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레이저 다이오드 광펌핑을 이용한 펨토초 레이저 장치에 있어서,레이저 매질(LC), 및 상기 레이저 매질(LC)을 지지하는 레이저 매질 마운트를 포함하여 구성되는 레이저 매질 조립체(130)가 광축 방향으로 길게 연장된 모듈 결합봉(101)에 조립되어 상기 모듈 결합봉(101)을 매개로 집속 렌즈(FL) 및 이색성 거울(DM1,DM2)과 일체형의 광펌핑 모듈(100)을 이루도록 조립되고, 상기 레이저 매질(LC)을 포함하여 레이저 매질 조립체(130) 전체가 광축 방향으로 위치 조절될 수 있게 상기 레이저 매질 마운트가 상기 모듈 결합봉(101)을 따라 광축 방향으로 위치 조절 가능하게 조립되며,상기 레이저 매질 마운트는 모듈 결합봉(101)에 결합되는 연결블록(132,133)과, 상기 연결블록(132,133)에 조립되고 레이저 매질(LC)을 지지하는 지지블록(134)을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 장치
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청구항 1에 있어서,상기 모듈 결합봉(101)은 반파장판(λ/2), 콜리메이팅 렌즈(CL), 집속 렌즈(FL), 이색성 미러(DM1,DM2)가 장착된 각각의 마운트(111,121,122)와 상기 레이저 매질 마운트를 관통하도록 결합되어 반파장판(λ/2)과 콜리메이팅 렌즈(CL)를 추가로 더 일체화하고, 상기 모듈 결합봉(101)이 레이저 플랫폼(1)상에 설치된 적어도 1개 이상의 모듈 커플러(102,103)에 의해 지지되는 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 장치
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청구항 1에 있어서,상기 모듈 결합봉(101)이 레이저 매질 마운트를 관통하여 결합된 상태에서, 레이저 매질(LC)의 위치가 조절되고 나면, 레이저 매질 마운트에 형성된 체결홀(136)을 통해 모듈 결합봉(101)을 조여주도록 볼트나 스크류가 체결되는 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 장치
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청구항 1에 있어서,상기 레이저 매질 조립체(130)는 레이저 매질(LC)을 냉각시키기 위한 냉각수단을 더 포함하고, 상기 냉각수단은 냉각수가 통과하는 내부공간을 가지면서 냉각수 유입포트(137b,138a) 및 냉각수 배출포트(137a,138b)를 구비하고 레이저 매질 마운트에 결합된 상태로 상기 레이저 매질(LC)을 둘러싸도록 설치되는 냉각블록(137,138)을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 장치
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청구항 1에 있어서,상기 지지블록(134)이 상기 연결블록(132,133)에서 광축 방향으로 이동 가능하게 조립되고,레이저 매질 조립체(130)가 레이저 매질(LC)의 광축 방향 위치 미세 조절을 위해 상기 연결블록(132,133)에서 지지블록(134)의 광축 방향 위치를 미세 조절하는 미세 위치조절 장치(145)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 장치
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청구항 6에 있어서,상기 미세 위치조절 장치(145)가 심블(147)의 회전 조작에 의해 본체(146)에서 스핀들이 전후진 동작하도록 구성된 마이크로미터 타입의 수동 액츄에이터(145a)를 포함하여 구성되고, 상기 마이크로미터 타입의 수동 액츄에이터(145a)는 스핀들을 전후진 동작시킴에 따라 지지블록(134)을 광축 방향으로 이동시킬 수 있게 구비되는 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 장치
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청구항 7에 있어서,레이저 매질 마운트의 지지블록(134)에 가동블록(143)이 일체로 고정되고, 상기 가동블록(143)이 측방으로 돌출 형성되어 연결블록(132,133)과 전후로 배치되는 돌출부(144)를 가지면서 연결블록(132,133)에서 광축 방향으로 이동 가능하게 조립되며, 상기 돌출부(144) 전방으로 배치된 연결블록(132)에 수동 액츄에이터(145a)의 본체(146)가 고정된 상태에서, 상기 수동 액츄에이터(145a)의 스핀들이 돌출부(144) 전방의 연결블록(132)을 관통한 상태로 상기 심블(147)의 회전 조작에 따른 전진시에 상기 돌출부(144)를 밀어주도록 된 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 장치
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청구항 8에 있어서,상기 돌출부(144)와 돌출부 후방으로 배치되는 연결블록(133) 사이에는 스핀들의 전진 상태에서 상기 심블(147)의 회전 조작에 따른 스핀들의 후진시에 상기 돌출부(144) 및 가동블록(143)을 리턴 이동시키기 위한 탄성복원력을 제공하는 리턴 스프링이 설치되는 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 장치
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청구항 6에 있어서,상기 미세 위치조절 장치(145)가 연결블록(132,133)에서 지지블록(134)의 광축 방향 위치를 조절하는 자동화된 1차원 스테이지 및 액추에이터를 포함하는 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 장치
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청구항 1에 있어서,상기 이색성 거울(DM2)의 후방에 이색성 거울을 투과한 빛이 흡수되는 투과빔 블로커(d2)가 설치되는 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 장치
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