하부 좌측에는 이온 폭격을 하기 위해 설치되어 있는 이온원 발생기와, 상기 이온원 발생기의 우측에 고분자를 진공증착 시키기 위한 이퓨젼셀과, 캐소드로 사용되는 금속을 진공증착시키기 위해 설치되어 있는 보트와, 상기 이퓨전 셀과 보트의 우측 상부에는 증착되는 박막의 두께를 측정할 수 있는 두께 측정기와, 상기 이퓨젼 셀과 보트에서 발생되는 증기를 차단하기 위해 설치되어 있는 셔터와, 상기 이퓨전 셀과 보트의 상부에 투명전극이 코팅된 유리를 장착할 수 있는 기판 홀더와, 내부의 공기를 배출하여 진공상태로 만들기 위한 배기구를 포함하는 고분자 발광소자의 제조장치

진공 시스템의 기판홀더에 투명전극이 코팅된 유리를 장착하는 단계와, 상기 진공 시스템의 이퓨젼셀에 고분자를 넣고, 보트에는 일함수가 작은 금속을 넣은 후 진공펌프를 이용하여 진공시스템의 내부를 진공상태로 만드는 단계와, 상기 진공상태의 이퓨전 셀에 열을 가해 고분자의 증기를 형성시키면서 두께측정기를 구동시켜 투명전극막에 일정한 두께의 고분자가 형성되게 하는 단계와, 상기 고분자가 원하는 두께만큼 코팅되면 셔터에 의해 고분자 증기를 차단함과 동시에 이퓨젼 셀을 오픈시키는 단계와, 상기 이퓨젼 셀이 오픈된 다음 이온원 발생기를 가동시켜 고분자 박막 상부에 제1이온원을 폭격시키는 단계와, 상기 제1이온원을 폭격시킨 후 보트를 가열하여 금속의 증기를 고분자 박막 상부에 증착시키면서 상기 이온원 발생기로부터 제2이온원을 폭격시키는 단계와, 일정한 시간 경과 후 이온원 발생기를 오프시키고 계속해서 금속을 코팅시키는 단계와, 상기금속이 원하는 두께만큼 코팅된 후 보트를 오프시키는 단계를 포함하는 고분자 발광소자의 제조방법

제2항에 있어서, 상기 제1이온원은 저에너지 상태인 것을 특징으로 하는 고분자 발광소자의 제조방법

제2항에 있어서, 상기 제2이온원은 고에너지 상태인 것을 특징으로 하는 고분자 발광소자의 제조방법

제2항에 있어서, 상기 유리상부에 코팅된 투명전극은 애노드 전극으로 전도성 고분자막 상부의 금속은 캐소드 전극으로 사용하는 것을 특징으로 하는 고분자 발광 소자의 제조방법