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액상 프리커서를 사용한 대기압 DBD플라즈마 초친수 코팅장치

  • 기술번호 : KST2015165342
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요약 본 발명은 액상 프리커서를 사용한 대기압 DBD 플라즈마 초친수 코팅장치로서, 코팅 대상인 건축용 판유리 또는 필름(10)이 안착되는 접지 치구(ground plate)(20)와, RF에너지를 인가받아 대기압에 노출된 상태에서 플라즈마 방전을 일으키는 DBD(Dielecric Barrier Discharge : 절연막방전) 코팅 전극(30)사이의 방전영역에서 발생된 플라즈마 방전에 의한 화학적 증착작용에 의해 건축용 판유리 또는 필름(10)에 초친수 기능이 부여되도록 헬륨 가스, 알곤 가스, 산소 가스를 혼합기(120)에서 혼합한 혼합 공정가스를 공정가스 공급관(122)을 통해 DBD 방전 전극(30) 주위에 분사시키는 공정가스 공급부(100)를 포함하여, 건축용 판유리 또는 필름(10)에 자기세정 및 방오염 특성을 나타난다. 헬륨 가스는 TiOx 금속 산화물에 의한 친수성 기능이 부여되는 액상 프리커서(150)를 통해 혼합기(120)에 공급되며, 기화장치로서 버블러(160)를 사용한다. 판유리 또는 필름(10)의 표면 전체에 코팅의 균일도(uniformity)를 향상시키기 위해서 플라즈마 상태의 방전 영역에 골고루 노출시키도록 접지 치구(20)는 회전하면서 직선왕복운동을 할 수 있도록 제어되며, 판유리 또는 필름(10)은 회전하는 접지 치구(10)의 판 위에 놓여 DBD 방전 전극(30)과 일정 간격을 유지하며 회전하면서 정속도로 직선왕복 이동한다.
Int. CL H01L 21/205 (2006.01) C23C 16/40 (2006.01) C23C 16/50 (2006.01) C23C 16/44 (2006.01)
CPC C23C 16/44(2013.01) C23C 16/44(2013.01) C23C 16/44(2013.01) C23C 16/44(2013.01) C23C 16/44(2013.01)
출원번호/일자 1020100053901 (2010.06.08)
출원인 고등기술연구원연구조합
등록번호/일자 10-1227961-0000 (2013.01.24)
공개번호/일자 10-2011-0134105 (2011.12.14) 문서열기
공고번호/일자 (20130130) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.06.08)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고등기술연구원연구조합 대한민국 경기도 용인시 처인구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김상식 대한민국 서울특별시 강남구
2 오승천 대한민국 서울특별시 마포구
3 신중욱 대한민국 경기도 고양시 덕양구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 제일특허법인(유) 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)
2 김원준 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 고등기술연구원연구조합 경기도 용인시 처인구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.06.08 수리 (Accepted) 1-1-2010-0367309-92
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.04.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.05.12 수리 (Accepted) 9-1-2011-0038915-11
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.06.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0325046-21
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.07.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0608336-25
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.07.30 수리 (Accepted) 1-1-2012-0608334-34
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2012.12.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0746344-30
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.12.21 수리 (Accepted) 1-1-2012-1062782-47
9 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2012.12.21 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2012-1062783-93
10 등록결정서
Decision to Grant Registration
2013.01.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0018093-89
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2013-5092832-77
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.04.03 수리 (Accepted) 4-1-2014-5041626-28
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.04.03 수리 (Accepted) 4-1-2014-0054125-21
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.09.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5177074-19
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
코팅 대상인 건축용 판유리 또는 필름이 안착되며, 회전하면서 정속도로 직선왕복 이동하는 접지 치구(ground plate)와,13
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삭제
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패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 건설기술평가원 고등기술연구원 건설기술혁신사업 대기압 플라즈마를 이용한 건축외장재 방오염내구성 향상기술 개발