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펨토초 레이저 장치 및 이를 포함한 펨토초 레이저 시스템

  • 기술번호 : KST2015163813
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 펨토초 레이저 장치 및 이를 포함한 펨토초 레이저 시스템을 제공한다. 펨토초 레이저 장치는 공간적으로 서로 수직방향의 Ng, Np, Nm축을 갖는 제 1 레이저 매질; 상기 제 1 레이저 매질의 Ng축에 실질적으로 평행한 Np축, 상기 제 1 레이저 매질의 Np 축에 실질적으로 평행한 Nm축, 상기 제 1 레이저 매질의 Nm축에 실질적으로 평행한 Ng축을 갖도록 배치된 제 2 레이저 매질; 및 상기 제 1 레이저 매질 및 상기 제 2 레이저 매질에 각각 펌핑광을 조사하기 위하여 배치된 제 1 레이저 다이오드 및 제 2 레이저 다이오드를 포함하고, 상기 제 1 레이저 매질은, 상기 제 1 및 제 2 레이저 매질로부터 발생된 레이저 빔의 진행방향이 상기 제 1 레이저 매질의 Ng축에 실질적으로 평행하도록 배치되고, 상기 제 1 및 제 2 레이저 매질로부터 발생된 레이저 빔의 편광방향이 상기 제 1 레이저 매질의 Np축에 실질적으로 평행하도록 배치되고, 상기 제 2 레이저 매질은, 상기 제 1 및 제 2 레이저 매질로부터 발생된 레이저 빔의 진행방향이 상기 제 2 레이저 매질의 Np축에 실질적으로 평행하도록 배치되고, 상기 제 1 및 제 2 레이저 매질로부터 발생된 레이저 빔의 편광방향이 상기 제 2 레이저 매질의 Nm축에 실질적으로 평행하도록 배치된다.
Int. CL H01S 3/06 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020130010367 (2013.01.30)
출원인 한국전기연구원
등록번호/일자 10-1416630-0000 (2014.07.02)
공개번호/일자 10-2013-0142056 (2013.12.27) 문서열기
공고번호/일자 (20140709) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020120065248   |   2012.06.18
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.01.30)
심사청구항수 13

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 대한민국 경상남도 창원시 성산구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김광훈 대한민국 부산광역시 수영구
2 강욱 대한민국 서울특별시 강서구
3 양주희 대한민국 서울특별시 마포구
4 이대식 대한민국 서울특별시 마포구
5 살 엘레나 러시아 서울특별시 마포구
6 치조프 세르게이 러시아 서울특별시 마포구
7 쿨릭 안드레이 러시아 서울특별시 마포구
8 야쉰 블라드미르 러시아 서울특별시 마포구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 한라특허법인(유한) 대한민국 서울시 서초구 강남대로 ***(서초동, 남강빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 경상남도 창원시 성산구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.01.30 수리 (Accepted) 1-1-2013-0089605-62
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2013.06.19 수리 (Accepted) 1-1-2013-0544479-01
3 [우선심사신청]선행기술조사의뢰서
[Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search
2013.06.25 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search
2013.06.27 수리 (Accepted) 9-1-2013-0049504-86
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.07.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0485163-18
6 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2013.08.30 수리 (Accepted) 1-1-2013-0794545-68
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2013.09.16 수리 (Accepted) 1-1-2013-0842542-92
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.11.11 수리 (Accepted) 1-1-2013-1025684-04
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.11.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-1025683-58
10 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2013.12.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0872663-02
11 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.02.12 수리 (Accepted) 1-1-2014-0135396-62
