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테라헤르츠파 신호원에서 발생된 테라헤르츠파가 파워 분배기로 입사되고, 상기 파워 분배기에서 일측 입사구로 입사된 테라헤르츠파로부터 배열 구조의 테라헤르츠파를 발생시켜 각각의 테라헤르츠파를 각각의 출사구로 분배하여 출력하는 단계; 상기 파워 분배기에서 출력되는 배열 테라헤르츠파에 대응된 안테나들을 포함하는 배열 송신 안테나를 이용하여 상기 배열 테라헤르츠파 각각을 시료로 출사하는 단계; 및상기 시료를 통과하거나 상기 시료에서 반사되는 테라헤르츠파를 검출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 비파괴 검사 방법
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일측 입사구로 입사된 테라헤르츠파로부터 배열 구조의 테라헤르츠파를 발생시켜 각각의 테라헤르츠파를 각각의 출사구로 분배하여 출력하는 파워 분배기; 상기 파워 분배기에서 출력되는 배열 테라헤르츠파에 대응된 안테나들을 포함하는 배열 송신 안테나; 및상기 배열 송신 안테나에서 출사되어 시료를 통과하거나 상기 시료에서 반사되는 테라헤르츠파를 검출하기 위한 수신기를 포함하는 것을 특징으로 하는 비파괴 검사 장치
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제2항에 있어서,상기 배열 송신 안테나 중 하나 이상의 일부 송신 안테나 앞에는 상기 배열 테라헤르츠파 중 해당 테라헤르츠파의 주파수를 체배하여 해당 송신 안테나로 출력하기 위한 주파수 체배기가 포함된 것을 특징으로 하는 비파괴 검사 장치
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제3항에 있어서,상기 주파수 체배기와 해당 송신 안테나의 구조와 상기 주파수 체배기가 없이 해당 송신 안테나만 있는 구조가 교번되어 배치된 것을 특징으로 하는 비파괴 검사 장치
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제2항에 있어서,상기 파워 분배기는, 금속 공동 공진기, 또는 광결정 공진기를 이용한 형태인 것을 특징으로 하는 비파괴 검사 장치
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제2항 또는 제3항에 있어서,상기 수신기는,상기 배열 송신 안테나에 대응된 안테나들을 포함하는 배열 수신 안테나; 상기 배열 수신 안테나에 대응되어 각각의 안테나가 수신한 테라헤르츠파의 변화를 검출하여 각각의 전기적 신호를 출력하는 배열 검출기; 및상기 배열 검출기에서 출력하는 상기 각각의 전기적 신호를 처리하여 상기 시료의 해당 위치에 대한 특성 분석용 영상 신호를 생성하는 영상처리장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 비파괴 검사 장치
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제6항에 있어서,상기 영상 신호에 따른 해당 시료에 대한 디스플레이 장치의 영상에 따라, 테라헤르츠파 신호원은 사용자의 조작에 따라 수동으로 또는 제어장치의 제어에 따라 자동으로 상기 파워 분배기로 입사되는 상기 테라헤르츠파의 주파수를 가변시키는 것을 특징으로 하는 비파괴 검사 장치
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제2항 또는 제3항에 있어서,상기 수신기는,제어장치의 제어에 따라 상기 배열 송신 안테나의 각 송신안테나에 대응된 위치로 순차 움직이는 이동형 단일 안테나; 상기 이동형 단일 안테나가 순차로 수신하는 테라헤르츠파를 속이 비어 있는 공간으로 전달하여 일측 구멍으로 출력하는 도파관;상기 도파관의 상기 일측 구멍에서 출력되는 각 위치의 테라헤르츠파의 변화를 검출하여 각각의 전기적 신호를 출력하는 단일 검출기; 및상기 단일 검출기에서 출력하는 상기 각각의 전기적 신호를 처리하여 상기 시료의 해당 위치에 대한 특성 분석용 영상 신호를 생성하는 영상처리장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 비파괴 검사 장치
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제2항 또는 제3항에 있어서,상기 배열 송신 안테나의 각각의 안테나는 상기 시료로 테라헤르츠파를 출사함과 동시에 상기 시료에서 반사되는 테라헤르츠파를 수신하는 송수신 안테나로서 기능하며,상기 수신기는,각각의 상기 송수신 안테나에 의해 수신된 각각의 테라헤르츠파에서 노이즈를 제거하는 신호 조절기;상기 신호 조절기가 출력하는 각각의 테라헤르츠파의 변화를 검출하여 각각의 전기적 신호를 출력하는 단일 검출기; 및상기 배열 검출기에서 출력하는 상기 각각의 전기적 신호를 처리하여 상기 시료의 해당 위치에 대한 특성 분석용 영상 신호를 생성하는 영상처리장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 비파괴 검사 장치
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제2항 또는 제3항에 있어서,상기 파워 분배기로 입사되는 상기 테라헤르츠파를 발생하는 테라헤르츠파 신호원은, 진공 내에서 열음극 또는 냉음극에 의해 발생되는 전자빔을 이용하는 진공전자소자(Vacuum Electronic Device), 또는 양자폭포 레이저(Quantum Cascade Laser)를 적용하여, 상기 테라헤르츠파를 발생하는 것을 특징으로 하는 비파괴 검사 장치
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제9항에 있어서,상기 검출기는 포토 다이오드 검출기, 초전효과(Pyroelectric) 검출기, 또는 마이크로볼로미터(Microbolometer) 검출기인 것을 특징으로 하는 비파괴 검사 장치
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