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제1내부도체(7) 및 상기 제1내부도체(7)를 둘러싸는 유전체(6)를 구비하는 동축케이블(10);
상기 동축케이블(10)을 둘러싸는 외부도체(4);
적어도 하나의 가스유입관(3)을 구비하며, 상기 동축케이블(10)의 일단에서 상기 제1내부도체(7)와 상기 외부도체(4)를 전기적으로 연결하는 연결도체(2); 및
상기 외부도체(4)를 경유하여 상기 제1내부도체(7)와 연결되는 제2내부도체(8)를 구비하는 연결부재(1)를 구비하되,
상기 동축케이블(10)의 길이는,
인가되는 마이크로파 파장의 및 의 길이 중 하나의 길이를 가지거나, 및 의 배수 중 하나의 길이를 가지는 것을 특징으로 하는 저 전력 휴대용 마이크로파 플라즈마 발생기
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2
제1항에 있어서,
상기 유전체(6)는 공기이고,
상기 가스유입관(3)으로는 불활성가스가 유입되고,
상기 제2내부도체(8)를 통해서는 마이크로파가 인가되는 것을 특징으로 하는 저 전력 휴대용 마이크로파 플라즈마 발생기
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3
제2항에 있어서, 상기 불활성가스는,
헬륨가스 및 아르곤가스 중 하나인 것을 특징으로 하는 저 전력 휴대용 마이크로파 플라즈마 발생기
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4
제1항에 있어서, 상기 마이크로파는,
주파수가 900MHz 또는 2
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삭제
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6
제1항에 있어서, 상기 동축케이블(10)은,
탈부착이 가능하거나 슬라이딩 형식으로 그 길이를 가감시킬 수 있는 적어도 2개의 부분으로 구별될 수 있는 것을 특징으로 하는 저 전력 휴대용 마이크로파 플라즈마 발생기
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7
제4항에 있어서,
상기 동축케이블(10)의 다른 일단에 부착되어 상기 동축케이블의 플라즈마를 방전시키는 방전 팁(5)을 더 구비(further includes)하는 것을 특징으로 하는 저 전력 휴대용 마이크로파 플라즈마 발생기
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8
제7항에 있어서,
상기 방전 팁(5)과 상기 제1내부도체(7) 사이의 길이는,
상기 마이크로파의 주파수가 900MHz일 경우에는 40㎛이고,
상기 마이크로파의 주파수가 2
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