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전자에너지 손실 분광법에서 발생하는 탄소오염 제거방법

기술번호 : KST2015169223
담당센터 : 대구기술혁신센터
전화번호 : 053-550-1450

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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	본 발명은 전자에너지 손실 분광법으로 박판을 분석할 때 발생하는 탄소에 의한 시편의 오염을 제거하는 방법으로서 기존의 플라즈마 클리닝이나 이온클리닝에 비해 분석 비용과 시간을 줄일 수 있는 기술에 관한 것이다. 본 발명에 따른 시편의 오염제거방법은, 탄소오염이 발생할 경우, 전자손실 에너지분광장치의 렌즈시스템을 조절하여 분석용 전자빔이 정포커스에서 언더포커스가 되도록 하여 상기 전자빔의 초점이 시료의 상부에서 맞추어지도록 함으로써, 상기 언드포커스에 의해 조사된 전자빔에 의해 탄소오염이 제거되도록 하는 것을 특징으로 한다. 전자에너지 손실 분광법, 탄소오염
Int. CL	G01Q 30/20 (2010.01)
CPC	G01Q 30/20(2013.01) G01Q 30/20(2013.01) G01Q 30/20(2013.01) G01Q 30/20(2013.01)
출원번호/일자	1020080106387 (2008.10.29)
출원인	포항공과대학교 산학협력단
등록번호/일자	10-1009939-0000 (2011.01.14)
공개번호/일자	10-2010-0057708 (2010.06.01) 문서열기
공고번호/일자	(20110121) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	소멸
심사진행상태	수리
심판사항
구분	신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2008.10.29)
심사청구항수	5

출원인

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번호	이름	국적	주소
1	포항공과대학교 산학협력단	대한민국	경상북도 포항시 남구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	구길호	대한민국	경상북도 포항시 남구
2	박찬경	대한민국	경상북도 포항시 남구

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	특허법인아이엠	대한민국	서울특별시 강남구 봉은사로 *, *호 (역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
1	포항공과대학교 산학협력단	대한민국	경상북도 포항시 남구

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application	2008.10.29	수리 (Accepted)	1-1-2008-0751237-07
2	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2009.09.24	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
3	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2009.10.13	수리 (Accepted)	9-1-2009-0057069-20
4	등록결정서 Decision to grant	2010.10.28	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2010-0490770-15
5	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2013.06.13	수리 (Accepted)	4-1-2013-0025573-58
6	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2014.02.25	수리 (Accepted)	4-1-2014-5024386-11
7	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2019.11.20	수리 (Accepted)	4-1-2019-5243581-27
8	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2019.11.22	수리 (Accepted)	4-1-2019-5245997-53
9	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2019.11.25	수리 (Accepted)	4-1-2019-5247115-68

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 전자손실 에너지분광법(EELS) 분석 시 발생하는 탄소오염을 제거하기 위한 방법으로서, 탄소오염이 발생할 경우, 전자손실 에너지분광장치의 렌즈시스템을 조절하여 분석용 전자빔이 정포커스에서 언더포커스가 되도록 하여 상기 전자빔의 초점이 시료의 상부에서 맞추어지도록 함으로써, 상기 언더포커스에 의해 조사된 전자빔에 의해 탄소오염이 제거되도록 하는 것을 특징으로 하는 방법
2	2 제 1 항에 있어서, 상기 전자빔의 크기를 1 ~ 1
3	3 제 1 항에 있어서, 상기 언더포커스 범위가 1 ~ 10㎛가 되도록 하는 것을 특징으로 하는 방법
4	4 제 1 항에 있어서, 상기 언더포커스를 유지하는 시간은 10 ~ 30분으로 하는 것을 특징으로 하는 방법
5	5 제 1 항에 있어서, 상기 전자빔에 의해 형광판이 손상되지 않도록 제한시야 조리개를 사용하는 것을 특징으로 하는 방법

본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.

이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 특허 등록번호 표입니다.
특허 등록번호	10-1009939-0000

권리란

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표시번호	사항
1	출원 연월일 : 20081029 출원 번호 : 1020080106387 공고 연월일 : 20110121 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20101028 청구범위의 항수 : 5 유별 : G01Q 30/20 발명의 명칭 : 전자에너지 손실 분광법에서 발생하는 탄소오염 제거방법 존속기간(예정)만료일 : 20140115

특허권자란

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순위번호	사항
1	(권리자) 포항공과대학교 산학협력단 경상북도 포항시 남구...

등록료란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 등록료란 표입니다.
제 1 - 3 년분	금 액	120,000 원	2011년 01월 17일	납입

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정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.

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번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서	2008.10.29	수리 (Accepted)	1-1-2008-0751237-07
2	선행기술조사의뢰서	2009.09.24	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
3	선행기술조사보고서	2009.10.13	수리 (Accepted)	9-1-2009-0057069-20
4	등록결정서	2010.10.28	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2010-0490770-15
5	출원인정보변경(경정)신고서	2013.06.13	수리 (Accepted)	4-1-2013-0025573-58
6	출원인정보변경(경정)신고서	2014.02.25	수리 (Accepted)	4-1-2014-5024386-11
7	출원인정보변경(경정)신고서	2019.11.20	수리 (Accepted)	4-1-2019-5243581-27
8	출원인정보변경(경정)신고서	2019.11.22	수리 (Accepted)	4-1-2019-5245997-53
9	출원인정보변경(경정)신고서	2019.11.25	수리 (Accepted)	4-1-2019-5247115-68


과제고유번호	1345071165
세부과제번호	과C6A2006
연구과제명	지식산업형소재시스템사업단
성과구분	출원
부처명	교육과학기술부
연구관리전문기관명	한국학술진흥재단
연구주관기관명	포항공과대학교
성과제출연도	2008
연구기간	200603~201302
기여율	1
연구개발단계명	응용연구
6T분류명	기타

특허성과

[1020080106387]	전자에너지 손실 분광법에서 발생하는 탄소오염 제거방법	새창보기
[1020080103256]	집속이온빔을 이용한 저손상 대면적 원자침 분석용 시편 제작방법	새창보기
[1020080010488]	확산 방지막의 제조방법과 이에 의한 확산 방지막	새창보기

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