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전계를 인가하여 전자기파 처리를 위한 4극 전극 구조체에 있어서,2개의 상부 전극을 형성하기 위해 분리된 제1 금속물질층을 갖는 상부 전극 구조체를, 2개의 하부 전극을 형성하기 위해 분리된 제 2 금속물질층을 갖는 하부 전극 구조체에 결합시킨 구조로서,상기 제 1 금속물질층은 상부 기판 상에 형성되고, 상기 제 2 금속물질층은 하부 기판상에 형성되며, 상기 하부 전극 구조체는 상기 제2금속물질층의 상기 2개의 하부 전극 상에 각각 형성된 복수의 광결정으로 이루어진 격자 패턴을 포함하되,상기 복수의 광결정 각각은 상기 제2금속물질층 상에 형성된 제1절연물질층과 상기 제1절연물질층 상에 형성된 실리콘층의 이중층으로 이루어진 것을 특징으로 하는 4극 전극 구조체
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전계를 인가하여 전자기파 처리를 위한 4극 전극 구조체에 있어서,2개의 상부 전극을 형성하기 위해 분리된 제1 금속물질층을 갖는 상부 전극 구조체를, 2개의 하부 전극을 형성하기 위해 분리된 제2금속물질층을 갖는 하부 전극 구조체에 결합시킨 구조로서,상기 제 1 금속물질층은 상부 기판 상에 형성되고, 상기 제 2 금속물질층은 하부 기판상에 형성된 제 2 절연물질층 상에 형성되며, 상기 하부 전극 구조체는 상기 제2금속물질층의 상기 2개의 하부 전극 상에 각각 형성된 복수의 광결정으로 이루어진 격자 패턴을 포함하되,상기 복수의 광결정 각각은 상기 제2금속물질층 상에 형성된 실리콘층으로 이루어진 것을 특징으로 하는 4극 전극 구조체
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전계를 인가하여 전자기파 처리를 위한 4극 전극 구조체에 있어서,2개의 상부 전극을 형성하기 위해 분리된 제1 금속물질층을 갖는 상부 전극 구조체를, 2개의 하부 전극을 형성하기 위해 분리된 제 2 금속물질층을 갖는 하부 전극 구조체에 결합시킨 구조로서,상기 제 1 금속물질층은 상부 기판 상에 형성되고, 상기 제 2 금속물질층은 하부 기판상에 형성된 제 2 절연물질층 상에 형성되며, 상기 하부 전극 구조체는 상기 제2금속물질층의 상기 2개의 하부 전극 상에 각각 형성된 복수의 광결정으로 이루어진 격자 패턴을 포함하되,상기 복수의 광결정 각각은 상기 제2금속물질층 상에 형성된 실리콘층과 상기 실리콘층 상에 형성된 제3절연물질층을 갖는 이중층으로 이루어진 것을 특징으로 하는 4극 전극 구조체
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전계를 인가하여 전자기파 처리를 위한 4극 전극 구조체에 있어서,2개의 상부 전극을 형성하기 위해 분리된 제1 금속물질층을 갖는 상부 전극 구조체를, 2개의 하부 전극을 형성하기 위해 분리된 제2금속물질층을 갖는 하부 전극 구조체에 결합시킨 구조로서,상기 제 1 금속물질층은 상부 기판 상에 형성되고, 상기 제 2 금속물질층은 하부 기판상에 형성된 제 2 절연물질층 상에 형성되며, 상기 하부 전극 구조체는 상기 제 2 금속물질층의 상기 2개의 하부 전극 상에 각각 형성된 복수의 광결정으로 이루어진 격자 패턴을 포함하되,상기 복수의 광결정 각각은 상기 제 2 금속물질층 상에 형성된 제1 절연물질층, 상기 제 1 절연물질층 상에 형성된 실리콘층 및 상기 실리콘층 상에 형성된 제 3 절연물질층으로 이루어진 것을 특징으로 하는 4극 전극 구조체
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제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 상부 전극 구조체는 상기 상부 기판과 상기 제 1 금속 물질층 사이에서 상기 상부 기판 전면에 걸쳐 형성된 절연물질층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 4극 전극 구조체
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제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 하부 기판은 실리콘 웨이퍼 또는 절연체 기판인 것을 특징으로 하는 4극 전극 구조체
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7
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 상부 기판은 실리콘 웨이퍼 또는 절연체 기판인 것을 특징으로 하는 4극 전극 구조체
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8
