| 1 |
1
레이저를 이용하여 전자빔을 발생하는 전자빔 발생 방법에 있어서,
입사 레이저로부터 분리한 제1 프리-펄스를 이용하여 플라즈마 가스 노즐 내부에 전자빔 방향으로 플라즈마 밀도전이를 형성한 종방향의 플라즈마 채널을 형성하는 단계;
상기 입사 레이저로부터 분리한 제2 프리-펄스를 이용하여 상기 플라즈마 가스 노즐 내부에 상기 전자빔 방향을 가로지르도록 형성한 횡방향의 플라즈마 채널을 형성하는 단계;
상기 입사 레이저로부터 분리한 다른 펄스로부터 상기 제1 프리-펄스 또는 상기 제2 프리-펄스 보다 펄스폭이 좁은 압축된 레이저 펄스를 생성하여, 상기 압축된 레이저 펄스로부터 메인-펄스와 프로브-펄스로 분리하는 단계;
상기 메인-펄스를 이용하여 상기 플라즈마 가스 노즐 내부의 플라즈마에 전자를 주입하여 가속된 전자빔을 생성하는 단계; 및
상기 프로브-펄스를 상기 플라즈마 가스 노즐 내부로 통과시켜 나오는 빛을 카메라로 촬영하여 플라즈마 상태를 모니터링하는 단계
를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자빔 발생 방법
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,
상기 플라즈마 상태를 모니터링하는 단계에서,
각각의 미러를 이용하여 상기 프로브-펄스를 서로 다른 복수의 방향들에서 상기 플라즈마 가스 노즐 내부로 입사시키고 해당 방향에서 통과된 빛을 각각의 카메라로 촬영하여 해당 방향의 플라즈마 상태를 모니터링하는 것을 특징으로 하는 전자빔 발생 방법
|
| 3 |
3
제1항에 있어서,
미러군을 이용하여 상기 제1 프리-펄스 또는 상기 제2 프리-펄스를 시간 지연시켜 상기 종방향의 플라즈마 채널의 구조 또는 상기 횡방향의 플라즈마 채널의 구조를 바꾸는 것을 특징으로 하는 전자빔 발생 방법
|
| 4 |
4
제3항에 있어서,
상기 종방향의 플라즈마 채널의 구조는 상기 플라즈마 밀도전이의 분포를 포함하고, 상기 횡방향의 플라즈마 채널의 구조는 횡방향 채널 길이를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자빔 발생 방법
|
| 5 |
5
레이저를 이용하여 전자빔을 발생하는 전자빔 발생 장치에 있어서,
입사 레이저로부터 제1 프리-펄스와 제2 프리-펄스로 분리하는 빔 분리 수단;
내부로 유도되는 상기 제1 프리-펄스에 따라 전자빔 방향으로 플라즈마 밀도전이를 형성한 종방향의 플라즈마 채널을 형성하고, 내부로 유도되는 상기 제2 프리-펄스에 따라 상기 전자빔 방향을 가로지르도록 형성한 횡방향의 플라즈마 채널을 형성하는 플라즈마 가스 노즐;
상기 입사 레이저로부터 분리한 다른 펄스로부터 상기 제1 프리-펄스 또는 상기 제2 프리-펄스 보다 펄스폭이 좁은 압축된 레이저 펄스를 생성하는 압축기; 및
상기 압축된 레이저 펄스로부터 메인-펄스와 프로브-펄스로 분리하는 제2 빔 분리 수단을 포함하고,
상기 플라즈마 가스 노즐은 상기 메인-펄스를 이용하여 내부의 플라즈마에 전자를 주입하여 가속된 전자빔을 생성하고, 상기 플라즈마 가스 노즐 내부로 상기 프로브-펄스를 통과시켜 나오는 빛을 카메라로 촬영하여 플라즈마 상태를 모니터링하는 것을 특징으로 하는 전자빔 발생 장치
|
| 6 |
6
제5항에 있어서,
상기 제1 프리-펄스를 시간 지연시켜 상기 종방향의 플라즈마 채널의 구조를 바꾸기 위한 제1 미러군; 및
상기 제2 프리-펄스를 시간 지연시켜 상기 횡방향의 플라즈마 채널의 구조를 바꾸기 위한 제2 미러군
을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전자빔 발생 장치
|
