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고효율 상압 마이크로웨이브 플라즈마시스템

  • 기술번호 : KST2015165964
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 이중 공진기를 이용하여 에너지 전달 효율을 높인 고효율의 상압 마이크로웨이브 플라즈마시스템에 관한 것이다. 이러한 본 발명의 시스템은 마이크로웨이브를 발생하기 위한 마이크로웨이브 발생부와, 상기 마이크로웨이브를 전달받아 반응가스로부터 플라즈마를 생성하기 위한 플라즈마 반응부를 구비한 마이크로웨이브 플라즈마시스템에 있어서, 상기 플라즈마 반응부가 상기 반응가스가 통과되는 유전체로 된 플라즈마 반응관과, 공진기 튜너가 이중의 공진기 구조내에 포함되어 공진모드와 주파수를 최적화할 수 있도록 구성된다. 따라서, 본 발명의 마이크로웨이브 플라즈마시스템은 에너지 결합효율이 높은 이중 공진기형이면서, 공진기 내의 튜너를 통해 다양한 공정변수에서도 안정하게 유지되는 상압 플라즈마 방전을 얻을 수 있으므로 기존의 저압시스템을 활용한 경우보다 고밀도 중성 활성종을 얻을 수 있어 효율을 높이고 이에 따라 처리속도를 높일 수 있다. 마이크로웨이브, 이중 공진기, 공진기 튜너, 상압 플라즈마
Int. CL H05H 1/46 (2006.01)
CPC H01J 37/32256(2013.01) H01J 37/32256(2013.01) H01J 37/32256(2013.01) H01J 37/32256(2013.01) H01J 37/32256(2013.01) H01J 37/32256(2013.01)
출원번호/일자 1020020004606 (2002.01.26)
출원인 고등기술연구원연구조합
등록번호/일자 10-0500360-0000 (2005.06.30)
공개번호/일자 10-2003-0064125 (2003.07.31) 문서열기
공고번호/일자 (20050712) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.01.26)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고등기술연구원연구조합 대한민국 경기도 용인시 처인구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 홍정미 대한민국 경기도용인시
2 김상영 대한민국 강원도동
3 이근호 대한민국 경기도성남시분당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 윤병삼 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, *층(역삼동, 대아빌딩)(특허법인 신우)
2 감동훈 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 **, 뉴서울빌딩 ***호 신우국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 고등기술연구원연구조합 대한민국 서울 중구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 전자문서첨부서류제출서
Submission of Attachment to Electronic Document		 2002.01.26 수리 (Accepted) 1-1-2002-5023731-30
2 특허출원서
Patent Application		 2002.01.26 수리 (Accepted) 1-1-2002-0025627-08
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2004.02.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2004.03.12 수리 (Accepted) 9-1-2004-0012692-84
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2004.07.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0308892-11
6 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2004.09.30 수리 (Accepted) 1-1-2004-0444114-28
7 복대리인선임신고서
Report on Appointment of Sub-agent		 2004.09.30 수리 (Accepted) 1-1-2004-5156063-04
8 의견서
Written Opinion		 2004.10.30 수리 (Accepted) 1-1-2004-0501965-26
9 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2004.10.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2004-0501966-72
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.12.16 수리 (Accepted) 4-1-2004-5105415-35
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.12.16 수리 (Accepted) 4-1-2004-5105550-91
12 등록결정서
Decision to grant		 2005.03.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0151278-94
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2007.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2007-5123887-97
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.03.23 수리 (Accepted) 4-1-2010-5049999-70
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2013-5092832-77
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.04.03 수리 (Accepted) 4-1-2014-0054125-21
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.04.03 수리 (Accepted) 4-1-2014-5041626-28
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.09.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5177074-19
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번호 청구항
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마이크로웨이브를 발생하기 위한 마이크로웨이브 발생부와, 상기 마이크로웨이브를 전달받아 반응가스로부터 플라즈마를 생성하기 위한 플라즈마 반응부를 구비한 마이크로웨이브 플라즈마시스템에 있어서, 상기 플라즈마 반응부가 도파관을 통해 상기 마이크로웨이브를 입력받는 1차 공진기; 상기 1차 공진기로부터 전달된 마이크로웨이브로 플라즈마를 일으키게 하는 2차 공진기; 상기 1차 공진기와 상기 2차 공진기 사이에 마이크로웨이브를 전달하기 위한 커플링수단; 유전체로 이루어져 상기 2차 공진기 내에 위치되고, 상기 마이크로웨이브에 의해 반응가스로부터 플라즈마 반응을 일으키게 하는 플라즈마 반응관; 및 내부가 빈 원통의 일단에 환형판이 부착된 구조로 되어 상기 플라즈마 반응관과 상기 플라즈마 반응관에 인접한 공진기 사이 공간에 위치하여 사용자의 조작에 따라 공진모드와 주파수를 최적화하기 위한 공진기 튜너를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로웨이브 플라즈마시스템
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제4항에 있어서, 상기 커플링수단은 구멍 또는 안테나인 것을 특징으로 하는 마이크로웨이브 플라즈마시스템
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제4항에 있어서, 상기 플라즈마 반응관의 재질이 유전상수가 2 내지 10 범위이고, 녹는 점이 600도 이상인 것을 특징으로 하는 마이크로웨이브 플라즈마시스템
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