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대기압 플라즈마를 이용한 OLED 투습 방지막 코팅장치로서,대기압 반응로와,코팅 대상인 상기 유기전계 발광소자(OLED)가 안착되도록 상기 대기압 반응로내에 설치되는 접지 치구(ground electrode)와,RF에너지를 인가받아 대기압에 노출된 상태에서 플라즈마 방전을 일으키도록 상기 접지 치구상에 소정 간격을 두고 설치되는 DBD(Dielectric Barrel Discharge) 코팅전극(electrode)과,상기 DBD 코팅 전극과 접지치구 사이의 공간에 HMDSO 프리커셔를 포함하는 혼합 공정가스를 공급하는 공정가스 공급부를 포함하는대기압 플라즈마를 이용한 OLED 투습 방지막 코팅장치
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제 1항에 있어서, 상기 혼합 공정가스는 He, Ar, O2 가스를 더 포함하며,상기 HMDSO 프리커셔는 액상으로 액체유량조절기에 의해 인입 유량이 조절되어 공급되거나, 버블러(Bubbler)를 이용하여 내부에 액상 HMDSO를 담고, Ar 가스를 캐리어 가스(carrier gas)로 사용하여 상기 버블러로 인입시켜 상기 액상 HMDSO를 기화시켜 다시 상기 버블러로부터 나오게 하여 상기 코팅전극으로 공급되는대기압 플라즈마를 이용한 OLED 투습 방지막 코팅장치
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제 2 항에 있어서,상기 버블러를 사용하여 상기 액상 HMDSO를 기화시켜 공급하는 경우, 상기 Ar 가스의 유량 조절로 상기 HMDSO의 공급 유량을 조절하는대기압 플라즈마를 이용한 OLED 투습 방지막 코팅장치
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제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 HMDSO를 포함하는 He, Ar, O2 의 공정가스는 기화 믹서에서 혼합되는대기압 플라즈마를 이용한 OLED 투습 방지막 코팅장치
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제 1 항에 있어서,상기 플라즈마 방전을 위하여 상기 DBD 코팅전극에 인가되는 에너지는 13
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제 1 항에 있어서,상기 접지 치구는 제어부에 의해 직선왕복운동을 할 수 있도록 속도가 제어되는대기압 플라즈마를 이용한 OLED 투습 방지막 코팅장치
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대기압 플라즈마를 이용한 OLED 투습 방지막 코팅방법으로서,상기 코팅 대상인 유기전계 발광소자(OLED)를 대기압 반응로내에 설치된 접지 치구(ground electrode)에 안착하고,상기 OLED와 일정 간격을 유지하며 정속도로 상기 접지 치구를 직선왕복운동하도록 제어하며,DBD(Dielectric Barrel Discharge) 코팅 전극(electrode)에 RF에너지를 인가하고, 상기 DBD 코팅 전극과 접지치구 사이 공간에 혼합 공정가스를 인입 분사하되, 상기 공정가스에 HMDSO 프리커셔를 함께 공급하여 대기압에 노출된 상태에서 플라즈마 방전을 일으키는대기압 플라즈마를 이용한 OLED 투습 방지막 코팅방법
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