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평판이나 원통형 금속인 모재의 표면을 리소그래피와 식각을 통하여 형성시킨 요철 마이크로구조 패턴과, 상기 모재를 양극산화와 식각을 통하여 형성시킨 기공이 구비된 나노구조 패턴을 동시에 가지도록 형성됨을 특징으로 하는 리소그래피와 양극산화로 제조한 초발수용 몰드
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제1항에 있어서, 상기 요철 마이크로 구조 패턴은 모재의 표면을 세정하고 연마한 후 리소그래피를 통하여 마이크로 패턴을 형성하고, 이를 식각하여 기공이 구비된 요철 모양의 마이크로구조 패턴을 형성함을 특징으로 하는 리소그래피와 양극산화로 제조한 초발수용 몰드
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제2항에 있어서, 상기 모재는 밸브금속이나 밸브금속합금인 것을 특징으로 하는 리소그래피와 양극산화로 제조한 초발수용 몰드
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제3항에 있어서, 상기 밸브금속은 Al, W, Ti, Ta, Hf, Nb, Zr 중 하나인 것을 특징으로 하는 리소그래피와 양극산화로 제조한 초발수용 몰드
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제3항에 있어서, 상기 밸브금속합금은 Al, W, Ti, Ta, Hf, Nb, Zr의 금속 그룹에서 두 가지 이상의 금속으로 구성된 합금으로 형성됨을 특징으로 하는 리소그래피와 양극산화로 제조한 초발수용 몰드
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제2항에 있어서, 상기 모재는 밸브금속에 Cu, Mn, Si, Mg, Cr, Zn, Li, V, Mo, Ga, Ge, Fe, Cr, Co, Ni, C, O 원소들 중 하나 이상의 원소를 혼합하여 형성시킴을 특징으로 하는 리소그래피와 양극산화로 제조한 초발수용 몰드
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제2항에 있어서, 상기 연마는 기계적 연마, 전해연마 중 하나 이상이 사용되어 표면의 표면거칠기를 0
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제2항에 있어서, 상기 리소그래피는 UV-광을 사용하는 리소그래피를 사용하여 형성됨을 특징으로 하는 리소그래피와 양극산화로 제조한 초발수용 몰드
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제2항에 있어서, 상기 리소그래피 이후의 식각은 이빔(e-beam ), 플라스마, Ar+ 중 하나를 이용하는 건식 식각이나, 식각 용액을 사용하는 습식 식각 중 하나를 사용하여 형성됨을 특징으로 하는 리소그래피와 양극산화로 제조한 초발수용 몰드
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제2항에 있어서, 상기 요철 모양의 마이크로 구조 패턴은 주기 0
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제2항에 있어서, 상기 양극산화는 전해질로서 0
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제2항에 있어서, 상기 양극산화는 기공의 균일한 분포와 정렬를 위하여 두 번 이상이 진행됨을 특징으로 하는 리소그래피와 양극산화로 제조한 초발수용 몰드
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제1항 내지 제12항 중 어느 하나의 항에 있어서의 초발수용 몰드를 사용하고, 상기 초발수용 몰드를 몰드로 사용하여 고분자 수지를 상기 초발수용 몰드에 코팅하고, 이를 탈형시켜 필라구조를 가지는 필름을 형성시킴을 특징으로 하는 초발수용 몰드로 제조한 초발수 재료
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제13항에 있어서, 상기 초발수용 몰드와 필름의 탈착성 향상을 위하여 상기 초발수용 몰드에 이형성 막을 코팅함을 특징으로 하는 초발수용 몰드로 제조한 초발수 재료
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제13항에 있어서, 상기 양극산화는 경(hard) 양극산화의 경우는 1시간 이내로, 연(mild) 양극산화의 경우는 3시간 이내로 진행됨을 특징으로 하는 초발수용 몰드로 제조한 초발수 재료
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제13항에 있어서, 상기 초발수용 몰드는 강도향상을 위하여 니켈(Ni) 또는 텅스텐(W)이 코팅됨을 특징으로 하는 초발수용 몰드로 제조한 초발수 재료
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제14항에 있어서, 상기 이형성 막 재료는 알킬실리콘(alkyl silicone)임을 특징으로 하는 초발수용 몰드로 제조한 초발수 재료
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제13항에 있어서, 상기 고분자 수지는 polystyrene(PS); polycarbonate(PC); polyurethane(PU); polyimide(PI); polymethylmethacrylate (PMMA)를 포함하는 폴리아크릴레이트; polybutylene terephthalate(PBT), polyethylene terephthalate (PET)을 포함하는 폴리에스트르; polyethylene(PE), polypropylene(PP)을 포함하는 폴리알킬렌; polyvinyl chloride(PVC), polyvinylidene fluoride(PVdF)을 포함하는 비닐폴리머; polydimethylsiloxane(PDMS)을 포함한 실리콘 고분자 중의 하나인 것을 특징으로 하는 초발수용 몰드로 제조한 초발수 재료
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제1항 내지 제12항 중 어느 하나의 항에 있어서의 초발수용 몰드를 사용하고, 상기 초발수용 몰드를 임프린트로 사용하여 임프린팅 공정을 이용하여 고분자에 요철 마이크로구조 패턴과, 나노구조 패턴를 전사하여 초발수 표면을 형성시킴을 특징으로 하는 초발수용 몰드로 제조한 초발수 재료
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