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레이저를 광학계로 집속하여 펠리클 또는 홀을 가진 반사면으로 이루어진 반사판에서 투과시켜 스캐닝 미러를 통해 THz파 생성을 위한 광학 결정체로 입사시키되,상기 광학 결정체 상부로 광 손실을 줄이기 위한 비반사 코팅층이 형성되어 있고, 상기 광학 결정체 하부로 측정 대상 시료를 보호하고 상기 광학 결정체를 보호하며 특정 주파수의 THz파를 통과시키기 위한 기능성 레이어가 형성되어 있으며,상기 기능성 레이어 하부의 상기 시료를 투과한 THz파를 광검출기로 측정하거나, 상기 시료에서 반사되는 THz파가 상기 스캐닝 미러와 상기 반사판에서 재반사되는 THz파를 광검출기로 측정하여 해당 전기적 신호를 검출하는 것을 특징으로 하는 분광/영상 측정 방법
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레이저를 집속하는 제1광학계;펠리클 또는 홀을 가진 반사면으로 이루어진 반사판;스캐닝 미러;THz파 생성을 위한 광학 결정체, 상기 광학 결정체 상부로 광 손실을 줄이기 위한 비반사 코팅층이 형성되어 있고, 상기 광학 결정체 하부로 측정 대상 시료를 보호하고 상기 광학 결정체를 보호하며 특정 주파수의 THz파를 통과시키기 위한 기능성 레이어가 형성되어 있는 THz파 발생 수단; 및광검출기를 포함하고, 상기 광검출기는, 상기 제1광학계에서 집속된 레이저가 상기 반사판을 투과하고 상기 스캐닝 미러를 통해 상기 THz파 발생 수단 하부에 놓인 상기 시료를 투과한 THz파에 대한 전기적 신호를 생성하거나, 상기 시료에서 반사되는 THz파가 상기 스캐닝 미러와 상기 반사판에서 재반사되는 THz파에 대한 전기적 신호를 생성하는 것을 특징으로 하는 분광/영상 측정 시스템
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제2항에 있어서,상기 광학 결정체 보호를 위해, 상기 광학 결정체와 상기 비반사 코팅층 사이에 형성된 지지층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 분광/영상 측정 시스템
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제2항에 있어서,분해능을 높이기 위하여, 상기 시료를 투과한 THz파를 통과시키기 위한 핀홀; 및 상기 핀홀을 통과한 THz파를 집속하는 2 광학계를 더 포함하고, 상기 광검출기는, 상기 제2 광학계에서 집속된 THz파에 대한 전기적 신호를 검출하는 것을 특징으로 하는 분광/영상 측정 시스템
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제2항에 있어서,분해능을 높이기 위하여, 상기 시료에서 반사된 후 상기 스캐닝 미러와 상기 반사판에서 반사되는 THz파를 집속하는 제2 광학계; 및 상기 제2 광학계에서 집속된 THz파를 통과시키기 위한 핀홀을 더 포함하고, 상기 광검출기는, 상기 핀홀을 통과한 THz파에 대한 전기적 신호를 검출하는 것을 특징으로 하는 분광/영상 측정 시스템
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제2항에 있어서,상기 시료의 위치별 스캐닝을 통해 상기 광검출기가 검출하는 전기적 신호에 기초한 THz파 스펙트럼을 분석하기 위하여, 제어 신호에 따라 상기 스캐닝 미러에 포함된 2개의 미러들에 의한 2차원 스캐닝을 이용하는 것을 특징으로 하는 분광/영상 측정 시스템
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