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펨토초 영역의 펄스를 발생시키기 위한 마스터 오실레이터;상기 발생된 펨토초 영역의 펄스의 폭을 확장하기 위한 펄스 확장기;상기 확장된 펄스의 스펙트럼을 성형하기 위한 스펙트럼 성형기;상기 확장된 펄스의 에너지를 증폭시키기 위한 증폭기; 및상기 증폭된 펄스를 펨토초 영역의 펄스로 압축시키기 위한 펄스 압축기를 포함하고,상기 마스터 오실레이터 및 상기 증폭기 중 적어도 어느 하나는,공간적으로 서로 수직방향의 Ng, Np, Nm축을 갖는 제 1 레이저 매질; 상기 제 1 레이저 매질의 Ng축에 실질적으로 평행한 Np축, 상기 제 1 레이저 매질의 Np 축에 실질적으로 평행한 Nm축, 상기 제 1 레이저 매질의 Nm축에 실질적으로 평행한 Ng축을 갖도록 배치된 제 2 레이저 매질; 및 상기 제 1 레이저 매질 및 상기 제 2 레이저 매질 각각에 펌핑광을 조사하도록 배치된 제 1 레이저 다이오드 및 제 2 레이저 다이오드를 포함하여 이루어지고,상기 제 1 레이저 매질은,상기 제 1 및 제 2 레이저 매질로부터 발생된 레이저 빔의 진행방향이 상기 제 1 레이저 매질의 Ng축에 실질적으로 평행하도록 배치되고,상기 제 1 및 제 2 레이저 매질로부터 발생된 레이저 빔의 편광방향이 상기 제 1 레이저 매질의 Np축에 실질적으로 평행하도록 배치되고, 상기 제 2 레이저 매질은,상기 제 1 레이저 매질과 열적 특성이 서로 다른 축 방향으로 레이저 빔이 진행하도록, 상기 제 1 및 제 2 레이저 매질로부터 발생된 레이저 빔의 진행방향이 상기 제 2 레이저 매질의 Np축에 실질적으로 평행하도록 배치되고,상기 제 1 및 제 2 레이저 매질로부터 발생된 레이저 빔의 편광방향이 상기 제 2 레이저 매질의 Nm축에 실질적으로 평행하도록 배치된 펨토초 레이저 시스템
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2
제 1항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 레이저 매질은 각각 Yb:KYW, Yb:KGW, Yb:KLuW, Yb:YCOB, Yb:YAP 중 적어도 어느 하나 인 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 시스템
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3
제 2항에 있어서,상기 Yb:KYW, Yb:KGW, Yb:KLuW, Yb:YCOB, Yb:YAP 중 Yb의 도핑 농도는 1 ~ 10 at
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제 1항에 있어서, 상기 제 1 레이저 매질은,상기 제 1 레이저 다이오드로부터 발생된 제 1 펌핑 광의 편광방향이 상기 제 1 레이저 매질의 Nm 축에 대해 실질적으로 평행하도록 하고,상기 제 2 레이저 매질은,상기 제 2 레이저 다이오드로부터 발생된 제 2 펌핑 광의 편광방향이 상기 제 2 레이저 매질의 Nm축에 대해 실질적으로 평행하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 시스템
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펨토초 영역의 펄스를 발생시키기 위한 마스터 오실레이터;상기 발생된 펨토초 영역의 펄스의 폭을 확장하기 위한 펄스 확장기;상기 확장된 펄스의 스펙트럼을 성형하기 위한 스펙트럼 성형기;상기 확장된 펄스의 에너지를 증폭시키기 위한 증폭기; 및상기 증폭된 펄스를 펨토초 영역의 펄스로 압축시키기 위한 펄스 압축기를 포함하고,상기 마스터 오실레이터 및 상기 증폭기 중 적어도 어느 하나는,공간적으로 서로 수직방향의 Ng, Np, Nm축을 갖는 제 1 레이저 매질; 상기 제 1 레이저 매질의 Ng축에 실질적으로 평행한 Np축, 상기 제 1 레이저 매질의 Np 축에 실질적으로 평행한 Ng축, 상기 제 1 레이저 매질의 Nm축에 실질적으로 평행한 Nm축을 갖도록 배치된 제 2 레이저 매질; 및 상기 제 1 레이저 매질 및 상기 제 2 레이저 매질 각각에 펌핑광을 조사하기 위하여 배치된 제 1 레이저 다이오드 및 제 2 레이저 다이오드를 포함하여 이루어지고,상기 제 1 레이저 매질은,상기 제 1 및 제 2 레이저 매질로부터 발생된 레이저 빔의 진행방향이 상기 제 1 레이저 매질의 Ng축에 실질적으로 평행하도록 배치되고,상기 제 1 및 제 2 레이저 매질로부터 발생된 레이저 빔의 편광방향이 상기 제 1 레이저 매질의 Nm축에 실질적으로 평행하도록 배치되고, 상기 제 2 레이저 매질은,상기 제 1 레이저 매질과 열적 특성이 서로 다른 축 방향으로 레이저 빔이 진행하도록, 상기 제 1 및 제 2 레이저 매질로부터 발생된 레이저 빔의 진행방향이 상기 제 2 레이저 매질의 Np축에 실질적으로 평행하도록 배치되고,상기 제 1 및 제 2 레이저 매질로부터 발생된 레이저 빔의 편광방향이 상기 제 2 레이저 매질의 Nm축에 실질적으로 평행하도록 배치된 펨토초 레이저 시스템
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제 1항 또는 제 5항에 있어서,상기 펄스 확장기와 상기 펄스 압축기는 하나의 분광소자를 공통으로 사용하여 일체형을 이루는 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 시스템
