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구조를 분석할 박막 시료가 위치하여 입력 방사광과 반응하여 산란되고 그 산란된 신호가 출력되는 시료장착부와;상기 방사광에 대한 시료장착부의 위치와 방사광의 입사각도를 제어하는 시료제어부;상기 시료장착부의 온도를 조절하는 온도조절부;상기 시료제어부와 온도조절부에 제어 명령을 전달하고 제어명령과 제어결과를 저장 및 디스플레이하는 주제어부를 포함하는 방사광 스침각입사 산란장치
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제 1 항에 있어서, 상기 시료장착부는 진공상태에서 산란현상이 일어나는 진공 시료챔버와, 상기 시료챔버 내에 설치되어 시료가 장착되는 시료대, 상기 진공 시료챔버의 진공 상태를 유지시켜 주는 진공펌프를 포함하는 방사광 스침각입사 산란장치
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제 1 항에 있어서, 상기 온도조절부는 상기 시료장착부의 온도를 조절하는 온도 조절기와, 상기 온도 조절기를 제어작동시키기 위한 온도 제어기, 상기 온도 조절기의 제어에 따라 시료장착부를 승온시키기 위한 승온봉, 상기 온도 조절기의 제어에 따라 시료장착부의 강온을 위한 액체질소가 주입되는 액체질소주입기, 상기 액체질소 주입기를 통해 주입된 액체질소를 시료장착부로 순환시켜주는 액체질소순환관을 포함하는 방사광 스침각입사 산란장치
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제 1 항에 있어서, 상기 주제어부는 상기 시료제어부를 제어하고 온도조절부에 온도조절 명령을 내리며 제어명령과 그 결과를 저장 및 디스플레이하는 컴퓨터를 포함하는 방사광 스침각입사 산란장치
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제 1 항에 있어서, 상기 시료제어부는 상기 시료장착부를 회전시켜 방사광의 입사각을 조절하는 고니오미터 구동부와, 상기 시료장착부를 방사광에 대해 상하좌우로 이동시키기 위한 스테핑 모터 구동부를 포함하는 방사광 스침각입사 산란장치
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제 5 항에 있어서, 상기 고니오미터 구동부는 상기 시료장착부를 회전시키기 위한 고니오미터와, 상기 고니오미터를 작동시키기 위한 고니오미터 드라이브, 상기 주제어부와 연결되어 주제어부의 신호에 따라 고니어미터 드라이브에 제어신호를 인가하기 위한 고니오미터 제어기를 포함하는 방사광 스침각입사 산란장치
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제 5 항에 있어서, 상기 스테핑 모터 구동부는 상기 시료장착부를 방사광에 대해 상하좌우로 이동시키기 위한 스테핑 모터와, 상기 스테핑 모터를 작동시키기 위한 스테핑 모터 드라이브, 상기 주제어부와 연결되어 주제어부의 신호에 따라 스테핑 모터 드라이브에 제어신호를 인가하기 위한 스테핑 모터 제어기를 포함하는 방사광 스침각입사 산란장치
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제 3 항에 있어서,상기 온도조절부는 영하 80℃ ~ 영상 1000℃ 범위로 온도를 조절하는 방사광 스침각입사 산란장치
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제 1 항에 있어서,상기 방사광은 X-선인 방사광 스침각입사 산란장치
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