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가공된 공작물의 형상, 치수 및 가공면의 정밀도를 측정하여 오차를 보상하기 위한 수정 데이터를 생성하는 선삭가공용 기상 측정기의 프로브 장치에 있어서, 내부에 공간이 형성되는 한편, 상기 공간으로 일정압력의 공기를 공급하는 공기 공급공과 공급된 공기를 배출시키는 공기 배출공이 형성된 프로브 하우징; 상기 공기 배출공을 개폐시켜 상기 프로브 하우징 내부로 공급된 공기의 압력을 조절하는 압력 조절 밸브; 상기 프로브 하우징의 하부 내측에 상하로 이동 가능하게 설치되어지되 공급된 공기에 의해 상시 하향으로 그 힘이 작용하는 가동부재; 상기 프로브 하우징 내측의 상기 가동부재 외주면에 설치되어지되 상기 가동부재와의 사이에 공기 베어링이 형성되도록 하는 스테이터; 상기 가동부재의 하단에 설치되어 상기 가공된 공작물 표면에 접촉되는 컨택트 볼; 및 상기 프로브 하우징의 내측 상부에 설치되어지되 그 하단은 상기 가동부재의 상단과 일정거리 이격 설치되어 상기 가동부재 상단의 위치를 측정하는 정전용량형 센서를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 초정밀 선삭가공용 기상(機上) 측정기의 접촉식 프로브 장치
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