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기판의 완충층용 이트리아 용액의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015163657
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기판의 완충층용 이트리아 용액의 제조방법에 관한 것으로, 이트륨아세테이트테트라하이드레이트와 메탄올을 혼합하여 혼합물을 형성시키고 교반시키는 제1단계와; 제1단계의 혼합물에 킬레이트제인 디에탄올아민을 투입하고 교반시켜 합성물을 합성시키는 제2단계와; 상기 제2단계에서 합성된 합성물을 필터를 이용하여 필터링 시켜 졸을 수득하는 제3단계;를 포함하여 구성되는 기판의 완충층용 이트리아 용액의 제조방법을 기술적 요지로 한다. 이에 따라, 졸-겔 공정에 의해 제작된 이트리아 용액을 제조하되, 기판상면에 도포되어 기판을 평탄화시킴과 동시에 기판 물질의 확산을 막아 주는 디퓨전 베리어(diffusion barrier)인 완충층 역할을 하는 이점이 있다.
Int. CL C23C 26/00 (2006.01) C23C 2/04 (2006.01)
CPC C23C 18/1208(2013.01) C23C 18/1208(2013.01) C23C 18/1208(2013.01) C23C 18/1208(2013.01) C23C 18/1208(2013.01)
출원번호/일자 1020110133224 (2011.12.12)
출원인 한국전기연구원
등록번호/일자 10-1323252-0000 (2013.10.23)
공개번호/일자 10-2013-0066415 (2013.06.20) 문서열기
공고번호/일자 (20131030) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.12.12)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 대한민국 경상남도 창원시 성산구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 고락길 대한민국 경상남도 창원시 성산구
2 하동우 대한민국 경상남도 창원시 성산구
3 손명환 대한민국 부산광역시 금정구
4 김동혁 대한민국 강원도 태백시
5 강부민 대한민국 부산광역시 해운대구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인부경 대한민국 부산광역시 연제구 법원남로**번길 **, *층 (거제동, 대한타워)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 경상남도 창원시 성산구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.12.12 수리 (Accepted) 1-1-2011-0986693-30
2 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.04.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0303534-49
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.03.25 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.05.07 수리 (Accepted) 9-1-2013-0032056-35
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.06.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0381672-29
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.08.05 수리 (Accepted) 1-1-2013-0708583-43
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.08.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0708563-30
8 등록결정서
Decision to grant
2013.08.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0581478-14
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.04 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006987-25
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번호 청구항
1 1
이트륨아세테이트테트라하이드레이트와 메탄올을 혼합하여 혼합물을 형성시키고 교반시키는 제1단계와;제1단계의 혼합물에 킬레이트제인 디에탄올아민을 투입하고 교반시켜 합성물을 합성시키는 제2단계와; 상기 제2단계에서 합성된 합성물을 필터를 이용하여 필터링 시켜 졸을 수득하는 제3단계;를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 기판의 완충층용 이트리아 용액의 제조방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 제1단계는 50℃~60℃에서 30분 내지 5시간 동안 진행됨을 특징으로 하는 기판의 완충층용 이트리아 용액의 제조방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 2단계의 디에탄올아민의 투입은 시린지(syringe)를 이용하여 투입됨을 특징으로 하는 기판의 완충층용 이트리아 용액의 제조방법
4 4
제1항에 있어서, 상기 제2단계는 상온에서 30분 내지 5시간 진행됨을 특징으로 하는 기판의 완충층용 이트리아 용액의 제조방법
5 5
제1항에 있어서, 상기 3단계의 필터링은 시린지(syringe) 필터를 이용하여 진행됨을 특징으로 하는 기판의 완충층용 이트리아 용액의 제조방법
6 6
삭제
7 7
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8 8
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9 9
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패밀리정보가 없습니다
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