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정전방식 마이크로 액튜에이터가 집적화된 트랙추종용 헤드/슬라이더 조립체의 제조방법에 있어서, 사이에 캐비티가 형성되도록 슬라이더 기판위에 미소 구동기의 구조층을 형성하는 단계와, 상기 미소 구동기의 구조층위에 금속신호선을 형성하는 단계와, 상기 미소 구동기의 구조층의 중앙에 읽기/쓰기 자기 헤드를 형성하는 단계와, 상기 미소 구동기와 읽기/쓰기 자기 헤드를 구분하도록 식각하는 단계와, 상기 미소구동기 및 읽기/쓰기 헤드의 상부에 보호 커버를 형성하여 헤드/슬라이더 조립체를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 미소 구동기가 집적화된 헤드/슬라이더 조립체의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 캐비티는, 슬라이더 기판상에 열산화실리콘으로 만든 마스크층을 형성하는 단계와, 소망의 깊이가 얻어질 때 까지 상기 슬라이더 기판의 일부를 식각하는 단계와, 용해 접합법을 사용하여 슬라이더 기판에 미소구동기 구조층을 접합하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 금속신호선은, 상기 미소구동기위에 제 1 절연층을 증착하고, 상기 미소구동기를 부분적으로 노출하도록 상기 제 1 절연층을 패터닝하는 단계와, 상기 제 1 절연층상에 금속층을 증착하고, 상기 미소구동기와 제 1 절연층을 부분적으로 노출하도록 상기 금속층을 패터닝하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 미소구동기 및 읽기/쓰기 자기 헤드는 마그네틱 요크부의 양측면과 상기 읽기/쓰기 헤드의 일측면에 인접한 미소구동기의 이동부에 반응 이온 식각을 행한 후, 미소구동기를 패터닝하도록 디프 반응 이온 식각을 행하여 분리한 것을 특징으로 하는 제조방법
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초고밀도 하드 디스크 드라이브용 평면형 헤드/슬라이더 조립체에 있어서, 상부에 캐비티가 형성되고, 실리콘 웨이퍼로 만든 슬라이더 본체와, 상기 슬라이더 본체위에 설치되는 정전방식 미소 구동기와, 상기 슬라이더 본체의 상부와 평행하도록 상기 미소 구동기위에 장착되는 읽기/쓰기 자기 헤드와, 상기 슬라이더 본체의 상부 가장자리 둘레를 따라 접합되는 보호 커버로 이루어진 것을 특징으로 하는 헤드/슬라이더 조립체
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초고밀도 하드 디스크 드라이브용 수직형 헤드/슬라이더 조립체에 있어서, 후미에 캐비티가 형성되고, 실리콘 웨이퍼로 만든 슬라이더 본체와, 상기 슬라이더 본체의 후미에 설치되는 정전방식 미소 구동기와, 상기 슬라이더 본체의 후미와 수직하도록 상기 미소 구동기위에 장착되는 읽기/쓰기 자기 헤드와, 상기 슬라이더 본체의 후미 가장자리 둘레를 따라 접합되는 보호 커버로 이루어진 것을 특징으로 하는 헤드/슬라이더 조립체
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