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액정배향막의제조장치및제조방법

  • 기술번호 : KST2015164605
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 진공 증착장비를 사용하여 액정배향막을 제조하는 방법 및 장치에 있어서, 종래의 진공 증착장비에 설치되어 있는 고정된 기판의 개념에서 탈피하여 직선 왕복운동 및 호전운동을 통하여 운동방향으로 운동량을 전가시킴으로써 배향물질의 증기가 기판에 증착되는 순간부터 배향물질의 분자들을 일정한 방향으로 배향시켜 액정배향막을 제조한다. 따라서 종래의 러빙법으로 인해 발생하던 불량품의 수를 줄일 수 있으며, 증착시에 기판의 직선왕복운동 및 회전운동을 통한 배향막 분자들이 일정한 방향으로 배열되는 균일성을 얻을 수 있다.
Int. CL G02F 1/136 (2006.01)
CPC G02F 1/13378(2013.01) G02F 1/13378(2013.01) G02F 1/13378(2013.01)
출원번호/일자 1019950041949 (1995.11.17)
출원인 고등기술연구원연구조합
등록번호/일자 10-0297399-0000 (2001.05.21)
공개번호/일자 10-1997-0030472 (1997.06.26) 문서열기
공고번호/일자 (20011022) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1998.08.03)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고등기술연구원연구조합 대한민국 경기도 용인시 처인구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 우형석 대한민국 경기도성남시분당구
2 이재경 대한민국 경기도성남시분당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박희진 대한민국 서울특별시 송파구 송파대로 ***, 비동 비****호 (문정동, 문정역테라타워)(세기국제특허법률사무소)
2 박영우 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***, *층 **세기특허법률사무소 (역삼동, 세일빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 사단법인 고등기술연구원 연구조합 대한민국 서울 중구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1995.11.17 수리 (Accepted) 1-1-1995-0166144-19
2 특허출원서
Patent Application		 1995.11.17 수리 (Accepted) 1-1-1995-0166143-74
3 대리인변경신고서
Agent change Notification		 1998.03.13 수리 (Accepted) 1-1-1995-0166145-65
4 출원인정보변경 (경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1998.08.03 수리 (Accepted) 1-1-1995-0166147-56
5 출원심사청구서
Request for Examination		 1998.08.03 수리 (Accepted) 1-1-1995-0166146-11
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.14 수리 (Accepted) 4-1-1999-0005575-94
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.20 수리 (Accepted) 4-1-1999-0009778-48
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2000.05.12 수리 (Accepted) 4-1-2000-0063305-60
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2000.05.18 수리 (Accepted) 4-1-2000-0066277-94
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2000.07.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2000-0174619-60
11 의견서
Written Opinion		 2000.09.21 수리 (Accepted) 1-1-2000-5287271-84
12 등록사정서
Decision to grant		 2001.02.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2001-0040431-65
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.12.16 수리 (Accepted) 4-1-2004-5105415-35
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.12.16 수리 (Accepted) 4-1-2004-5105550-91
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2007.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2007-5123887-97
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.03.23 수리 (Accepted) 4-1-2010-5049999-70
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2013-5092832-77
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.04.03 수리 (Accepted) 4-1-2014-0054125-21
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.04.03 수리 (Accepted) 4-1-2014-5041626-28
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.09.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5177074-19
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

진공챔버 내부의 하부에 설치되어 배향물질을 넣고 가열하여 증기를 형성하기 위한 보트와,

상기 보트의 상부에 설치되어 상기 보트로부터 발생되는 증기가 상부로 유입되는 양을 조절하는 셔터와,

상기 진공챔버 내부의 상부에 설치되어 기판을 장착할 수 있는 기판홀더와,

상기 기판홀더와 연결되어 기판홀더를 직선 왕복운동 시킬 수 있는 풀-푸시 직선 공급로 및 가이드와,

상기 기판홀더와 연결되어 기판홀더를 회전운동 시킬 수 있는 회전 공급로 및 가이드와,

상기 기판홀더의 측면에 설치되어 기판에 형성되는 배향막의 두께를 모니터링하기 위한 두께측정기를 포함하는 액정배향막 제조장치
2 2

진공챔버 내부의 기판홀더에 기판을 장착하는 단계와, 상기 진공챔버 내부의 보트에 배향물질을 채워 넣고 상기 진공챔버 내부를 진공 상태로 만드는 단계와,

상기 보트에 전원을 공급하여 상기 보트를 가열하면서 상기 기판홀더를 원하는 방향으로 왕복직선운동 및 회전운동 시키는 단계와,

상기 보트에서 발생되는 증기의 양을 상기 보트 상부의 셔터로 조절하면서 기판에 증착되는 배향막의 두께를 두께측정기로 모니터링 하면서 원하는 두께만큼 배향막을 증착하는 단계와,

상기 배향막이 원하는 두께만큼 증착된 후 보트를 오프시키는 단계를 포함하는 액정배향막의 제조방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.