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광고분자를이용한액정분자배향막용박막제조장치및그방법

  • 기술번호 : KST2015165767
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 종래의 열중착 진공 장치에 있어서, 메인 쳄버를 셔터에 의해 상부 및 하부 쳄버로 나누고 두 쳄버의 압력을 다르게 한 후 셔터의 개방 횟수와 개방 시간을 조절하여 중착되는 박막의 두께를 정밀하게 제어할 수 있는 액정 분자의 배열을 위한 박막 제조 장치 및 방법이 개시되어 있다.본 발명은 셔터(5)에 의해 상부 진공 쳄버(1) 및 하부 진공 쳄버(6)로 나누어진 진공 쳄버와; 상기 상부 진공 쳄버 내에 설치된 샘플홀더(2)와; 상기 샘플홀더(2)에 고정된 샘플(3); 상기 하부 진공 쳄버(6) 내에는 중착 물질이 놓여진 몰리브덴-보트로 구성된다. 2-쳄버를 갖는 본 발명의 구성에 의하여, 중착되는 박막의 두께가 정밀하게 제어된다.또한, 본 발명의 하부 진공 쳄버에 중착 물질을 증발시키기 위한 몰리브덴-보트를 다수 설치함으로써 다중 박막 또는 합금막(alloy막)을 얻을 수 있다.
Int. CL G02F 1/13 (2006.01)
CPC G02F 1/1303(2013.01) G02F 1/1303(2013.01)
출원번호/일자 1019940040612 (1994.12.31)
출원인 고등기술연구원연구조합
등록번호/일자
공개번호/일자 10-1996-0026123 (1996.07.22) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1994.12.31)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고등기술연구원연구조합 대한민국 경기도 용인시 처인구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 우형석 대한민국 서울시중구
2 이재경 대한민국 서울시중구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박희진 대한민국 서울특별시 송파구 송파대로 ***, 비동 비****호 (문정동, 문정역테라타워)(세기국제특허법률사무소)
2 박영우 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***, *층 **세기특허법률사무소 (역삼동, 세일빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 1994.12.31 수리 (Accepted) 1-1-1994-0181207-60
2 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1994.12.31 수리 (Accepted) 1-1-1994-0181208-16
3 출원심사청구서
Request for Examination		 1994.12.31 수리 (Accepted) 1-1-1994-0181209-51
4 대리인변경신고서
Agent change Notification		 1998.03.13 수리 (Accepted) 1-1-1994-0181210-08
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 1998.03.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1994-0100707-48
6 출원인정보변경 (경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1998.04.21 수리 (Accepted) 1-1-1994-0181211-43
7 의견서
Written Opinion		 1998.05.23 수리 (Accepted) 1-1-1994-0181212-99
8 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 1998.05.23 수리 (Accepted) 1-1-1994-0181213-34
9 거절사정서
Decision to Refuse a Patent		 1998.06.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1994-0100708-94
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.14 수리 (Accepted) 4-1-1999-0005575-94
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.20 수리 (Accepted) 4-1-1999-0009778-48
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2000.05.12 수리 (Accepted) 4-1-2000-0063305-60
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2000.05.18 수리 (Accepted) 4-1-2000-0066277-94
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.12.16 수리 (Accepted) 4-1-2004-5105415-35
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.12.16 수리 (Accepted) 4-1-2004-5105550-91
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2007.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2007-5123887-97
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.03.23 수리 (Accepted) 4-1-2010-5049999-70
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2013-5092832-77
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.04.03 수리 (Accepted) 4-1-2014-5041626-28
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.04.03 수리 (Accepted) 4-1-2014-0054125-21
21 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.09.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5177074-19
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

셔터(5)에 의해 상부 진공 쳄버(1)및 하부 진공 쳄버(6)로 나누어진 진공 쳄버와; 상기 상부 진공 쳄버내에 설치된 샘플홀더(2)와; 상기 샘플홀더(2)에 고정된 샘플(3)과; 상기 하부 진공 쳄버(6) 내에는 중착 물질이 놓여진 몰리브덴-보트를 포함하고, 상기 상부 및 하부 진공 쳄버는 각각 일정한 진공도의 압력을 유지하되 상기 상부 진공 쳄버의 압력이 상기 하부 진공 쳄버의 압력보다 더 낮으며, 상기 중착 물질은 상기 몰리브덴-보트가 전류에 의해 가열됨에 따라 증발되어 상기 셔터를 개방함에 따라 상기 하부 진공 쳄버 내에서 상기 상부 진공 쳄버 내로 확산하여 상기 샘플 상에 중착되는 것을 특징으로 하는 액정 분자의 배열을 위한 박막 제조 장치

2 2

제1항에 있어서, 상기 상부 진공 쳄버의 진공도는 약 10-7torr이고, 하부 진공 쳄버의 진공도는 약 10-5torr인 것을 특징으로 하는 액정 분자의 배열을 위한 박막 제조 장치

3 3

제1항에 있어서, 상기 몰리브덴-보트는 2개 이상이고, 상기 샘플상에 형성된 박막은 다중막 또는 합금막인 것을 특징으로 하는 액정 분자의 배열을 위한 박막 제조 장치

4 4

제1항에 있어서, 상기 박막 제조 장치는 상기 샘플 하부에 마스크(4)를 더 포함하여 상기 샘플 표면 중 원하는 부분에만 상기 중착 물질이 중착되는 것을 특징으로 하는 액정 분자의 배열을 위한 박막 제조 장치

5 5

쳄버가 셔터(6)에 의해 상부 진공 쳄버(1) 및 하부 진공 쳄버(7)로 나누어지는 단계와; 상기 상부 진공 쳄버 내에 샘플홀더(2)를 설치하는 단계와; 상기 샘플홀더(2)에 샘플(3)을 고정시키는 단계와; 상기 하부 진공 쳄버(7)내에 중착 물질이 놓여질 몰리브덴-보트를 설치하는 단계와; 진공 펌프를 이용하여 상기 상부 및 하부 진공 쳄버는 각각 일정한 진공도의 압력을 유지하되 상기 상부 진공 쳄버의 압력이 상기 하부 진공 쳄버의 압력보다 더 낮은 진공도를 유지하는 단계와; 상기 몰리브덴-보트에 전류를 가하여 상기 중착 물질을 증발시키는 단계와; 상기 셔터를 개방하는 단계와; 상기 하부 진공 쳄버 내에서 증발된 상기 중착 물질이 상기 상부 진공 쳄버 내로 확산하여 상기 샘플 상에 중착되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 분자의 배열을 위한 박막 제조 방법

6 6

제6항에 있어서, 상기 박막 제조 방법은 상기 샘플을 고정시키는 단계와 상기 셔터를 개방하는 단계 사이에 상기 샘플에 형성되는 박막의 두께를 정밀하게 측정하기 위한 두께 측정용 모니터를 설치하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 분자의 배열을 위한 박막 제조 방법

7
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.