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고압펄스 발생장치

  • 기술번호 : KST2015164353
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 반도체 스위치 스택을 이용한 플라즈마 소스 이온 주입(Plasma Source Ion Implantation, 이하 PSII)용 고압펄스 발생장치가 개시된다. 이를 위하여, 상용전압으로부터 가변 AC전압을 만들어 고압으로 승압하고, 상기 승압된 AC전압을 DC전압으로 정류시킨 후, 상기 정류된 고압 DC전압을 통해 충전되는 커패시터 충전부; 및 IGBT 기반으로 한 스위치 스택(이하, IGBT 스택)을 이용하여 상기 고압충전부를 통해 고압 펄스전압을 발생시키는 펄스발생부를 포함함으로써, 펄스 반복률, 폭과 크기 등에서 높은 유연성을 갖는다. 고압펄스, IGBT 스택, 펄스 반복률
Int. CL H03K 17/567 (2006.01) H02M 7/21 (2006.01) H03K 3/53 (2006.01)
CPC H03K 3/57(2013.01) H03K 3/57(2013.01) H03K 3/57(2013.01)
출원번호/일자 1020040115138 (2004.12.29)
출원인 한국전기연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2006-0076653 (2006.07.04) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.12.29)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 대한민국 경상남도 창원시 성산구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 임근희 대한민국 경남 창원시
2 김종현 대한민국 경남 창원시 가음동 **
3 세르게이센드레이 러시아 창원시 가음동 **-*
4 김지현 대한민국 경남 창원시 가음동 **

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이학수 대한민국 부산광역시 연제구 법원로 **, ****호(이학수특허법률사무소)
2 백남훈 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, KTB네트워크빌딩**층 한라국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2004.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2004-0624187-17
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2006.02.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2006.03.18 수리 (Accepted) 9-1-2006-0018336-54
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.04.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0232689-13
5 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
2006.06.26 수리 (Accepted) 1-1-2006-0448575-14
6 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
2006.07.25 수리 (Accepted) 1-1-2006-0530435-99
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2006.08.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0504355-26
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.11.17 수리 (Accepted) 4-1-2009-5220117-37
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.11.08 수리 (Accepted) 4-1-2010-5207456-63
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.04 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006987-25
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
상용전압으로부터 가변 AC전압을 만들어 고압으로 승압하고, 상기 승압된 AC전압을 DC전압으로 정류시킨 후, 상기 정류된 고압 DC전압을 통해 충전되는 커패시터 충전부; 및 IGBT 기반으로 한 스위치 스택(이하, IGBT 스택)을 이용하여 상기 고압충전부를 통해 고압 펄스전압을 발생시키는 펄스발생부를 포함하는 것을 특징으로 하는 고압펄스 발생장치
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 커패시터 충전부는, 적어도 하나 이상의 사이리스터(SCR)를 포함하여, 상기 상용전압으로부터 가변 AC전압으로 변환하는 위상제어기; 상기 가변 AC전압을 고압으로 승압하는 승압변압기; 적어도 하나 이상의 다이이오드 모듈을 포함하며, 상기 승압된 고압AC전압을 고압DC로 정류하는 정류기; 및 상기 DC전압을 충전하는 DC링크 커패시터를 포함하는 것을 특징으로 하는 고압펄스 발생장치
3 3
청구항 1 또는 2에 있어서, 상기 펄스발생부는, 적어도 하나 이상의 IGBT 스택; 적어도 하나 이상의 다이오드; 적어도 하나 이상의 고압커패시터; 및 상기 IGBT 스택을 구동하는 능동구동기를 포함하며, 상기 IGBT 스택이 오프되면, 상기 고압 DC전압이 상기 다이오드를 통해 상기 고압커패시터을 충전하고, 상기 IGBT 스택이 온되면 상기 고압커패시터의 에너지가 출력부하(Load)로 전달되는 것을 특징으로 하는 고압펄스 발생장치
4 4
청구항 3에 있어서, 상기 출력부하의 출력전압 및 전류를 검출하여 과전압이나 과전류 등의 이상상태 발생시 상기 고압펄스 발생장치를 보호하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고압펄스 발생장치
5 5
청구항 3에 있어서, 상기 IGBT 스택은, 상기 능동구동기에 의해 구동되는 복수개의 IGBT 스위치; 및 상기 IGBT스위치의 게이트 구동기 역할을 수행하는 수동구동기를 포함하는 것을 특징으로 하는 고압펄스 발생장치
6 5
청구항 3에 있어서, 상기 IGBT 스택은, 상기 능동구동기에 의해 구동되는 복수개의 IGBT 스위치; 및 상기 IGBT스위치의 게이트 구동기 역할을 수행하는 수동구동기를 포함하는 것을 특징으로 하는 고압펄스 발생장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.