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마이크로파 공진을 이용해 시료를 가열하는 마이크로파 열 나노공정 장치에 있어서,소정의 유전율을 갖는 내부 소재로 이루어지고 내부에 가열될 대상 시료를 넣기 위한 공간을 갖는 공진기;상기 공진기로 마이크로파를 입사하기 위하여 상기 공진기의 길이방향 일단에 결합된 금속 막대 형태의 커플러;상기 공진기의 상기 시료가 위치할 부분의 상부에 형성한 구멍; 및상기 구멍의 상부에 결합된 투명 윈도우를 포함하고,온도를 측정하기 위해 상기 투명 윈도우를 통해 상기 시료로 광을 조사하고 상기 시료에서 산란되는 산란광을 수집하기 위한 것을 특징으로 하는 마이크로파 열 나노공정 장치
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제1항에 있어서,상기 시료로 조사되는 광은 레이저이며, 상기 산란광의 라만 스펙트럼 피크 주파수를 분석하여 상기 레이저가 조사되는 상기 시료의 국부적인 위치의 해당 특정 물질에 대하여 선택적으로 온도를 측정하기 위한 것을 특징으로 하는 마이크로파 열 나노공정 장치
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제1항에 있어서,상기 시료의 로딩과 언로딩을 위하여 상기 투명 윈도우가 탈착 가능하도록 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 마이크로파 열 나노공정 장치
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제1항에 있어서,상기 시료로 광을 조사하고 상기 시료에서 산란되는 산란광을 수집하기 위한 대물렌즈가 상기 시료에 대한 광 조사의 포커싱을 위해 움직이는 상하 움직임 경로를 감싸 마이크로파를 차단하기 위한 차단체를 더 포함하고, 상기 차단체의 하부가 상기 투명 윈도우 상부 표면에 밀착되어 결합된 것을 특징으로 하는 마이크로파 열 나노공정 장치
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제4항에 있어서,마이크로파의 파장이 내부 물질의 유전율의 제곱근에 반비례하는 원리를 이용하여 상기 공진기 내부 소재의 유전율이 미리 결정되어 제작되고, 상기 투명 윈도우 하단부와 그 반대편 벽면 사이의 거리가 상기 공진기 내부에서의 마이크로파의 파장의 1/4에서 오차 범위로 가감된 범위를 가지도록 제작됨으로써,상기 시료로의 효율적인 전기장 전달이 가능하고, 상기 대물렌즈 하부 끝이 상기 시료로 최대한 접근되어 상기 대물렌즈가 상기 시료에 대한 광 조사의 포커싱이 가능하도록 한 것을 특징으로 하는 마이크로파 열 나노공정 장치
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제1항에 있어서,상기 공진기로 마이크로파를 입사하는 동안 또는 상기 온도를 측정하는 동안, 상기 공진기 내의 진공 상태를 유지하기 위해 상기 공진기에 형성한 다른 구멍을 통하여 진공 펌핑하기 위한 진공 펌프를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 열 나노공정 장치
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제1항에 있어서,상기 공진기로 마이크로파를 입사하는 동안 또는 상기 온도를 측정하는 동안, 상기 공진기에 형성한 다른 구멍을 통하여 소정의 가스를 주입하기 위한 가스 공급기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 열 나노공정 장치
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제1항에 있어서,상기 커플러를 앞뒤로 움직여 마이크로파 공진을 조절하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 열 나노공정 장치
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제1항에 있어서,상기 공진기의 길이방향 타단에 결합되고 앞뒤로 움직여 마이크로파 공진을 조절하기 위한 금속 막대 형태의 공진 튜너를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 열 나노공정 장치
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마이크로파 공진을 이용해 시료를 가열하는 마이크로파 열 나노공정 장치에서 온도 측정 방법에 있어서,입사하는 마이크로파에 의해 가열될 대상 시료를 공진기 내부에 장착하고,상기 공진기 상부의 벽에 형성한 구멍을 통해 상기 구멍 하부에 장착된 시료로 광을 조사하고 상기 시료에서 산란되는 산란광을 수집하여 온도를 측정하되,상기 공진기 내부로 마이크로파를 입사하여 상기 시료를 가열하면서 또는 가열 후에 상기 시료의 온도를 측정하는 것을 특징으로 하는 온도 측정 방법
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