전계를 인가하여 전자기파 처리를 위한 4극 전극 구조체의 제조 방법에 있어서,상기 4극 전극 구조체는, 2개의 상부 전극을 위해 동일 층상에서 분리되어 형성된 제1금속물질층을 갖는 상부 전극 구조체에, 2개의 하부 전극이 동일 층상에서 분리되어 형성된 하부 전극 구조체를 결합시킨 구조로서,상기 하부 전극 구조체를 형성하기 위하여,하부 기판 상에 제2금속물질층을 동일 층상에서 분리시켜 형성한 구조체 상에, 실리콘 기판 상에 제1절연물질층과 상기 제 1 절연물질층상에서 제2금속물질층을 분리시켜 형성한 구조체를 뒤집어 상기 제 2 금속물질층들을 접합시켜 상기 2개의 하부 전극을 형성시키는 단계; 및상기 뒤집어진 실리콘 기판을 연마한 후 연마된 실리콘 박막 위에서 패터닝하여 상기 2개의 하부 전극 상에 각각 복수의 광결정으로 이루어진 격자 패턴을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 복수의 광결정 각각은 상기 2개의 하부 전극 상에 형성된 상기 제1절연물질층과 상기 제1절연물질층 상에 형성된 실리콘층의 이중층으로 이루어진 것을 특징으로 하는 4극 전극 구조체의 제조 방법
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전계를 인가하여 전자기파 처리를 위한 4극 전극 구조체의 제조 방법에 있어서,상기 4극 전극 구조체는, 2개의 상부 전극을 위해 동일 층상에서 분리되어 형성된 제1금속물질층을 갖는 상부 전극 구조체에, 2개의 하부 전극이 동일 층상에서 분리되어 형성된 하부 전극 구조체를 결합시킨 구조로서,상기 하부 전극 구조체를 형성하기 위하여,하부 기판 상에 제 2 절연물질층 및 상기 제 2 절연물질층 상에 제2금속물질층을 동일 층상에서 분리시켜 형성한 구조체 상에, 실리콘 기판 상에 제2금속물질층을 형성한 구조체를 뒤집어 상기 제 2 금속물질층들을 접합시켜 상기 2개의 하부 전극을 형성시키는 단계; 및상기 뒤집어진 실리콘 기판을 연마한 후 연마된 실리콘 박막 위에서 패터닝하여 상기 2개의 하부 전극 상에 각각 복수의 광결정으로 이루어진 격자 패턴을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 복수의 광결정 각각은 상기 2개의 하부 전극 상에 형성된 실리콘층으로 이루어진 것을 특징으로 하는 4극 전극 구조체의 제조 방법
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전계를 인가하여 전자기파 처리를 위한 4극 전극 구조체의 제조 방법에 있어서,상기 4극 전극 구조체는, 2개의 상부 전극을 위해 동일 층상에서 분리되어 형성된 제1금속물질층을 갖는 상부 전극 구조체에, 2개의 하부 전극이 동일 층상에서 분리되어 형성된 하부 전극 구조체를 결합시킨 구조로서,상기 하부 전극 구조체를 형성하기 위하여,하부 기판 상에 제 2 절연물질층 및 상기 제 2 절연물질층 상에 제2금속물질층을 동일 층상에서 분리시켜 형성한 구조체 상에, 실리콘 기판 상에 제2금속물질층을 동일 층상에서 분리시켜 형성한 구조체를 뒤집어 상기 제 2 금속물질층을 접합시켜 상기 2개의 하부 전극을 형성시키는 단계; 및상기 뒤집어진 실리콘 기판을 연마하여 형성된 실리콘 박막에 제 3 절연물질층을 형성하는 단계; 및 상기 제 3 절연물질층이 형성된 실리콘 박막 위에서 패터닝하여 상기 2개의 하부 전극 상에 각각 복수의 광결정으로 이루어진 격자 패턴을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 복수의 광결정 각각은 상기 2개의 하부 전극 상에 형성된 실리콘층 및 상기 실리콘층 상에 형성된 상기 제 3 절연물질층을 갖는 이중층으로 이루어진 것을 특징으로 하는 4극 전극 구조체의 제조 방법
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전계를 인가하여 전자기파 처리를 위한 4극 전극 구조체의 제조 방법에 있어서,상기 4극 전극 구조체는, 2개의 상부 전극을 위해 동일 층상에서 분리되어 형성된 제1금속물질층을 갖는 상부 전극 구조체에, 2개의 하부 전극이 동일 층상에서 분리되어 형성된 하부 전극 구조체를 결합시킨 구조로서,상기 하부 전극 구조체를 형성하기 위하여,하부 기판 상에 제 2 절연물질층 및 상기 제 2 절연물질층 상에 제2금속물질층을 동일 층상에서 분리시켜 형성한 구조체 상에, 실리콘 기판 상에 제 1 절연물질층 및 상기 제 1 절연물질층 상에 제2금속물질층을 동일 층상에서 분리시켜 형성한 구조체를 뒤집어 상기 제 2 금속물질층들을 접합시켜 상기 2개의 하부 전극을 형성시키는 단계; 및상기 뒤집어진 실리콘 기판을 연마하여 형성된 실리콘 박막에 제 3 절연물질층을 형성하는 단계; 및 상기 제 3 절연물질층이 형성된 실리콘 박막 위에서 패터닝하여 상기 2개의 하부 전극 상에 각각 복수의 광결정으로 이루어진 격자 패턴을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 복수의 광결정 각각은, 상기 제2금속물질층 상에 형성된 상기 제1 절연물질층, 상기 제 1 절연물질층 상에 형성된 실리콘층 및 상기 실리콘층 상에 형성된 상기 제 3 절연물질층으로 이루어진 것을 특징으로 하는 4극 전극 구조체의 제조 방법
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제8항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,상기 상부 전극 구조체는 상기 상부 기판과 상기 제 1 금속 물질층 사이에서 상기 상부 기판 전면에 걸쳐 형성된 절연물질층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 4극 전극 구조체의 제조 방법
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