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다이아몬드 팁을 이용하여 레이저 반도체 웨이퍼를 스크래칭하여 반도체 레이저 다이오드의 벽개면(mirror facet)을 형성할 수 있도록 하는 반도체 레이저 웨이퍼 스크래칭 장치에 있어서,
베이스;
레이저 반도체 웨이퍼를 올려 두고 고정시킬 수 있도록 상기 베이스 위에 설치되는 웨이퍼 테이블;
상기 베이스 위에 설치되고, 그 일단에 설치된 상기 다이아몬드 팁의 위치를 조정하는 이송모듈; 및
상기 레이저 반도체 웨이퍼에 대한 상기 다이아몬드 팁의 위치를 확인할 수 있도록 상기 웨이퍼 테이블의 상측에 대물렌즈가 배치되는 광학 현미경;을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 레이저 웨이퍼 스크래칭 장치
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제 1 항에 있어서,
상기 웨이퍼 테이블은 상기 레이저 반도체 웨이퍼의 각도를 조절할 수 있도록 상기 베이스 위에 회전가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 반도체 레이저 웨이퍼 스크래칭 장치
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 이송모듈은,
상기 다이아몬드 팁을 상기 베이스에 대해서 전후방향, 좌우방향 및 상하방향으로 각각 이송시키는 것을 특징으로 하는 반도체 레이저 웨이퍼 스크래칭 장치
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제 3 항에 있어서,
상기 이송모듈은,
상기 다이아몬드 팁을 상기 베이스에 대해서 각각 전후방향, 좌우방향 및 상하방향으로 각각 이송시키는 3개의 마이크로미터 조절 나사를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 레이저 웨이퍼 스크래칭 장치
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제 4 항에 있어서,
상기 이송모듈은,
상기 3개의 마이크로미터 조절 나사에 각각 설치되는 3개의 서보 모터들을 더 포함하며,
상기 서보 모터들의 작동에 의해 상기 다이아몬드 팁을 이송하는 것을 특징으로 하는 반도체 레이저 웨이퍼 스크래칭 장치
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제 5 항에 있어서,
상기 광학현미경에 보이는 상기 다이아몬드 팁과 레이저 반도체 웨이퍼를 사진으로 찍는 카메라;를 더 포함하며,
상기 카메라에 찍힌 이미지를 영상 처리하여 상기 서보 모터들을 제어하는 것을 특징으로 하는 반도체 레이저 웨이퍼 스크래칭 장치
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7
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 웨이퍼 테이블은 진공 펌프가 연결된 흡착 패드를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 레이저 웨이퍼 스크래칭 장치
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제 7 항에 있어서,
발로 상기 진공 펌프를 작동시킬 수 있도록 지면 위에 설치되고 상기 진공 펌프를 작동시키는 발판 스위치;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 레이저 웨이퍼 스크래칭 장치
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 다이아몬트 팁이 끼워져 고정되고 상기 이송 모듈에 설치되어 상기 다아이몬드 팁을 상기 이송모듈에 고정하는 스크라이버를 더 포함하며,
상기 다이아몬트 팁으로부터 상기 스크라이버에 전달되는 충격을 완화시킬 수 있도록 상기 스크라이버와 이송모듈 사이에는 탄성부재가 설치되는 것을 특징으로 하는 반도체 레이저 웨이퍼 스크래칭 장치
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 다이아몬트 팁이 끼워져 고정되고 각도 조절이 가능하도록 상기 이송 모듈에 설치되어 상기 다아이몬드 팁을 상기 이송모듈에 고정하는 스크라이버를 더 포함하며,
상기 다이아몬드 팁은 웨이퍼의 재질과 용도에 따라 상기 이송모듈에 크기와 종류별로 교체 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 반도체 레이저 웨이퍼 스크래칭 장치
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