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국부전기화학도금법을 이용한 높은 종횡비의 금속 마이크로튜브 구조물을 제조하는 방법

  • 기술번호 : KST2015168930
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 3차원의 금속 마이크로 튜브 구조물 제작에 관한 것으로, 국부전기화학도금법을 이용한 높은 종횡비를 갖는 금속 마이크로 튜브를 제작하는 방법으로서, (a) 전기화학적 매체를 갖는 용기 내에 미세 전극을 갖는 전도성 전극과 전도성 기판을 제공하는 단계; (b)상기 전도성 기판의 표면과 상기 미세전극의 하단부 사이에 근접하지만 서로 이격될 정도의 거리가 형성되도록 상기 미세전극의 초기위치를 설정하는 단계; (c) 상기 전기 화학적 매체를 가로질러 상기 미세 전극과 상기 전도성 기판 사이에 임계전압보다 큰 전기적 포텐셜을 인가하는 단계;및 (d) 상기 미세 전극의 상기 하단부와 성장하는 금속 마이크로 튜브의 상단부 사이의 거리를 임계거리 이하로 유지하기 위해 상기 미세 전극을 이동시키는 단계를 포함하며, 여기서 상기 임계거리는 상기 금속 마이크로 튜브의 구조가 다공성에서 치밀한 구조로 바뀌는 지점에 해당하는 거리이며, 상기 임계전압은 상기 미세전극의 모서리와 중심부 사이의 전기장의 차이가 크게 발생하여, 상기 (d) 단계 중 강한 전기장을 갖는 상기 모서리를 따라 도금이 이루어짐으로써 튜브형태의 구조체가 만들어지는 시점에서의 인가된 전압인 것을 특징으로 하는 고 종횡비의 금속 마이크로 튜브 제작 방법을 제공한다.국부전기화학도금법, 마이크로 금속 튜브, 접촉모드, 코히어런트 X-선
Int. CL C25D 7/04 (2006.01.01) C25D 17/10 (2006.01.01) C25D 21/12 (2006.01.01)
CPC C25D 7/04(2013.01) C25D 7/04(2013.01) C25D 7/04(2013.01)
출원번호/일자 1020050069304 (2005.07.29)
출원인 학교법인 포항공과대학교, 포항공과대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0698409-0000 (2007.03.15)
공개번호/일자 10-2007-0014553 (2007.02.01) 문서열기
공고번호/일자 (20070323) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.07.29)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 제정호 대한민국 경북 포항시 남구
2 설승권 대한민국 경북 포항시 남구
3 편아람 대한민국 경북 포항시 남구
4 원병묵 대한민국 경북 포항시 남구
5 후유광 대만 대만, 타이뻬이, 난강,

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인세신 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 *** (가산동, 월드메르디앙벤처센터II)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 포항공과대학교 대한민국 경북 포항시 남구
2 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.07.29 수리 (Accepted) 1-1-2005-0418333-01
2 보정요구서
Request for Amendment
2005.08.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2005-0077775-06
3 서지사항보정서
Amendment to Bibliographic items
2005.09.01 수리 (Accepted) 1-1-2005-0489819-20
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2006.08.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2006.09.14 수리 (Accepted) 9-1-2006-0056584-40
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.09.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0553807-00
7 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.11.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0818355-11
8 의견서
Written Opinion
2006.11.08 수리 (Accepted) 1-1-2006-0818356-56
9 등록결정서
Decision to grant
2007.02.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0105317-33
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2007.12.28 수리 (Accepted) 4-1-2007-5195152-79
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.06.13 수리 (Accepted) 4-1-2013-0025573-58
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5024386-11
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.07.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5149263-30
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
국부전기화학도금법을 이용한 높은 종횡비를 갖는 금속 마이크로 튜브를 제조하는 방법으로서,(a) 전기화학적 매체를 갖는 용기 내에 미세 전극을 갖는 전도성 전극과 전도성 기판을 제공하는 단계; (b)상기 전도성 기판의 표면과 상기 미세전극의 하단부 사이에 근접하지만 서로 이격될 정도의 거리가 형성되도록 상기 미세전극의 초기위치를 설정하는 단계;(c) 상기 전기 화학적 매체를 가로질러 상기 미세 전극과 상기 전도성 기판 사이에 임계전압보다 큰 전기적 포텐셜을 인가하는 단계;및(d) 상기 미세 전극의 상기 하단부와 성장하는 금속 마이크로 튜브의 상단부 사이의 거리를 임계거리 이하로 유지하기 위해 상기 미세 전극을 이동시키는 단계를 포함하며, 여기서 상기 임계거리는 상기 금속 마이크로 튜브의 구조가 다공성에서 치밀한 구조로 바뀌는 지점에 해당하는 거리이며, 상기 임계전압은 상기 미세전극의 모서리와 중심부 사이의 전기장의 차이가 크게 발생하여, 상기 (d) 단계 중 강한 전기장을 갖는 상기 모서리를 따라 도금이 이루어짐으로써 튜브형태의 구조체가 만들어지는 시점에서의 인가된 전압인 것을 특징으로 하는 고 종횡비의 금속 마이크로 튜브를 제조하는 방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 단계 (b)의 상기 전도성 기판의 표면과 상기 미세전극의 하단부 사이 거리는 상기 단계 (d)의 상기 임계거리보다 작은 값으로 결정되는 것을 특징으로 하는 고 종횡비의 금속 마이크로 튜브를 제조하는 방법
3 3
제 1항에 있어서, 상기 임계전압은 4
4 4
제 1항에 있어서, 상기 단계 (d)에서의 상기 미세 전극을 100㎛/s 이상의 속도로 이동시키는 것을 특징으로 하는 고 종횡비의 금속 마이크로 튜브를 제조하는 방법
5 5
제 1항에 있어서, 상기 단계 (b)에서의 상기 미세전극의 초기위치 및 상기 단계 (d)에서의 상기 미세 전극의 상기 하단부와 성장하는 금속 마이크로 튜브의 상단부 사이의 거리는 영상수집장치를 통한 직접관찰에 의해 결정되는 것을 특징으로 하는 고 종횡비의 금속 마이크로 튜브를 제조하는 방법
6 6
제 5항에 있어서, 상기 영상수집장치는 미세방사학적 장치인 것을 특징으로 하는 고 종횡비의 금속 마이크로 튜브를 제조하는 방법
7 7
제 1항에 있어서, 상기 전도성 전극의 위치조절은 마이크론 단위의 스테핑 모터에 의해 행해지는 것을 특징으로 하는 고 종횡비의 금속 마이크로 튜브를 제조하는 방법
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제 6항에 있어서, 상기 미세방사학적 장치는 X선빔 소스, 샘플 스테이지, 이미지 검출장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 고 종횡비의 금속 마이크로 튜브를 제조하는 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.