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미세구조체 합성 원료를 기판 상으로 공급하는 미세 노즐; 및상기 미세 노즐에서 상기 합성 원료가 상기 기판 쪽으로 공급되는 동안 상기 기판과 상기 미세 노즐 사이의 합성 원료에 마이크로파를 국부적으로 가하여 상기 기판 상에 미세구조체를 형성시키는 마이크로파 발생 장치를 포함하되,상기 마이크로파 발생 장치는, 마이크로파 소스로부터 받은 마이크로파를 전송하는 마이크로파 전송선을 포함하고,상기 마이크로파 전송선은 상기 미세 노즐의 외벽에 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 미세구조체 제조 장치
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제2항에 있어서,상기 미세구조체 제조 장치는,제어 신호에 따라 상기 미세 노즐 또는 상기 기판을 미세구조체 형성 위치로 상하좌우 이동시키기 위한 제어 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세구조체 제조 장치
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제2항에 있어서,상기 마이크로파 전송선 중 어느 하나 이상의 끝단은, 상기 합성 원료에 마이크로파를 국부적으로 가하기 위한 안테나 부분을 포함하는 것을 특징으로 하는 미세구조체 제조 장치
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미세구조체 합성 원료를 기판 상으로 공급하는 미세 노즐; 및상기 미세 노즐에서 상기 합성 원료가 상기 기판 쪽으로 공급되는 동안 상기 기판과 상기 미세 노즐 사이의 합성 원료에 마이크로파를 국부적으로 가하여 상기 기판 상에 미세구조체를 형성시키는 마이크로파 발생 장치를 포함하되,상기 미세 노즐은, 절연층을 사이에 두고 내벽과 외벽에 형성된 전도층을 포함하고,상기 마이크로파 발생 장치는, 상기 내벽과 상기 외벽의 전도층을 마이크로파 소스로부터 받은 마이크로파를 전송하는 마이크로파 전송선으로 이용하는 형태이고, 상기 내벽과 상기 외벽의 전도층 중 어느 하나 이상의 끝단은, 상기 합성 원료에 마이크로파를 국부적으로 가하기 위한 안테나 부분을 포함하는 것을 특징으로 하는 미세구조체 제조 장치
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제6항에 있어서,상기 내벽의 전도층이 상기 미세 노즐의 내벽 전체에 형성되고, 상기 외벽의 전도층이 상기 절연층 외부 전체에 형성되어, 상기 내벽과 상기 외벽의 전도층이 동축형 전송선 형태인 것을 특징으로 하는 미세구조체 제조 장치
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제6항에 있어서,상기 내벽의 전도층이 상기 미세 노즐의 내벽 중 일부 영역에 형성되고, 상기 외벽의 전도층이 상기 절연층을 사이에 두고 상기 내벽의 전도층과 마주보는 상기 절연층 외부 일부 영역에 형성되어, 상기 내벽과 상기 외벽의 전도층이 마주보는 2개의 판형 전송선 형태인 것을 특징으로 하는 미세구조체 제조 장치
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미세구조체 합성 원료를 기판 상으로 공급하는 미세 노즐; 및상기 미세 노즐에서 상기 합성 원료가 상기 기판 쪽으로 공급되는 동안 상기 기판과 상기 미세 노즐 사이의 합성 원료에 마이크로파를 국부적으로 가하여 상기 기판 상에 미세구조체를 형성시키는 마이크로파 발생 장치를 포함하되,상기 기판은 전도성 기판을 포함하고,상기 미세 노즐은, 벽의 일부 또는 전체에 형성된 전도층을 포함하고,상기 마이크로파 발생 장치는, 상기 미세 노즐의 전도층과 상기 전도성 기판을 마이크로파 소스로부터 받은 마이크로파를 전송하는 마이크로파 전송선으로 이용하는 형태인 것을 특징으로 하는 미세구조체 제조 장치
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제9항에 있어서,상기 기판은,상기 전도성 기판의 상부에 설치되고, 절연체로 이루어진 기판을 포함하는 것을 특징으로 하는 미세구조체 제조 장치
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미세구조체 합성 원료를 기판 상으로 공급하는 미세 노즐; 및상기 미세 노즐에서 상기 합성 원료가 상기 기판 쪽으로 공급되는 동안 상기 기판과 상기 미세 노즐 사이의 합성 원료에 마이크로파를 국부적으로 가하여 상기 기판 상에 미세구조체를 형성시키는 마이크로파 발생 장치를 포함하되,상기 기판은 전도성 기판을 포함하고,상기 미세 노즐은, 벽의 한쪽 끝단에 형성된 복수의 배출구를 포함하고, 상기 복수의 배출구를 형성하기 위한 끝단의 벽에 형성된 전도층을 포함하고,상기 마이크로파 발생 장치는, 상기 미세 노즐의 전도층과 상기 전도성 기판을 마이크로파 소스로부터 받은 마이크로파를 전송하는 마이크로파 전송선으로 이용하는 형태인 것을 특징으로 하는 미세구조체 제조 장치
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제11항에 있어서,상기 기판은,상기 전도성 기판의 상부에 설치되고, 절연체로 이루어진 기판을 포함하는 것을 특징으로 하는 미세구조체 제조 장치
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