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극초박막의 두께 측정을 위한 XRR 분석방법

  • 기술번호 : KST2015168915
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 극초박막의 두께 측정을 위한 X선 반사율 분석방법에 관한 것으로, 시료에서 입사된 X선의 세기에 대하여 반사된 X선의 세기의 비인 X선 반사율(X-ray reflectivity, XRR)를 이용하여 파동벡터 q의 함수로 나타내며, (d는 박막의 두께)의 주기를 갖고 진동하는 XRR을 측정하는 제1단계와, 측정된 XRR의 측정치(Rmea)에 웨이팅 펙터(Rref)를 곱하여 시료 표면의 거칠기에 따른 XRR의 감쇄를 보정하는 제2단계와, XRR의 감쇄를 보정한 후, 파동벡터 q의 값이 X선의 굴절율에 의해 변하는 것을 감안하여 파동벡터의 값을 으로 보정하는 제3단계와, 보정 과정을 거쳐 측정된 XRR에 대하여 퓨리에 변환을 수행하여 극초박막의 두께를 측정하는 제4단계를 포함한다. 따라서, 고유전율 산화막과 실리콘 기판 사이의 계면층의 두께를 비파괴적으로 측정할 수 있게 됨으로써 반도체 공정에서 인 라인(in-line) 분석 장비로 개발을 기대할 수 있다. 또한, 본 발명은 반도체의 고집적화에 따라 산화막의 두께가 감소함에 의한 성능저하를 막기 위한 대안으로 개발중인 고유전율 박막의 제조과정에서 불가피하게 생성되는 계면층의 두께를 분석하기 위한 분석방법으로 활용할 수 있다.
Int. CL G01B 15/02 (2006.01.01) G01N 23/20 (2018.01.01) G01N 23/207 (2018.01.01)
CPC G01B 15/02(2013.01) G01B 15/02(2013.01) G01B 15/02(2013.01)
출원번호/일자 1020050065105 (2005.07.19)
출원인 포항공과대학교 산학협력단, 학교법인 포항공과대학교
등록번호/일자 10-0721810-0000 (2007.05.18)
공개번호/일자 10-2007-0010487 (2007.01.24) 문서열기
공고번호/일자 (20070525) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.07.19)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이기봉 대한민국 경북 포항시 남구
2 박창용 대한민국 경기 성남시 분당구
3 박용준 대한민국 경북 포항시 북구
4 지성대 대한민국 경북 포항시 남구
5 승병훈 대한민국 서울 강서구
6 이준식 대한민국 경북 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 장성구 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))
2 김원준 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경북 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.07.19 수리 (Accepted) 1-1-2005-0388956-86
2 공지예외적용주장대상(신규성,출원시의특례)증명서류제출서
Submission of Document Verifying Exclusion from Being Publically Known (Novelty, Special Provisions for Application)
2005.07.20 수리 (Accepted) 1-1-2005-5090308-04
3 보정요구서
Request for Amendment
2005.07.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2005-0061692-96
4 서지사항보정서
Amendment to Bibliographic items
2005.07.29 수리 (Accepted) 1-1-2005-0418108-34
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2006.06.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2006.07.12 수리 (Accepted) 9-1-2006-0044179-36
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.08.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0489174-61
8 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.10.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0767306-09
9 의견서
Written Opinion
2006.10.24 수리 (Accepted) 1-1-2006-0767308-90
10 등록결정서
Decision to grant
2007.02.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0112344-20
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2007.12.28 수리 (Accepted) 4-1-2007-5195152-79
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.06.13 수리 (Accepted) 4-1-2013-0025573-58
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5024386-11
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.07.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5149263-30
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
시료에 대하여 극초박막의 두께를 측정하기 위한 XRR 분석방법에 있어서, 상기 시료에서 입사된 X선의 세기에 대하여 반사된 X선의 세기의 비인 XRR을 파동벡터 q의 함수로 나타내며, (d는 박막의 두께)의 주기를 갖고 진동하는 XRR을 측정하는 제1단계와, 상기 측정된 XRR의 측정치(Rmea)에 웨이팅 펙터(Rref)를 곱하여 상기 시료 표면의 거칠기에 따른 XRR의 감쇄를 보정하는 제2단계와, 상기 XRR의 감쇄를 보정한 후, 상기 파동벡터 q의 값을 X선의 굴절율에 의해 변하는 것을 감안하여 (qc는 박막의 임계 파동벡터의 값)으로 보정하는 제3단계와, 상기 보정 과정을 거쳐 측정된 XRR에 대하여 퓨리에 변환을 수행하여 상기 극초박막의 두께를 측정하는 제4단계를 포함하는 극초박막의 두께 측정을 위한 XRR 분석방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 웨이팅 펙터의 역수(Rref)는, 상기 XRR의 측정치(Rmea)와 동일한 형태를 갖도록 하기 위하여 수학식 2(여기서, ρe 는 표면에 위치한 굴절율이 큰 물질의 전자 밀도이고, qc는 박막의 임계 파동벡터의 값이다
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 거칠기는, 수학식 3 (여기서, RFresnel 는 프레넬(Fresnel) 반사율이다
4 4
제 1 항 또는 제 2 항에 에 있어서, 상기 제3단계에서 으로의 보정은, 상기 임계값을 파동벡터 방향으로 보정하는 것을 특징으로 하는 극초박막의 두께 측정을 위한 XRR 분석방법
5 5
제 1 항에 있어서,상기 2단계에서 시료 표면의 거칠기에 따른 XRR의 감쇄 보정은, 수학식 4 (여기서, Rmea는 XRR의 측정치이고, Rref는 XRR의 측정치(Rmea)와 동일한 형태를 갖도록 하기 위한 웨이팅 펙터의 역수 임
6 6
시료에 대하여 극초박막의 두께를 측정하기 위한 XRR 분석방법에 있어서, 상기 시료에서 입사된 X선의 세기에 대하여 반사된 X선의 세기의 비인 XRR을 파동벡터 q의 함수로 나타내며, (d는 박막의 두께)의 주기를 갖고 진동하는 XRR을 측정하는 단계와, 상기 파동벡터 q의 값을 X선의 굴절율에 의해 변하는 것을 감안하여 으로 보정하는 단계와, 상기 측정된 XRR의 측정치(Rmea)에 웨이팅 펙터(Rref)를 곱하여 상기 시료 표면의 거칠기에 따른 XRR의 감쇄를 보정하는 단계와, 상기 XRR의 감쇄를 보정한 후, XRR에 대하여 퓨리에 변환을 수행하여 상기 극초박막의 두께를 측정하는 단계를 포함하는 극초박막의 두께 측정을 위한 XRR 분석방법
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패밀리정보가 없습니다
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