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자기조립 블록 공중합체를 이용한 나노 구조물 제조방법

  • 기술번호 : KST2015169168
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 일반적으로 금속 표면상에는 자기조립 나노 블록 공중합체를 균일하게 코팅하기 어렵기 때문에 자기조립 나노 블록 공중합체를 금속 표면에 적용하는데에는 제약이 있었다. 본 발명에서는 산소 플라즈마로 금속 표면을 개질처리함으로써, 자기조립 나노 블록 공중합체를 균일하게 코팅할 수 있었다. 이로써, 본 발명은 금속 표면상에 균일한 크기와 정렬도를 갖는 대면적 자기조립 나노 템플릿(template)을 형성시킬 수 있는 가능성을 제시하였다. 자기조립 나노 템플릿, 블록 공중합체, 산소 플라스마, 금속 박막, 대면적 공정
Int. CL B82B 1/00 (2011.01) B82Y 40/00 (2011.01) B82B 3/00 (2011.01)
CPC B82B 3/0038(2013.01) B82B 3/0038(2013.01) B82B 3/0038(2013.01)
출원번호/일자 1020080012745 (2008.02.12)
출원인 포항공과대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2009-0087353 (2009.08.17) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.02.12)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김수진 대한민국 서울 성동구
2 방성환 대한민국 경북 경산시
3 김형준 대한민국 경북 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인아이엠 대한민국 서울특별시 강남구 봉은사로 ***, ***호 (역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.02.12 수리 (Accepted) 1-1-2008-0104780-79
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.12.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0512625-06
3 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2010.02.16 무효 (Invalidation) 1-1-2010-0101283-22
4 보정요구서
Request for Amendment
2010.02.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2010-0017777-64
5 무효처분통지서
Notice for Disposition of Invalidation
2010.03.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2010-0023641-50
6 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2010.04.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0143885-17
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.06.13 수리 (Accepted) 4-1-2013-0025573-58
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5024386-11
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
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번호 청구항
1 1
금속 박막의 표면에 산소 플라스마를 이용한 표면처리를 한 후, 블록 공중합체를 이용하여 자기조립 나노 구조물을 제조하는 방법
2 2
블록 공중합체를 이용하여 금속 박막 상에 자기조립 나노 구조물을 형성하는 방법으로서, (a) 기판에 금속 박막을 형성하는 단계; (b) 상기 금속 박막의 표면을 산소 플라스마를 이용하여 표면처리하는 단계; (c) 표면처리된 금속 박막의 표면을 중성화 처리하는 단계; (d) 중성화 처리된 표면에 블록 공중합체를 도포하는 단계; (e) 도포된 블록 공중합체를 어닐링 및 노광하여 자기 조립 나노 구조물을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 (c) 단계는 MPTS(3-(p-methoxyphenyl)propyltrichlrosilane)를 SAM 코팅하는 것임을 특징으로 하는 방법
4 4
제 2 항에 있어서, 상기 (e) 단계 이후에 에칭 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 방법
5 5
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 기재된 방법에 의해 제조된 나노 구조물
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.