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초음속 노즐을 이용한 나노입자 세정장치 및 그 세정방법

  • 기술번호 : KST2015169105
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 웨이퍼와 같은 제품의 표면에 부착된 오염입자를 제거하기 위한 세정장치 및 그 세정방법에 관한 것이다. 본 발명의 실시예에 따른 나노입자 세정장치는 기체를 분출시킴으로써 기체를 기 설정된 크기의 탄환입자로 생성시켜 탄환입자를 제품의 표면에 충돌시키는 초음속 노즐, 기 설정된 압력으로 기체를 상기 초음속 노즐로 공급하는 기체 공급기, 및 기체 공급기로부터 공급되는 기체를 기 설정된 온도로 가열 유지시키는 온도 제어기를 포함한다. 이와 같이 본 발명의 실시예에 따른 나노입자 세정장치는 제품의 표면에 나노수준의 미세한 탄환입자를 고속으로 분사시킴으로써, 제품의 표면에 부착된 오염입자 뿐만 아니라 표면에 형성된 홈과 같은 영역에 박힌 오염입자도 용이하게 제거할 수 있다. 초음속, 노즐, 세정, 나노, 오염입자, 기체, 웨이퍼
Int. CL B82Y 40/00 (2011.01) H01L 21/304 (2011.01)
CPC H01L 21/67017(2013.01) H01L 21/67017(2013.01) H01L 21/67017(2013.01)
출원번호/일자 1020070117299 (2007.11.16)
출원인 포항공과대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2009-0050707 (2009.05.20) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.11.16)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이진원 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 이미정 대한민국 경북 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2007.11.16 수리 (Accepted) 1-1-2007-0824102-08
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2007.12.28 수리 (Accepted) 4-1-2007-5195152-79
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.08.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.09.11 수리 (Accepted) 9-1-2008-0055205-63
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2009.01.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0032447-49
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2009.02.23 수리 (Accepted) 1-1-2009-0110511-35
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2009.02.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0110512-81
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2009.05.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0230987-71
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.13 수리 (Accepted) 4-1-2013-0025573-58
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5024386-11
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
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번호 청구항
1 1
기체를 분출시킴으로써 상기 기체를 기 설정된 크기의 탄환입자로 생성시켜서 상기 탄환입자를 제품의 표면에 충돌시키는 초음속 노즐; 기 설정된 압력으로 상기 기체를 상기 초음속 노즐로 공급하는 기체 공급기; 및 상기 기체 공급기로부터 공급되는 상기 기체를 기 설정된 온도로 가열 유지시키는 온도 제어기;를 포함하는 초음속 노즐을 이용한 나노입자 세정장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 초음속 노즐은 상기 기체가 유입되는 내부 공간이면서 상기 기체의 유동 단면적이 점진적으로 축소되는 수축부; 상기 기체의 유동 단면적이 가장 최소가 되는 지점인 노즐목; 및 상기 노즐목으로부터 상기 기체의 유동 단면적이 점진적으로 확장되어, 상기 기체의 분자들이 상호 응축되면서 상기 탄환입자로 생성되는 확장부;를 포함하고, 상기 확장부는 상기 기체의 유동 단면적이 상기 기체의 종류 또는 설정하고자 하는 상기 탄환입자의 크기에 따라 달리 형성되는 초음속 노즐을 이용한 나노입자 세정장치
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 초음속 노즐은 상기 기체를 분출시키는 노즐 구멍이 복수 개로 형성되는 복합 노즐 구조인 초음속 노즐을 이용한 나노입자 세정장치
4 4
제 3 항에 있어서, 상기 초음속 노즐은 상기 노즐 구멍의 개수에 각각 대응하여 상호 상이한 성질의 기체가 각각의 상기 노즐 구멍으로 공급되는 초음속 노즐을 이용한 나노입자 세정장치
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 기체 공급기와 상기 온도 제어기의 사이에 위치하면서 상기 기체에 함유된 이물질을 제거하는 필터를 더 포함하는 초음속 노즐을 이용한 나노입자 세정장치
6 6
기체를 기 설정된 압력으로 공급하는 기체 공급단계; 상기 기체를 기 설정된 온도로 가열 유지시키는 기체 가열단계; 및 상기 기체를 초음속 노즐로 주입시키고 상기 기체를 기 설정된 크기의 탄환입자로 분사시켜서 상기 탄환입자를 제품의 표면에 충돌시키는 초음속 노즐 분사단계;를 포함하는 초음속 노즐을 이용한 나노입자 세정방법
7 7
제 6 항에 있어서, 상기 기체 공급단계 이후에 상기 기체에 함유된 이물질을 필터링하는 기체 필터링 단계;를 더 포함하는 초음속 노즐을 이용한 나노입자 세정방법
8 8
제 6 항에 있어서, 상기 초음속 노즐 분사단계는 상기 초음속 노즐이 상기 제품의 표면에 대해 경사진 상태로 유지되어, 상기 탄환입자를 상기 제품의 표면으로 분사시킴으로써 상기 제품의 표면에 부착된 오염입자와 함께 유동하는 초음속 노즐을 이용한 나노입자 세정방법
9 9
제 6 항에 있어서, 상기 초음속 노즐로부터 분사되는 상기 탄환입자의 크기와 농도, 속도는 상기 기체 공급단계에서의 압력, 상기 기체 가열단계에서의 온도, 상기 초음속 노즐 분사단계에서의 상기 초음속 노즐의 형상에 따라 각각 달라지는 초음속 노즐을 이용한 나노입자 세정방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.