하는 것을 특징으로 하는 레이저 M2 측정기
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제1항에 있어서,레일리 거리가 짧은 경우를 위해, 상기 복수의 빔 스플릿터로서 쐐기 구조의 프리즘을 이용하고,미리 결정된 좌우 두께와 입사면과 반사면 사이의 각도를 갖는 상기 프리즘의 상기 입사면에 레이저 빔을 일정 각도로 입사하여, 상기 프리즘 내에서 반사 또는 굴절을 거쳐 경로차가 있는 다른 위치들에서 분리되어 나오는 레이저빔들의 영상을 획득하는 것을 특징으로 하는 레이저 M2 측정기
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제1항에 있어서,상기 제2 레이저빔에 대해 복수의 반사거울들을 이용해 경로를 변경하여 상기 복수의 빔 스플릿터의 높이에 맞춘 후 상기 복수의 빔 스플릿터로 입사시키는 것을 특징으로 하는 레이저 M2 측정기
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제1항에 있어서,측정 오차를 줄이고 단위 면적당 빔의 강도를 맞추기 위하여,상기 복수의 빔 스플릿터 각각의 반사도가 서로 다르게 미리 결정되어 사용되는 것을 특징으로 하는 레이저 M2 측정기
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제6항에 있어서,상기 복수의 빔 스플릿터 중 마지막 번째 빔 스플릿터의 반사도는 1인 것을 특징으로 하는 레이저 M2 측정기
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제6항에 있어서,상기 복수의 빔 스플릿터 5개 중 마지막 번째 빔 스플릿터를 제외한 빔 스플릿터들의 반사도는, 수학식에 의하여 결정되며, 여기서, 상기 복수의 빔 스플릿터에서 각 레이저 빔의 에너지의 비 a1=E1/E2=w12/w22, a2=E2/E3=w22/w32, a3=E3/E4=w32/w42, a4=E4/E5=w42/w52이고, R1, R2, R3, R4는 5개의 상기 복수의 빔 스플릿터 중 마지막 번째 빔 스플릿터를 제외한 첫번째부터 네번째 스플릿터들의 순차적인 반사도, E1, E2, E3, E4, E5는 5개의 상기 복수의 빔 스플릿터의 첫번째부터 순차적인 레이저 빔의 에너지이며, w1, w2, w3, w4, w5는 5개의 상기 복수의 빔 스플릿터의 첫번째부터 순차적인 레이저 빔의 크기인 것을 특징으로 하는 레이저 M2 측정기
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제1항에 있어서,상기 경로 차이의 정확도를 높이기 위하여, 입사되는 레이저 빔의 진행 방향의 앞뒤로 상기 카메라를 이동시켜 영상을 획득하는 것을 특징으로 하는 레이저 M2 측정기
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제1항에 있어서,상기 복수의 빔 스플릿터를 동시에 좌우 이동시키기 위한 이동기를 포함하고,상기 이동기는 손잡이의 회전에 따라 상기 손잡이와 벨트로 결합된 볼트들을 회전시킴으로써, 상기 볼트들과 결합된 해당 너트들의 좌우 이동으로 상기 너트들에 결합된 빔 스플릿터 장착부들을 이동시킴으로써 상기 빔 스플릿터 장착부들에 결합된 상기 복수의 빔 스플릿터를 동시에 좌우 이동시키는 것을 특징으로 하는 레이저 M2 측정기
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제10항에 있어서,상기 볼트들의 나사산 수를 서로 다르게 하여, 상기 볼트들이 동일한 회전수로 회전하여도 상기 복수의 빔 스플릿터 각각의 이동거리를 다르게 한 것을 특징으로 하는 레이저 M2 측정기
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레이저 빔을 복수의 빔 스플릿터로 순차 통과시켜 경로 차이가 있는 복수의 레이저빔들로 분리하는 단계; 및이동없는 고정된 카메라를 이용하여, 분리된 상기 복수의 레이저빔들로부터 직접 해당 경로 차이가 있는 레이저 빔들의 영상을 획득하거나, 분리된 상기 복수의 레이저빔들을 반사 거울을 통해 반사시켜 해당 경로 차이가 있는 레이저 빔들의 영상을 획득하는 단계를 포함하되,레일리 거리 보다 짧은 경우와 긴 경우에 대하여 동시에 측정하기 위해, 다른 빔 스플릿터를 이용해 상기 레이저 빔이 분리되는 제1 레이저빔과 제2 레이저빔 중 상기 제1 레이저빔은 상기 복수의 빔 스플릿터로 입사시키고, 상기 제2 레이저빔은 다른 광학계의 경로를 거쳐 상기 복수의 빔 스플릿터로 입사시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저의 M2 값 측정 방법
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