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연마기

  • 기술번호 : KST2015166018
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 연마기에 관한 것으로서, 본 발명은 회전하면서 피연마재를 연마시키는 폴리셔, 이 폴리셔에 회전력을 제공하는 모터, 상기 폴리셔를 상기 피연마재를 기준으로 상하 이송시키는 위치 조정수단, 연마작업시 상기 폴리셔에 작용하는 압력을 측정하는 압력센서, 위치 조정수단에 의해 위치 고정된 상기 폴리셔를 미소 이동시키는 액추에이터 및 상기 폴리셔의 연마작업 중 상기 압력센서에 의해 측정된 압력과 기설정된 압력을 비교한 결과에 따라 상기 액추에이터를 구동시키는 제어수단을 포함하여 구성된다.이에 따라, 모터를 감싸고 있는 스테이터의 상부에 압력센서를 설치하고 그 압력센서에서 측정된 압력과 초기 입력된 압력을 비교하여 액추에이터를 이용하여 폴리셔의 연마작업을 제어함으로써 종래에 비해 효과적인 연마작업이 이루어지게 된다.폴리싱, 연마, 스핀들
Int. CL B24B 1/00 (2006.01)
CPC B24B 49/16(2013.01) B24B 49/16(2013.01) B24B 49/16(2013.01)
출원번호/일자 1019990055478 (1999.12.07)
출원인 고등기술연구원연구조합
등록번호/일자 10-0356440-0000 (2002.09.30)
공개번호/일자 10-2001-0054603 (2001.07.02) 문서열기
공고번호/일자 (20021019) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1999.12.07)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고등기술연구원연구조합 대한민국 경기도 용인시 처인구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김의중 대한민국 경기도용인시구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 감동훈 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 **, 뉴서울빌딩 ***호 신우국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 사단법인 고등기술연구원 연구조합 대한민국 서울 중구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 1999.12.07 수리 (Accepted) 1-1-1999-0165136-24
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2000.05.12 수리 (Accepted) 4-1-2000-0063305-60
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2000.05.18 수리 (Accepted) 4-1-2000-0066277-94
4 등록결정서
Decision to grant		 2002.07.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2002-0266166-38
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.12.16 수리 (Accepted) 4-1-2004-5105550-91
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.12.16 수리 (Accepted) 4-1-2004-5105415-35
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2007.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2007-5123887-97
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.03.23 수리 (Accepted) 4-1-2010-5049999-70
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2013-5092832-77
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.04.03 수리 (Accepted) 4-1-2014-0054125-21
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.04.03 수리 (Accepted) 4-1-2014-5041626-28
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.09.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5177074-19
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

회전하면서 피연마재를 연마시키는 폴리셔;

상기 폴리셔에 회전력을 제공하는 모터;

상기 폴리셔를 상기 피연마재를 기준으로 상하 이송시키는 위치 조정수단;

상기 연마작업시 상기 폴리셔에 작용하는 압력을 측정하는 압력센서;

상기 위치 조정수단에 의해 위치 고정된 상기 폴리셔를 미소 이동시키는 액추에이터; 및

상기 폴리셔의 연마작업 중 상기 압력센서에 의해 측정된 압력과 기설정된 압력을 비교한 결과에 따라 상기 액추에이터를 구동시키는 제어수단을 포함하여 구성되는 연마기

2 2

제1항에 있어서, 상기 압력센서와 액추에이터는 각각 피에조 센서 및 피에조 액추에이터인 것을 특징으로 하는 연마기

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.