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캔틸리버에 설치된 박막전극과 캔틸리버의 외부에 설치된 카운터 전극에 전원을 인가하여, 상기 카운터전극과 상기 캔틸리버 사이에 전기장을 인가할 수 있는 캔틸리버 및 상기 캔틸리버의 굴곡특성을 관측하는 장치를 포함하는 센서
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제 1 항에 있어서, 상기 박막전극이 캔틸리버의 일면에 설치된 센서
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제 1 항에 있어서, 상기 박막전극의 재료가 금인 센서
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제 4 항에 있어서, 상기 박막 전극에 인가되는 전원의 부호가 시간에 따라 변환되는 센서
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제 4 항에 있어서, 상기 전원부호가 불연속적으로 변환되는 센서
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제 6 항에 있어서, 상기 박막 전극에 인가되는 전원이 스퀘어파 또는 델타파인 센서
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제 1 항에 있어서, 상기 캔틸리버의 굴곡특성이 전압의 크기에 2차로 비례하는 센서
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제1항 및 제3항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 캔틸리버의 굴곡특성을 관측하는 장치는 레이져를 이용한 관측장치인 센서
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제 1 항에 있어서, 전원 인가 장치를 더 포함하는 센서
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캔틸리버에 전원을 인가하여 측정 입자를 흡·탈착시키는 단계;상기 캔틸리버의 응답 특성을 관측하는 단계; 및상기 관측된 캔틸틸버의 응답특성을 저장된 캔틸리버 응답특성과 비교하는 단계를 포함하는 캔틸리버를 이용한 측정 방법
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캔틸리버 금속 박막에 유기물질 및 바이오물질을 고정시키는 단계 ;캔틸리버에 전원을 인가하여 전해질 용액의 이온을 흡·탈착시키는 단계;상기 캔틸리버의 굴곡 응답특성을 관측하는 단계; 및상기 관측된 캔틸틸버의 굴곡 응답특성을 저장된 캔틸리버 응답특성과 비교하는 단계를 포함하는 캔틸리버를 이용한 측정 방법
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제 12 항에 있어서, 상기 전원은 캔틸리버에 장착된 박막 전극에 전압을 인가하여 발생시키는 방법
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제 13 항에 있어서, 상기 박막전극이 캔틸리버의 일면에 설치되는 방법
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제 13 항에 있어서, 상기 박막은 금인 방법
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제 12 항에 있어서, 상기 캔틸리버는 단일 캔틸리버인 방법
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제 12 항에 있어서, 상기 캔틸리버는 어레이 형태의 멀티 캔틸리버인 방법
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제 13 항에 있어서, 상기 전극에 인가되는 전원의 극성이 변환되는 방법
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제 18 항에 있어서, 상기 전원의 극성이 불연속적으로 변환되는 방법
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제 18 항에 있어서, 상기 전원의 극성이 스퀘어파 또는 델타파로 변환되는 방법
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제 20 항에 있어서, 상기 캔틸리버는 실리콘 캔티리버인 방법
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캔틸리버에 설치된 박막전극과 캔틸리버의 외부에 설치된 카운터 전극 사이에 전기장을 인가하여 주변의 이온을 흡·탈착 시킬 수 있는 센서용 캔틸리버
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제 22 항에 있어서, 상기 캔틸리버의 적어도 일면에는 금 박막 전극이 설치된 센서용 캔틸리버
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제 22 항에 있어서, 상기 캔티리버에는 분석입자와 상호작용하는 분자층이 더 코팅된 캔틸리버
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