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다중 접합 반도체의 공극 검사 장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2015164262
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 다중 접합 반도체의 공극 검사 장치 및 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는 전자기파를 이용하여 다중 접합 반도체의 제조 과정에서 실시간으로 다중 접합 반도체에 대한 공극 검사가 가능한 다중 접합 반도체의 공극 검사 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명은 다중 접합 반도체의 공극 검사 장치에 있어서, 테라헤르츠 광을 발생시켜 하부에 배치된 상기 다중 접합 반도체 측으로 조사하는 광원; 상기 광원과 상기 다중 접합 반도체 사이에 배치되어 상기 광원으로부터 조사되는 테라헤르츠 광을 균일하게 상기 다중 접합 반도체 측으로 조사하는 평행광 조사부; 상기 다중 접합 반도체 하부에 배치되어 상기 다중 접합 반도체를 투과한 테라헤르츠 광을 집속하는 광 집속부; 및 상기 광 집속부에서 집속된 테라헤르츠 광을 검출하는 제1 광검출부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면 테라헤르츠파를 이용하여 다중 접합 반도체에 대한 공극 검사를 수행하므로 수중 검사가 불필요하여 실시간으로 다중 접합 반도체에 대한 전수 검사가 가능함과 동시에 공기에 대한 투과가 가능하므로 공극 이후에 대한 검사 또한 가능한 효과를 갖는다.
Int. CL H01L 21/66 (2006.01)
CPC G01N 21/3586(2013.01) G01N 21/3586(2013.01) G01N 21/3586(2013.01)
출원번호/일자 1020110067335 (2011.07.07)
출원인 한국전기연구원
등록번호/일자 10-1264099-0000 (2013.05.08)
공개번호/일자 10-2013-0005748 (2013.01.16) 문서열기
공고번호/일자 (20130514) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.07.07)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 대한민국 경상남도 창원시 성산구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김근주 대한민국 경기도 안산시 상록구
2 김재홍 대한민국 경기도 성남시 수정구
3 김정일 대한민국 경기도 안산시 상록구
4 전석기 대한민국 경기도 안산시 상록구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인충정 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로***,*층(역삼동,성보역삼빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 경상남도 창원시 성산구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.07.07 수리 (Accepted) 1-1-2011-0521084-17
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.02.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.03.23 수리 (Accepted) 9-1-2012-0024679-92
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.09.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0555084-39
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.11.20 수리 (Accepted) 1-1-2012-0953216-58
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.12.20 수리 (Accepted) 1-1-2012-1057593-07
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.01.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0056008-52
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.01.21 수리 (Accepted) 1-1-2013-0056009-08
9 등록결정서
Decision to grant
2013.03.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0213128-63
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.04 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006987-25
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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다중 접합 반도체의 공극 검사 장치에 있어서,테라헤르츠 광을 발생시켜 하부에 배치된 상기 다중 접합 반도체 측으로 조사하는 광원;상기 광원과 상기 다중 접합 반도체 사이에 배치되어 상기 광원으로부터 조사되는 테라헤르츠 광을 균일하게 상기 다중 접합 반도체 측으로 조사하는 평행광 조사부;상기 다중 접합 반도체 하부에 배치되어 상기 다중 접합 반도체를 투과한 테라헤르츠 광을 집속하는 광 집속부;상기 광원과 상기 평행광 조사부 사이에 배치되어 상기 다중 접합 반도체로부터 반사된 후 상기 평행광 조사부를 통과하는 테라헤르츠 광을 분배하는 광분배부;상기 광 집속부에서 집속된 테라헤르츠 광을 검출하는 제1 광검출부;상기 광분배부에서 분배된 테라헤르츠 광을 검출하는 제2 광검출부; 상기 제1 광검출부 또는 상기 제2 광검출부에서 검출된 테라헤르츠 광 신호를 수집하여 상기 다중 접합 반도체에 대한 영상 신호를 생성하는 영상 신호 생성부; 및 상기 생성된 영상 신호를 분석하여 상기 다중 접합 반도체의 공극 유무 및 상기 공극의 위치를 파악하는 영상 신호 분석부를 포함하고,상기 제1 광검출부 및 상기 제2 광검출부는 복수 개가 1차원 형태로 배열되거나 또는 복수 개가 2차원 형태로 배열되며, 상기 다중 접합 반도체의 복수 개의 영역 별로 시간에 따른 파형을 갖는 전기적 신호를 생성하고,상기 영상 신호 생성부는 상기 다중 접합 반도체의 복수 개의 영역 별로 생성되는 시간에 따른 파형을 갖는 전기적 신호를 주파수 영역의 신호로 변환한 후 상기 주파수 영역으로 변환된 신호의 크기 또는 위상을 이용하여 상기 다중 접합 반도체에 대한 영상 신호를 생성하며, 상기 영상 신호 분석부는 상기 생성된 영상 신호를 분석하여 상기 다중 접합 반도체의 공극 유무 및 공극 위치를 파악하는 것을 특징으로 하는 다중 접합 반도체의 공극 검사 장치
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제 1항에 있어서,상기 평행광 조사부와 상기 다중 접합 반도체 사이에 배치되며 표면에 적어도 하나 이상의 핀홀이 형성되는 필터부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 접합 반도체의 공극 검사 장치
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제 1항에 있어서,상기 평행광 조사부 또는 상기 광 집속부는 복수 개가 어레이 형태로 배열되는 것을 특징으로 하는 다중 접합 반도체의 공극 검사 장치
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제 1항에 있어서,상기 제1 광검출부에서 검출된 테라헤르츠 광 신호는 상기 다중 접합 반도체에 포함된 적어도 하나 이상의 공극에 의해 감쇠 또는 시간 지연이 발생한 신호이고,상기 영상 신호 분석부는 상기 감쇠 또는 상기 시간 지연을 이용하여 상기 다중 접합 반도체의 공극 유무 및 상기 공극의 위치를 파악하는 것을 특징으로 하는 다중 접합 반도체의 공극 검사 장치
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제 1항에 있어서,상기 제2 광검출부에서 검출된 테라헤르츠 광 신호는 상기 다중 접합 반도체에 포함된 복수 개의 경계면 중 공극이 포함된 적어도 하나 이상의 경계면에 의한 굴절률 차이에 따라 크기 변화 또는 시간 지연이 발생한 신호이고,상기 영상 신호 분석부는 상기 크기 변화 또는 상기 시간 지연을 이용하여 상기 다중 접합 반도체의 공극 유무 및 상기 공극의 위치를 파악하는 것을 특징으로 하는 다중 접합 반도체의 공극 검사 장치
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10 10
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11 11
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12 12
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