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펨토초 영역의 펄스를 발생시키기 위한 마스터 오실레이터;상기 발생된 펨토초 영역의 펄스의 폭을 확장하기 위한 펄스 확장기;상기 확장된 펄스의 스펙트럼을 성형하기 위한 스펙트럼 성형기;상기 확장된 펄스의 에너지를 증폭시키기 위한 증폭기; 및상기 증폭된 펄스를 펨토초 영역의 펄스로 압축시키기 위한 펄스 압축기를 포함하고,상기 마스터 오실레이터 및 상기 증폭기 중 적어도 어느 하나는, 공간적으로 서로 수직방향의 Ng, Np, Nm축을 갖고, 서로 마주하여 배치된 제 1 레이저 매질과 제 2 레이저 매질;상기 제 1 레이저 매질 및 제 2 레이저 매질에 각각 펌핑 광을 입사시키기 위하여 배치된 제 1 레이저 다이오드와 제 2 레이저 다이오드;상기 1 레이저 매질과 상기 제 2 레이저 매질 사이에 배치되어, 상기 제 1 및 제 2 레이저 매질로부터 발생된 레이저 빔의 편광방향이 상기 제 1 레이저 매질의 Np축과 상기 제 2 레이저 매질의 Nm축에 실질적으로 평행하도록 하는 광학부품을 포함하여 이루어지고,상기 제 1 레이저 매질은상기 제 1 및 제 2 레이저 매질로부터 발생된 레이저 빔의 진행방향이 상기 제 1 레이저 매질의 Ng축에 실질적으로 평행하도록 배치되고,상기 제 2 레이저 매질은,상기 제 1 레이저 매질과 열적 특성이 서로 다른 축 방향으로 레이저 빔이 진행하도록, 상기 제 1 및 제 2 레이저 매질로부터 발생된 레이저 빔의 진행방향이 상기 제 2 레이저 매질의 Np축에 실질적으로 평행하도록 배치되는 펨토초 레이저 시스템
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제 9항에 있어서,상기 광학 부품은 반파장판(Half-wave plates), 복수의 프레넬의 사방체(Double Fresnel rhomb), 광대역 프리즘 회전자(Broadband prismatic rotator), 파라데이 회전기(Faraday rotator), 복수의 미러 중 적어도 어느 하나 인 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 시스템
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제 9항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 레이저 매질은 각각 Yb:KYW, Yb:KGW, Yb:KLuW, Yb:YCOB, Yb:YAP 중 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 시스템
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12
제 11항에 있어서,상기 Yb:KYW, Yb:KGW, Yb:KLuW, Yb:YCOB, Yb:YAP 중 Yb의 도핑 농도는 1 ~ 10 at
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제 9항에 있어서, 상기 제 1 레이저 매질은, 상기 제 1 레이저 다이오드로부터 발생된 제 1 펌핑 광의 편광방향이 상기 제 1 레이저 매질의 Nm 축에 대해 실질적으로 평행하도록 하고,상기 제 2 레이저 매질은,상기 제 2 레이저 다이오드로부터 발생된 제 2 펌핑 광의 편광방향이 상기 제 2 레이저 매질의 Nm축에 대해 실질적으로 평행하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 시스템
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펨토초 영역의 펄스를 발생시키기 위한 마스터 오실레이터;상기 발생된 펨토초 영역의 펄스의 폭을 확장하기 위한 펄스 확장기;상기 확장된 펄스의 스펙트럼을 성형하기 위한 스펙트럼 성형기;상기 확장된 펄스의 에너지를 증폭시키기 위한 증폭기; 및상기 증폭된 펄스를 펨토초 영역의 펄스로 압축시키기 위한 펄스 압축기를 포함하고,상기 마스터 오실레이터 및 상기 증폭기 중 적어도 어느 하나는, 공간적으로 서로 수직방향의 Ng, Np, Nm축을 갖고, 서로 마주하여 배치된 제 1 레이저 매질과 제 2 레이저 매질;상기 제 1 레이저 매질 및 제 2 레이저 매질에 각각 펌핑 광을 입사시키기 위하여 배치된 제 1 레이저 다이오드와 제 2 레이저 다이오드;상기 1 레이저 매질과 상기 제 2 레이저 매질 사이에 배치되어, 상기 제 1 및 제 2 레이저 매질로부터 발생된 레이저 빔의 편광방향이 상기 제 1 레이저 매질의 Nm축과 상기 제 2 레이저 매질의 Nm축에 실질적으로 평행하도록 하는 광학부품을 포함하여 이루어지고,상기 제 1 레이저 매질은상기 제 1 및 제 2 레이저 매질로부터 발생된 레이저 빔의 진행방향이 상기 제 1 레이저 매질의 Ng축에 실질적으로 평행하도록 배치되고,상기 제 2 레이저 매질은,상기 제 1 레이저 매질과 열적 특성이 서로 다른 축 방향으로 레이저 빔이 진행하도록, 상기 제 1 및 제 2 레이저 매질로부터 발생된 레이저 빔의 진행방향이 상기 제 2 레이저 매질의 Np축에 실질적으로 평행하도록 배치되는 펨토초 레이저 시스템
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제 9항 또는 제 14항에 있어서,상기 펄스 확장기와 상기 펄스 압축기는 하나의 분광소자를 공통으로 사용하여 일체형을 이루는 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저 시스템
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