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수열합성법을 이용한 대면적 Fe203 물분해용 광전극 제조 방법 및 그 광전극

  • 기술번호 : KST2015163804
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 대면적 고효율을 갖는 Fe2O3 광전극의 제조 방법이 개시된다. 본 발명은 투명전도성 기재를 제공하는 단계; 상기 투명전도성 기재 상에 소정 간격의 마스크 패턴을 형성하는 단계; 수열합성법으로, 상기 마스크 패턴이 규정하는 상기 투명 전도성 기재의 개방 영역에 반도체 산화물 전구체 패턴을 형성하는 단계; 상기 투명전도성 기재상의 상기 마스크 패턴을 제거하는 단계; 상기 반도체 산화물 전구체 패턴이 형성된 투명전도성 기재를 열처리하여 반도체 산화물 전극부를 형성하는 단계; 및 상기 제거된 마스크 패턴에 대응하는 영역에 금속 전극부를 형성하는 단계를 포함하는 물분해용 광전극의 제조 방법을 제공한다. 본 발명에 따르면,
Int. CL H01L 31/0224 (2006.01) C25B 11/02 (2006.01)
CPC H01L 31/1884(2013.01) H01L 31/1884(2013.01) H01L 31/1884(2013.01) H01L 31/1884(2013.01) H01L 31/1884(2013.01)
출원번호/일자 1020120137687 (2012.11.30)
출원인 한국전기연구원
등록번호/일자 10-1520249-0000 (2015.05.08)
공개번호/일자 10-2014-0072303 (2014.06.13) 문서열기
공고번호/일자 (20150518) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020150015881;
심사청구여부/일자 Y (2012.11.30)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 대한민국 경상남도 창원시 성산구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이원재 대한민국 경상남도 김해시
2 고근호 대한민국 경남 창원시 성산구
3 도칠훈 대한민국 경남 창원시 성산구
4 백승규 대한민국 경남 창원시 의창구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인충정 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로***,*층(역삼동,성보역삼빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 대한민국 경상남도 창원시 성산구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.11.30 수리 (Accepted) 1-1-2012-0994124-51
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.11.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.12.17 수리 (Accepted) 9-1-2013-0106554-29
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.01.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0062200-90
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.03.27 수리 (Accepted) 1-1-2014-0294678-72
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.04.28 수리 (Accepted) 1-1-2014-0403598-42
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.05.27 수리 (Accepted) 1-1-2014-0499893-89
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.06.27 수리 (Accepted) 1-1-2014-0605610-96
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.06.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0605609-49
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2014.11.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0818883-18
11 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)
2015.01.02 수리 (Accepted) 7-1-2015-0000007-25
12 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2015.02.02 수리 (Accepted) 1-1-2015-0108663-60
13 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.02.02 수리 (Accepted) 1-1-2015-0108611-07
14 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2015.02.02 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2015-0108612-42
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.04 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006987-25
16 등록결정서
Decision to Grant Registration
2015.02.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0111354-85
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
투명전도성 기재를 제공하는 단계;상기 투명전도성 기재 상에 소정 간격의 마스크 패턴을 형성하는 단계;상기 마스크 패턴이 형성된 영역을 제외한 상기 투명 전도성 기재의 개방 영역에 반도체 산화물 전구체 패턴을 수열 합성하는 단계;상기 투명전도성 기재상의 상기 마스크 패턴을 제거하는 단계;상기 반도체 산화물 전구체 패턴이 형성된 투명전도성 기재를 열처리하여 반도체 산화물 전극부를 형성하는 단계; 및 상기 제거된 마스크 패턴에 대응하는 영역에 금속 전극부를 형성하는 단계를 포함하는 물분해용 광전극의 제조 방법
2 2
제1항에 있어서,상기 마스크 패턴은 내산성 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 물분해용 광전극의 제조 방법
3 3
제1항에 있어서,상기 반도체 산화물 전구체는 Fe2O3의 전구체인 것을 특징으로 하는 물분해용 광전극의 제조 방법
4 4
제1항에 있어서,상기 마스크 패턴 및 전구체 패턴은 스트립 패턴인 것을 특징으로 하는 물분해용 광전극의 제조 방법
5 5
제1항에 있어서,상기 투명 도전성 기재는 FTO, ITO 및 IZO로 이루어진 그룹 중에서 선택된 최소한 1종의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 물분해용 광전극의 제조 방법
6 6
제1항에 있어서,상기 금속 전극부 형성 후에 보호막을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 물분해용 광전극의 제조 방법
7 7
삭제
8 8
삭제
9 9
삭제
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1 KR1020150023599 KR 대한민국 FAMILY

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