| 1 |
1
전기적으로 절연되며 플라즈마가 채워지는 진공 챔버(10);상기 진공 챔버(10)의 내부에 설치되어 롤투롤 방식으로 필름을 일방향으로 진행시켜주는 롤 구동장치(11);적어도 한 면 이상에 필름 표면을 바라보며 배치되는 슬롯(12)이 구비되고 전도성을 가지면서 필름을 둘러싸서 필름을 플라즈마로부터 분리시키며 전기적으로 필름측과 연결되는 덮개(13);상기 덮개(13)와 필름측에 전원을 공급하는 전원 공급장치(14);를 포함하며, 상기 필름과 덮개에 플라즈마 전위에 비해 상대적으로 음의 값을 갖는 바이어스가 제공되고, 상기 덮개는 슬롯을 갖는 추출 전극의 역할을 하게 되며, 상기 추출 전극을 통해 덮개 주변에 형성된 쉬스 내부로 가속된 이온이 덮개와 필름 사이의 간격 내부로 이끌리면서 일방향으로 진행하는 필름의 표면에 충돌하게 되므로서, 필름의 표면을 연마하며,상기 덮개(13)의 슬롯(12)은 필름의 직선경로 진행선상과 같은 높이에서 필름의 두께를 정면에서 바라보는 위치에 구비되어, 슬롯을 통과한 이온이 필름의 두께를 필요한 두께만큼 잘라낼 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 필름 연마 장치
|
| 2 |
2
청구항 1에 있어서, 상기 필름의 이송을 위한 롤 구동장치(11)는 공급 롤(15)과 회수 롤(16), 그리고 1개 또는 2개의 아이들 롤(17)로 구성되어 삼각형 또는 사각형 형태로 배치되는 구조로 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 필름 연마 장치
|
| 3 |
3
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 덮개(13)의 슬롯(12)은 필름의 롤측 접촉부위를 정면으로 바라보는 위치에 구비되어, 슬롯을 통과한 이온이 롤측에 걸쳐져 지지되면서 진행하고 있는 필름의 표면에 충돌할 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 필름 연마 장치
|
| 4 |
4
삭제
|
| 5 |
5
전기적으로 절연된 진공 챔버 내부에 롤투롤 방식으로 필름을 일방향으로 진행시켜주는 롤 구동장치를 배치하는 단계;필름측과 전기적으로 연결되어 슬롯을 통해 이온 추출 전극으로서의 역할을 하는 덮개로 필름 주변을 덮는 단계;상기 진공 챔버의 내부에 저온의 고밀도 플라즈마를 제공하는 단계;상기 필름과 덮개에 음의 바이어스를 부가하고 롤 구동장치를 이용하여 필름을 일방향으로 진행시키는 단계;상기 추출 전극을 통해 덮개 주변에 형성된 쉬스 내부로 가속된 이온이 덮개와 필름 사이의 간격 내부로 이끌리면서 일방향으로 진행하는 필름의 표면에 충돌하게 되므로서 필름을 가공하는 단계;를 포함하며,상기 필름을 가공하는 단계에서, 필름의 직선경로 진행선상과 같은 높이에서 필름의 두께를 정면에서 바라보는 위치에 구비되어 있는 슬롯을 통과한 이온이 필름의 두께를 필요한 두께만큼 잘라낼 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 필름 연마 방법
|
| 6 |
6
청구항 5에 있어서, 상기 필름을 가공하는 단계에서, 필름의 롤측 접촉부위를 정면으로 바라보는 위치에 구비되어 있는 슬롯을 통과한 이온이 롤측에 걸쳐져 지지되면서 진행하고 있는 필름의 표면에 충돌되도록 하여, 필름의 표면을 연마하는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 필름 연마 방법
|
| 7 |
7
삭제
|