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.04.17 수리 (Accepted) 1-1-2014-0364195-07
13 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.04.17 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2014-0364194-51
14 등록결정서
Decision to grant
2014.05.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0337947-48
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.04 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006987-25
16 대리인선임신고서
Report on Appointment of Agent
2015.12.23 수리 (Accepted) 1-1-2015-5033520-42
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
펨토초 영역의 펄스를 발생시키기 위한 마스터 오실레이터;상기 발생된 펨토초 영역의 펄스의 폭을 확장하기 위한 펄스 확장기;상기 확장된 펄스의 스펙트럼을 성형하기 위한 스펙트럼 성형기;상기 확장된 펄스의 에너지를 증폭시키기 위한 증폭기; 및상기 증폭된 펄스를 펨토초 영역의 펄스로 압축시키기 위한 펄스 압축기를 포함하고,상기 마스터 오실레이터 및 상기 증폭기 중 적어도 어느 하나는,공간적으로 서로 수직방향의 Ng, Np, Nm축을 갖는 제 1 레이저 매질; 상기 제 1 레이저 매질의 Ng축에 실질적으로 평행한 Np축, 상기 제 1 레이저 매질의 Np 축에 실질적으로 평행한 Nm축, 상기 제 1 레이저 매질의 Nm축에 실질적으로 평행한 Ng축을 갖도록 배치된 제 2 레이저 매질; 및 상기 제 1 레이저 매질 및 상기 제 2 레이저 매질 각각에 펌핑광을 조사하도록 배치된 제 1 레이저 다이오드 및 제 2 레이저 다이오드를 포함하여 이루어지고,상기 제 1 레이저 매질은,상기 제 1 및 제 2 레이저 매질로부터 발생된 레이저 빔의 진행방향이 상기 제 1 레이저 매질의 Ng축에 실질적으로 평행하도록 배치되고,상기 제 1 및 제 2 레이저 매질로부터 발생된 레이저 빔의 편광방향이 상기 제 1 레이저 매질의 Np축에 실질적으로 평행하도록 배치되고, 상기 제 2 레이저 매질은,상기 제 1 레이저 매질과 열적 특성이 서로 다른 축 방향으로 레이저 빔이 진행하도록, 상기 제 1 및 제 2 레이저 매질로부터 발생된 레이저 빔의 진행방향이 상기 제 2 레이저 매질의 Np축에 실질적으로 평행하도록 배치되고,상기 제 1 및 제 2 레이저 매질로부터 발생된 레이저 빔의 편광방향이 상기 제 2 레이저 매질의 Nm축에 실질적으로 평행하도록 배치된 펨토초 레이저 시스템
2 2
제 1항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 레이저 매질은 각각 Yb:KYW, Yb:KGW, Yb:KLuW, Yb:YCOB, Yb:YAP 중 적어도 어느 하나 인 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 시스템
3 3
제 2항에 있어서,상기 Yb:KYW, Yb:KGW, Yb:KLuW, Yb:YCOB, Yb:YAP 중 Yb의 도핑 농도는 1 ~ 10 at
4 4
제 1항에 있어서, 상기 제 1 레이저 매질은,상기 제 1 레이저 다이오드로부터 발생된 제 1 펌핑 광의 편광방향이 상기 제 1 레이저 매질의 Nm 축에 대해 실질적으로 평행하도록 하고,상기 제 2 레이저 매질은,상기 제 2 레이저 다이오드로부터 발생된 제 2 펌핑 광의 편광방향이 상기 제 2 레이저 매질의 Nm축에 대해 실질적으로 평행하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 시스템
5 5
펨토초 영역의 펄스를 발생시키기 위한 마스터 오실레이터;상기 발생된 펨토초 영역의 펄스의 폭을 확장하기 위한 펄스 확장기;상기 확장된 펄스의 스펙트럼을 성형하기 위한 스펙트럼 성형기;상기 확장된 펄스의 에너지를 증폭시키기 위한 증폭기; 및상기 증폭된 펄스를 펨토초 영역의 펄스로 압축시키기 위한 펄스 압축기를 포함하고,상기 마스터 오실레이터 및 상기 증폭기 중 적어도 어느 하나는,공간적으로 서로 수직방향의 Ng, Np, Nm축을 갖는 제 1 레이저 매질; 상기 제 1 레이저 매질의 Ng축에 실질적으로 평행한 Np축, 상기 제 1 레이저 매질의 Np 축에 실질적으로 평행한 Ng축, 상기 제 1 레이저 매질의 Nm축에 실질적으로 평행한 Nm축을 갖도록 배치된 제 2 레이저 매질; 및 상기 제 1 레이저 매질 및 상기 제 2 레이저 매질 각각에 펌핑광을 조사하기 위하여 배치된 제 1 레이저 다이오드 및 제 2 레이저 다이오드를 포함하여 이루어지고,상기 제 1 레이저 매질은,상기 제 1 및 제 2 레이저 매질로부터 발생된 레이저 빔의 진행방향이 상기 제 1 레이저 매질의 Ng축에 실질적으로 평행하도록 배치되고,상기 제 1 및 제 2 레이저 매질로부터 발생된 레이저 빔의 편광방향이 상기 제 1 레이저 매질의 Nm축에 실질적으로 평행하도록 배치되고, 상기 제 2 레이저 매질은,상기 제 1 레이저 매질과 열적 특성이 서로 다른 축 방향으로 레이저 빔이 진행하도록, 상기 제 1 및 제 2 레이저 매질로부터 발생된 레이저 빔의 진행방향이 상기 제 2 레이저 매질의 Np축에 실질적으로 평행하도록 배치되고,상기 제 1 및 제 2 레이저 매질로부터 발생된 레이저 빔의 편광방향이 상기 제 2 레이저 매질의 Nm축에 실질적으로 평행하도록 배치된 펨토초 레이저 시스템
