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금속층과 상기 금속층에 배열된 나노 구조물을 포함하는 광원용 구조물의 제조방법으로,
(a) 산화물층이 형성된 기판 상에 상기 금속층을 형성하는 단계;
(b) 상기 금속층 상에 나노 패턴이 형성된 나노 템플레이트를 형성하는 단계;
(c) 상기 나노 패턴을 이용하여 상기 금속층을 식각하여 상기 금속층에 상기 나노 패턴이 전사되도록 하는 단계;
(d) 상기 나노 템플레이트를 제거하는 단계;
(e) 상기 금속층에 전사된 나노 패턴을 이용하여 상기 산화물층을 식각하는 단계;
(f) 상기 산화물층의 공간에서 발광물질을 성장시켜 상기 금속층에 나노 구조물을 형성하는 단계; 및
(g) 상기 산화물층을 제거하여 상기 금속층 및 나노 구조물을 기판으로부터 분리시키는 단계;를 포함하는 광원용 구조물의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 (g) 단계는
상기 (f) 단계 후에 금속층 및 발광물질 상에 글루코팅하는 단계와, 상기 산화물층을 제거하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 광원용 구조물의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 (g) 단계 이후에, 분리된 상기 나노 구조물을 수지로 몰딩하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 광원용 구조물의 제조방법
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제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 산화물층은 SiO2인 것을 특징으로 하는 광원용 구조물의 제조방법
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제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 금속층은 Au, Ag, Pt, Al 또는 이들의 합금으로 이루어진 것을 특징으로 하는 광원용 구조물의 제조방법
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제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 나노 구조물은 나노선 또는 나노점인 것을 특징으로 하는 광원용 구조물의 제조방법
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제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 (b) 단계는 상기 금속층 상에 MPTS를 도포한 후, 상기 MPTS 상에 이중공중합체를 도포하고, 자외선을 조사함으로써, 자기조립 나노 패턴이 형성되도록 하는 것을 특징으로 하는 광원용 구조물의 제조방법
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제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 발광물질은 ZnO 또는 직접천이 에너지밴드갭을 갖는 물질인 것을 특징으로 하는 광원용 구조물의 제조방법
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광원을 제조하는 방법으로서,
투명한 기판의 일면에 투명전극을 형성하는 단계;
상기 투명전극 상에 발광물질층을 형성하는 단계;
상기 기판의 타면에 상기 발광물질층에서 발생하는 광을 여기광으로 하여 발광하는 형광체를 도포하는 단계; 및
상기 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 기재된 제조방법에 의해 제조된 광원용 구조물을, 상기 광원용 구조물에 포함된 나노 구조물이 상기 발광물질층과 접촉하도록, 상기 투명전극에 결합시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 광원의 제조방법
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제 9 항에 있어서, 상기 발광물질층은 P형 ZnO로 이루어지고, 상기 나노 구조물은 n형 ZnO로 이루어진 것을 특징으로 하는 광원의 제조방법
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