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주표면을 갖는 제 1 디스플레이 플레이트와,상기 제 1 디스플레이 플레이트의 상기 주표면과 이격되어 있고 또한 대향하고 있는 주표면을 갖는 제 2 디스플레이 플레이트와,상기 제 1 디스플레이 플레이트의 상기 주표면과 상기 제 2 디스플레이 플레이트의 상기 주표면사이의 간격을 유지시키는 스패이서를 구비한 평판 디스플레이에 있어서, 상기 평판 디스플레이용 스패이서는 국부전기화학도금법에 의해 형성된 전도성 몸체와 상기 전도성 몸체의 선단부 표면을 덮는 절연피복층으로 이루어지고, 상기 절연피복층은 상기 전도성 몸체와 상기 제 2 디스플레이 플레이트의 주표면을 전기적으로 절연시키는 것을 특징으로 하는 스패이서
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제1 항에 있어서, 상기 국부전기화학도금법을 수행할 때에, 도금조 안에, 상기 플레이트중 어느 하나의 플레이트를 음극의 기판으로 하고, 다른 하나의 플레이트를 상기 기판 보다 면적이 작은 국부적인 양극의 미세전극으로 하여, 상기 미세전극을 이동시킴에 따라 상기 기판상에 상기 전도성 몸체가 형성된 것을 특징으로하는 스패이서
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제 1항에 있어서, 상기 전도성 몸체는 금속인 것을 특징으로 하는 스패이서
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제 1항에 있어서, 상기 절연 피복층은 전착법에 의해 형성된 것을 특징으로 하는 스패이서
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제 7항에 있어서, 상기 전착법을 수행할 때에, 상기 절연 피복층은, 미세입자의 절연물질과 금속이온을 포함하는 혼합액 중에 상기 기판층상에 형성된 상기 전도성 몸체의 선단부 표면과 금속판를 담근후 상기 전도성 몸체를 음극, 상기 금속판을 양극으로 하여, 상기 절연물질의 입자에 상기 혼합액 내의 이온화된 상기 금속이온을 부착시켜 상기 전도성 몸체의 상기 선단부 표면으로 이동시킴으로써 형성되는 것을 특징으로 하는 스패이서
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제 8항에 있어서, 상기 미세입자의 절연물질은 Al2O3이며 상기 금속은 Mg인 것을 특징으로 하는 스패이서
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제 8항에 있어서, 상기 전도성 몸체 및 상기 절연피복층은, 각각 상기 전도성 몸체를 형성하기 위한 상기 국부화학도금법의 도금조와 상기 절연피복층을 형성하기 위한 상기 전착법의 도금조를 갖는 이중도금조내에서 연속적으로 형성되는 것을 특징으로 하는 스패이서
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주표면을 갖는 제 1 디스플레이 플레이트와,상기 제 1 디스플레이 플레이트의 상기 주표면과 이격되어 있고 또한 대향하고 있는 주표면을 갖는 제 2 디스플레이 플레이트와,상기 제 1 디스플레이 플레이트의 상기 주표면과 상기 제 2 디스플레이 플레이트의 상기 주표면사이의 간격을 유지시키는 스패이서를 구비한 평판 디스플레이에 있어서,상기 평판 디스플레이용 스패이서를 제조하는 방법으로,도금용액을 갖는 도금조내에 상기 플레이트중 하나의 플레이트를 음극의 기판으로 하고, 다른 하나의 플레이트를 상기 기판 보다 면적이 작은 국부적인 양극의 미세전극으로 하여 배치하는 단계;상기 미세전극을 상기 기판 표면으로부터 이동시키면서, 상기 기판 표면상에 전도성 몸체를 도금하여 형성시키는 단계;및상기 전도성 몸체의 선단부 표면을 덮도록 절연 피복층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 스패이서의 제조방법
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제 11항에 있어서, 상기 미세전극의 이동은 상기 전도성 몸체의 조직이 다공성 조직에서 치밀성 조직으로 바뀌는 지점에서의 상기 전도성 몸체의 선단부와 상기 미세전극의 선단부 간의 거리를 유지하도록 하는 것을 특징으로하는 스패이서의 제조방법
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제 13항에 있어서, 상기 전도성 몸체의 선단부와 상기 미세전극간의 거리는 고해상도 방사광 X-선 미세현미경에 의해 실시간으로 측정되는 것을 특징으로 하는 스패이서의 제조방법
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제11항에 있어서, 상기 절연 피복층의 형성은, 전착법에 따라, 미세입자의 절연물질과 금속이온을 포함하는 혼합액을 갖는 도금조내에 상기 기판상에 형성된 상기 전도성 몸체의 선단부와 금속판을 배치하는 단계;및상기 전도성 몸체의 선단부를 음극, 상기 금속판을 양극으로 하여, 상기 절연물질의 입자에 상기 혼합액 내의 이온화된 상기 금속이온을 부착시켜 상기 전도성 몸체의 선단부 표면으로 이동시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 스패이서의 제조방법
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제 16항에 있어서, 상기 혼합액의 상기 미세입자의 절연물질은 Al2O3로 하고, 상기 금속판은 Mg로 하는 것을 특징으로 하는 스패이서의 제조방법
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제16항에 있어서, 상기 전도성 몸체 및 상기 절연 피복층을 형성하는 단계는 상기 전도성 몸체를 형성하기 위한 도금조와 상기 절연 피복층을 형성하기 위한 도금조를 갖는 이중도금조에서 연속공정으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 스패이서의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 평판 디스플레이는 전계 방출 디스플레이인 것을 특징으로 하는 스패이서
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제11항에 있어서, 상기 평판 디스플레이는 전계 방출 디스플레이인 것을 특징으로 하는 스패이서의 제조방법
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