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레이저 리프트 오프 공정의 효율 향상을 위한 금속 반사층 제조 방법
- 기술번호 : KST2015166664
- 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
- 전화번호 : 02-2155-3662
| 요약 | 본 발명은 유리 또는 사파이어 기판 상에 제작된 광전 소자를 기판으로부터 박리시키기 위해 버퍼층 상부에 형성된 금속 반사층을 통해 효과적인 박리를 구현할 수 있는 금속 반사층 재료 및 공정 방법에 관한 것이다. |
|---|---|
| Int. CL | H01S 3/00 (2006.01) C23C 14/34 (2006.01) H01L 21/268 (2006.01) C23C 14/14 (2006.01) |
| CPC | C23C 14/0005(2013.01) C23C 14/0005(2013.01) C23C 14/0005(2013.01) C23C 14/0005(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020100030320 (2010.04.02) |
| 출원인 | 경희대학교 산학협력단 |
| 등록번호/일자 | |
| 공개번호/일자 | 10-2011-0110978 (2011.10.10) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 취하 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | N |
| 심사청구항수 | 6 |