6 6
삭제
7 7
제 1항 또는 제 5항에 있어서,상기 펄스 확장기와 상기 펄스 압축기는 하나의 분광소자를 공통으로 사용하여 일체형을 이루는 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 시스템
8 8
삭제
9 9
펨토초 영역의 펄스를 발생시키기 위한 마스터 오실레이터;상기 발생된 펨토초 영역의 펄스의 폭을 확장하기 위한 펄스 확장기;상기 확장된 펄스의 스펙트럼을 성형하기 위한 스펙트럼 성형기;상기 확장된 펄스의 에너지를 증폭시키기 위한 증폭기; 및상기 증폭된 펄스를 펨토초 영역의 펄스로 압축시키기 위한 펄스 압축기를 포함하고,상기 마스터 오실레이터 및 상기 증폭기 중 적어도 어느 하나는, 공간적으로 서로 수직방향의 Ng, Np, Nm축을 갖고, 서로 마주하여 배치된 제 1 레이저 매질과 제 2 레이저 매질;상기 제 1 레이저 매질 및 제 2 레이저 매질에 각각 펌핑 광을 입사시키기 위하여 배치된 제 1 레이저 다이오드와 제 2 레이저 다이오드;상기 1 레이저 매질과 상기 제 2 레이저 매질 사이에 배치되어, 상기 제 1 및 제 2 레이저 매질로부터 발생된 레이저 빔의 편광방향이 상기 제 1 레이저 매질의 Np축과 상기 제 2 레이저 매질의 Nm축에 실질적으로 평행하도록 하는 광학부품을 포함하여 이루어지고,상기 제 1 레이저 매질은상기 제 1 및 제 2 레이저 매질로부터 발생된 레이저 빔의 진행방향이 상기 제 1 레이저 매질의 Ng축에 실질적으로 평행하도록 배치되고,상기 제 2 레이저 매질은,상기 제 1 레이저 매질과 열적 특성이 서로 다른 축 방향으로 레이저 빔이 진행하도록, 상기 제 1 및 제 2 레이저 매질로부터 발생된 레이저 빔의 진행방향이 상기 제 2 레이저 매질의 Np축에 실질적으로 평행하도록 배치되는 펨토초 레이저 시스템
10 10
제 9항에 있어서,상기 광학 부품은 반파장판(Half-wave plates), 복수의 프레넬의 사방체(Double Fresnel rhomb), 광대역 프리즘 회전자(Broadband prismatic rotator), 파라데이 회전기(Faraday rotator), 복수의 미러 중 적어도 어느 하나 인 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 시스템
11 11
제 9항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 레이저 매질은 각각 Yb:KYW, Yb:KGW, Yb:KLuW, Yb:YCOB, Yb:YAP 중 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 시스템
12 12
제 11항에 있어서,상기 Yb:KYW, Yb:KGW, Yb:KLuW, Yb:YCOB, Yb:YAP 중 Yb의 도핑 농도는 1 ~ 10 at
13 13
제 9항에 있어서, 상기 제 1 레이저 매질은, 상기 제 1 레이저 다이오드로부터 발생된 제 1 펌핑 광의 편광방향이 상기 제 1 레이저 매질의 Nm 축에 대해 실질적으로 평행하도록 하고,상기 제 2 레이저 매질은,상기 제 2 레이저 다이오드로부터 발생된 제 2 펌핑 광의 편광방향이 상기 제 2 레이저 매질의 Nm축에 대해 실질적으로 평행하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 시스템
14 14
펨토초 영역의 펄스를 발생시키기 위한 마스터 오실레이터;상기 발생된 펨토초 영역의 펄스의 폭을 확장하기 위한 펄스 확장기;상기 확장된 펄스의 스펙트럼을 성형하기 위한 스펙트럼 성형기;상기 확장된 펄스의 에너지를 증폭시키기 위한 증폭기; 및상기 증폭된 펄스를 펨토초 영역의 펄스로 압축시키기 위한 펄스 압축기를 포함하고,상기 마스터 오실레이터 및 상기 증폭기 중 적어도 어느 하나는, 공간적으로 서로 수직방향의 Ng, Np, Nm축을 갖고, 서로 마주하여 배치된 제 1 레이저 매질과 제 2 레이저 매질;상기 제 1 레이저 매질 및 제 2 레이저 매질에 각각 펌핑 광을 입사시키기 위하여 배치된 제 1 레이저 다이오드와 제 2 레이저 다이오드;상기 1 레이저 매질과 상기 제 2 레이저 매질 사이에 배치되어, 상기 제 1 및 제 2 레이저 매질로부터 발생된 레이저 빔의 편광방향이 상기 제 1 레이저 매질의 Nm축과 상기 제 2 레이저 매질의 Nm축에 실질적으로 평행하도록 하는 광학부품을 포함하여 이루어지고,상기 제 1 레이저 매질은상기 제 1 및 제 2 레이저 매질로부터 발생된 레이저 빔의 진행방향이 상기 제 1 레이저 매질의 Ng축에 실질적으로 평행하도록 배치되고,상기 제 2 레이저 매질은,상기 제 1 레이저 매질과 열적 특성이 서로 다른 축 방향으로 레이저 빔이 진행하도록, 상기 제 1 및 제 2 레이저 매질로부터 발생된 레이저 빔의 진행방향이 상기 제 2 레이저 매질의 Np축에 실질적으로 평행하도록 배치되는 펨토초 레이저 시스템
15 15
삭제
16 16
제 9항 또는 제 14항에 있어서,상기 펄스 확장기와 상기 펄스 압축기는 하나의 분광소자를 공통으로 사용하여 일체형을 이루는 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 시스템
17 17
삭제
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