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화학기상증착법을 이용한 알루미늄 다이캐스팅용 금형의공동부코팅방법
- 기술번호 : KST2015166120
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| 요약 | 본 발명은 내부공동이 다량 존재하는 금형의 수명을 향상시키기 위해 플라즈마를 이용한 화학기상증착법으로 작은 공동을 코팅하는 방법에 관한 것으로서, 본 발명은 금형표면에 잔류하는 가공유를 제거하는 세척공정; 챔버 내부의 진공도를 5 내지 10Pa까지 유지시키는 배기공정; 질소가스로 라인청소 및 분위기를 변화시키는 정화공정; 상기 챔버 벽의 온도를 450℃로 승온시키는 가온공정; 상기 금형을 상기 챔버의 내부에서 질화처리하여 확산층을 형성시키는 확산공정; 상기 확산공정 이후에 상기 챔버의 내부를 400 내지 700Pa의 진공도로 유지시킨 후 제품을 500℃까지 승온시키고 수소가스를 이용하여 플라즈마를 안정화시키는 안정화공정; 이 안정화공정 이후에 상기 챔버의 내부로 사염화티타늄, 질소, 아르곤, 수소를 장입하고 쌍극 펄스 직류전원을 인가하여 소정의 펄스시간과 포즈시간으로 금형을 코팅시키는 표면코팅공정; 이 표면코팅공정 이후에 수소를 이용하여 상기 챔버 내부의 분위기를 전환시키는 공정 및 분위기 전환공정 이후에 질소, 아르곤, 수소를 이용하여 잔류하고 있던 사염화티타늄을 상기 금형에 코팅시키는 재코팅공정으로 이루어진다. 이에 따라, 진공챔버 내부의 압력을 적정으로 유지시킨 상태에서 쌍극 펄스직류전원을 인가하여 제품의 표면에 형성된 쉬즈를 작은 공동의 내부로 주입시켜 코팅시킴으로써 금형의 수명을 연장하는 효과를 얻는다. |
|---|---|
| Int. CL | H01L 21/205 (2006.01) |
| CPC | C23C 16/06(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1019990048985 (1999.11.05) |
| 출원인 | 고등기술연구원연구조합 |
| 등록번호/일자 | 10-0302265-0000 (2001.07.02) |
| 공개번호/일자 | 10-2001-0045642 (2001.06.05) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20011102) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 소멸 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (1999.11.05) |
| 심사청구항수 | 3 |