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레이저 발생기;상기 레이저 발생기에서 발생하는 레이저를 시료로 조사하고 상기 시료에서 일으키는 산란 광을 수집하는 광학계;상기 산란 광을 분광시키는 분광기;상기 분광기에서 분광된 광으로부터 해당 스펙트럼 영상 또는 데이터를 생성하는 카메라; 및상기 스펙트럼 영상 또는 데이터로부터 라만 스펙트럼 분석을 통해 라만 스펙트럼의 피크 주파수에 대한 해당 온도를 산출하는 스펙트럼 분석기를 포함하는 것을 특징으로 하는 라만 분광 온도계
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제1항에 있어서,상기 스펙트럼 분석기는, 상기 시료의 대상 물질이 될, 하나 이상의 물질에 대하여 복수의 온도에 따른 라만 스펙트럼의 피크 주파수의 정보를 미리 저장한 데이터베이스를 포함하고, 상기 데이터베이스의 정보를 이용하여 상기 분석의 결과에 따른 해당 라만 스펙트럼의 피크 주파수에 대응되는 상기 온도를 추정하는 것을 특징으로 하는 라만 분광 온도계
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제1항에 있어서,상기 라만 분광 온도계는, 상기 레이저가 조사되는 상기 시료의 국부적인 위치의 해당 특정 물질에 대한 선택적인 상기 온도를 측정하기 위한 것을 특징으로 하는 라만 분광 온도계
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제1항에 있어서,상기 광학계는, 상기 레이저 발생기에서 발생하는 레이저의 경로를 변경하는 빔 반사체; 및상기 빔 반사체에서 반사되는 레이저를 상기 시료로 조사하는 대물렌즈를 포함하고,상기 시료에서 일으키는 산란 광이 상기 분광기로 입사되는 것을 특징으로 하는 라만 분광 온도계
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제4항에 있어서,상기 광학계와 상기 분광기 사이에 필터를 더 포함하고,상기 빔 반사체로서 빔스플리터를 이용하며,상기 시료에서 일으키는 산란 광이 상기 대물렌즈와 상기 빔스플리터를 통과한 광과 상기 빔스플리터에서 분리되어 상기 대물렌즈 반대쪽으로 향하는 레이저가, 상기 필터를 거치면서 레이저가 제거된 상기 산란 광이 상기 분광기로 입사되는 것을 특징으로 하는 라만 분광 온도계
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레이저 발생기에서 발생하는 레이저를 시료로 조사하고 상기 시료에서 일으키는 산란 광을 수집하는 단계;수집된 상기 산란 광을 분광시키는 단계;상기 분광기에서 분광된 광을 촬영하는 카메라를 이용해 해당 스펙트럼 영상 또는 데이터를 생성하는 단계; 및상기 스펙트럼 영상 또는 데이터로부터 라만 스펙트럼 분석을 통해 라만 스펙트럼의 피크 주파수에 대한 해당 온도를 산출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 라만 분광을 이용한 온도 측정 방법
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