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이송트레이를 부상시키기 위한 자기력을 제공하기 위하여 상기 이송트레이의 이동방향에 따라 챔버의 상부에 형성되는 하나 이상의 부상용전자석;상기 부상용전자석과 대향되게 상기 이송트레이측에 설치되어 상기 부상용전자석의 자기력과의 인력 작용을 통하여 상기 이송트레이를 부상시키는 하나 이상의 제1 강자성체 코어;상기 이송트레이를 수평방향으로 이동시키는 자기력을 제공하기 위하여 상기 이송트레이의 이동방향에 따라서 상기 챔버의 내측의 어느 한면 이상에 형성되는 하나 이상의 고정자코일;상기 이송트레이의 이동방향을 따라서 상기 이송트레이의 어느 하나 이상의 면에 구비되고, 상기 고정자코일이 제공하는 자기력과의 인력 또는 척력 작용을 통하여 상기 이송트레이의 수평방향추진력을 제공하는 하나 이상의 이동자추진모듈;상기 이동자추진모듈이 설치되는 방향을 따라서 설치되어 상기 고정자코일과의 인력 또는 척력 작용에 의하여 상기 이송트레이와 상기 챔버간의 간격을 조정하는 하나 이상의 이동자안내모듈;을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 부상 이송 장치
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제1항에 있어서,상기 이송트레이와 상기 챔버간의 간격을 조절하기 위한 자기력을 제공하기 위하여 상기 이송트레이의 이동방향을 따라서 상기 챔버의 내측의 어느 한면 이상에 형성되는 하나 이상의 안내용전자석;상기 안내용전자석이 제공하는 자기력과의 인력 작용에 의하여 상기 이송트레이와 상기 챔버간의 간격을 조절하도록 상기 안내용전자석에 대향되는 상기 이송트레이상에 형성되는 하나 이상의 제2 강자성체 코어;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 부상 이송 장치
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제2항에 있어서,상기 안내용전자석은상기 챔버의 외측으로부터 내측을 관통하는 코어;상기 챔버의 외측의 코어에 권취되는 코일;을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 부상 이송 장치
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제1항에 있어서,상기 이동자추진모듈은 상기 고정자코일의 각 면 중에서 상기 이송트레이의 진행방향에 수직인 방향의 면으로부터 받는 자기력의 세기가 상기 이송트레이의 진행방향에 평행인 방향의 면으로부터 받는 자기력의 세기보다 더 큰 것을 특징으로 하는 자기 부상 이송 장치
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제1항에 있어서,상기 이동자안내모듈은 상기 고정자코일의 각 면 중에서 상기 이송트레이의 진행방향에 평행인 방향의 면으로부터 받는 자기력의 세기가 상기 이송트레이의 진행방향에 수직인 방향의 면으로부터 받는 자기력의 세기보다 더 큰 것을 특징으로 하는 자기 부상 이송 장치
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제1항에 있어서,상기 고정자코일은 중심부가 빈 장방형 형상이며, 상기 고정자코일의 가로 또는 세로 중 짧은 측이 상기 이송트레이의 이동방향과 평행한 것을 특징으로 하는 자기 부상 이송 장치
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제1항에 있어서,상기 이동자추진모듈은 상기 고정자코일의 상면 또는 하면을 각각 감싸는 하나 이상의 영구자석을 포함하고,상기 고정자코일의 상면 또는 하면에 대향되는 영구자석의 극은 N극 또는 S극중 어느 한 극이고,인접하는 상기 영구자석간의 극성은 서로 교대가 되는 것을 특징으로 하는 자기 부상 이송 장치
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제1항에 있어서,상기 이동자안내모듈은 상기 고정자코일의 상면 또는 하면의 일부를 각각 감싸는 하나의 영구자석을 포함하고,상기 고정자코일의 상면 또는 하면에 대향되는 영구자석의 극은 N극 또는 S극 중 어느 한 극인 것을 특징으로 하는 자기 부상 이송 장치
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제1항에 있어서,상기 이동자안내모듈은 상기 고정자코일의 상면 또는 하면의 일부를 각각 감싸는 두개 이상의 영구자석을 포함하고,상기 이동자안내모듈의 인접하는 영구자석간의 극성은 서로 동일한 극성을 갖는 것을 특징으로 하는 자기 부상 이송 장치
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제1항에 있어서,상기 이동자추진모듈의 영구자석의 길이 방향은 상기 이송트레이의 이송방향에 수직인 방향이고,상기 이동자안내모듈의 영구자석의 길이 방향은 상기 이송트레이의 이송방향에 평행인 방향인 것을 특징으로 하는 자기 부상 이송 장치
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제1항에 있어서,상기 부상용전자석은상기 챔버의 외측으로부터 내측을 관통되는 코어;상기 챔버의 외측의 코어에 권취되는 코일;을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 부상 이송 장치
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제1항에 있어서,상기 이송트레이의 이송 과정에 있어 구동되는 고정자코일은, 상기 이동자추진모듈과 대향되어 마주 바라보는 고정자코일인 것을 특징으로 하는 자기 부상 이송 장치
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제1항에 있어서,상기 이송트레이의 이송 과정에 있어 구동되는 고정자코일은, 상기 이동자안내모듈과 대향되어 마주 바라보는 고정자코일인 것을 특징으로 하는 자기 부상 이송 장치
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제1항에 있어서,상기 이송트레이의 이송 과정에 있어 구동되는 부상용전자석은, 상기 이송트레이의 제1 강자성체 코어와 대향되어 마주 바라보는 부상용전자석인 것을 특징으로 하는 자기 부상 이송 장치
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제2항에 있어서,상기 이송트레이의 이송 과정에 있어 구동되는 안내용전자석은, 상기 이송트레이의 제2 강자성체 코어와 대향되어 마주 바라보는 안내용전자석인 것을 특징으로 하는 자기 부상 이송 장치
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제3항 또는 제11항에 있어서,상기 코어는 하나 이상의 레그를 가지고,상기 코일은 상기 코어의 레그 중 하나 이상의 레그에 권취되는 것을 특징으로 하는 자기 부상 이송 장치
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제16항에 있어서,상기 코어에서 발생되는 열을 흡수하기 위하여 상기 코어의 하나 이상의 레그에 인접하여 형성되는 냉각배관;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 부상 이송 장치
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