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애노드, 캐소드 및 애노드와 캐소드 사이에 개재된 발광층을 구비하고, 상기 캐소드는 전자 주입 전극이고, 상기 캐소드는 Al, Ca, Ce, Co, Cr, Cu, Fe, Ga, Gd, Ge, In, La, Ni, Mg, Mn, Na, Pb, Pd, Pt, Sb, Se, Si, Sn, Te, Ti, Zn 및 이들의 합금으로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상을 포함하고, 상기 캐소드와 상기 발광층 사이에 a) 금속 질화물 및 금속 산화물로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 물질 및 b) 알칼리 금속의 할로겐화물 중 2 이상의 물질을 포함한 전자주입층이 개재되고, 상기 전자주입층이 서로 다른 물질로 이루어진 2 이상의 다층 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드
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제1항에 있어서, 상기 금속 질화물은 Mg 질화물, Al 질화물, Ti 질화물, Ag 질화물 및 Ta 질화물로 이루어진 군으로부터 선택되고, 상기 금속 산화물은 Mg 산화물, Al 산화물, Ti 산화물, Ag 산화물 및 Ta 산화물로 이루어진 군으로부터 선택된 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드
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제1항에 있어서, 상기 전자주입층은 캐소드 표면을 N2, O2 또는 N2O 플라즈마 처리하여 형성된 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드
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제1항에 있어서, 상기 금속 질화물이 TaN, TiN 또는 AlNx(x≥1)이고, 상기 금속 산화물이 Al2O3, TiO2, Ta2O3 또는 MgO인 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드
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제1항에 있어서, 상기 전자주입층의 두께가 0
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제7항에 있어서, 상기 전자주입층이 AlNx(x≥1)층/LiF층, AlNx(x≥1)층/MgO층, MgO층/LiF층 또는 LiF층/MgO층의 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드
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제1항에 있어서, 상기 캐소드가 Ti층/Al층 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드
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제1항에 있어서, 상기 발광층과 상기 애노드 사이에 정공주입층 및 정공수송층 중 하나 이상을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드
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기판 상부에 전자 주입 전극으로서 Al, Ca, Ce, Co, Cr, Cu, Fe, Ga, Gd, Ge, In, La, Ni, Mg, Mn, Na, Pb, Pd, Pt, Sb, Se, Si, Sn, Te, Ti, Zn 및 이들의 합금으로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상을 포함한 캐소드를 형성하는 단계;상기 캐소드 상부에 a) 금속 질화물 및 금속 산화물로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 물질 및 b) 알칼리 금속의 할로겐화물 중 2 이상의 물질을 포함하고, 서로 다른 물질로 이루어진 2 이상의 다층 구조를 갖는 전자주입층을 형성하는 단계;상기 전자주입층 상부에 발광층을 형성하는 단계; 및상기 발광층 상부에 애노드를 형성하는 단계;를 포함하는 유기 발광 다이오드의 제조 방법
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제12항에 있어서, 상기 전자주입층 형성 단계를, 상기 캐소드 표면을 O2, N2 또는 N2O 플라즈마 처리함으로써 수행하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드의 제조 방법
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제12항에 있어서, 상기 전자주입층 형성 단계를, 상기 캐소드 상부에 금속 질화물 및 금속 산화물로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상을 증착시킴으로써 수행하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드의 제조 방법
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제12항에 있어서, 상기 전자주입층 형성 단계 후, 상기 전자주입층 표면을 O2, N2, N2O 또는 Ar 플라즈마로 처리하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드의 제조 방법
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제12항에 있어서, 상기 발광층 형성 단계와 상기 애노드 형성 단계 사이에 정공수송층 형성 단계 및 정공주입층 형성 단계 중 하나 이상을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 금속 질화물 또는 금속 산화물이 상기 캐소드에 포함된 금속의 질화물 또는 산화물인 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드
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제13항에 있어서, 상기 플라즈마 처리 시 플라즈마 파워가 25W 내지 75W인 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드의 제조 방법
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제13항에 있어서, 상기 플라즈마 처리 시 플라즈마 처리 시간이 15초 내지 60초인 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드의 제조 방법
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