| 1 |
1
돌출된 탐침을 가지는 본체,상기 탐침에 부착되어 있는 나노선,상기 나노선을 둘러싸고 있으며 상기 나노선의 상면을 노출하는 개구부를 포함하는 절연막,상기 나노선의 상면에 위치하는 전극을 포함하는 나노 전극
|
| 2 |
2
삭제
|
| 3 |
3
제1항에서,상기 전극은 금, 백금, 알루미늄, 텅스텐, 구리 또는 니켈 중 어느 하나로 이루어진 나노 전극
|
| 4 |
4
제1항에서,상기 절연막은 패릴린, 산화 질화막, 전기영동 페인트 중 적어도 하나를 포함하는 나노 전극
|
| 5 |
5
탐침을 포함하는 본체를 준비하는 단계,상기 탐침의 끝단에 나노선을 부착하는 단계,상기 나노선 위에 절연막을 형성하는 단계,상기 나노선 및 절연막을 절단하여 상기 나노선의 단면을 노출하여 단면 전극을 형성하는 단계 를 포함하는 나노 전극의 제조 방법
|
| 6 |
6
제5항에서,상기 나노선의 단면 위에 전극을 형성하는 단계를 더 포함하는 나노 전극의 제조 방법
|
| 7 |
7
제6항에서,상기 전극은 도금으로 형성하는 나노 전극의 제조 방법
|
| 8 |
8
제7항에서,상기 도금은 금, 백금, 알루미늄 또는 니켈 중 어느 하나로 형성하는 나노 전극의 제조 방법
|
| 9 |
9
제5항에서,상기 절연막은 패릴린, 산화 질화막, 전기영동 페인트로 형성하는 나노 전극의 제조 방법
|
| 10 |
10
제5항에서,상기 나노선은 탄소나노튜브로 이루어지는 나노 전극의 제조 방법
|
| 11 |
11
제10항에서,상기 절단은 집속 이온 빔으로 절단하는 나노 전극의 제조 방법
|
| 12 |
12
제10항에서,상기 나노선을 부착하는 단계는유전영동법으로 부착하는 나노 전극의 제조 방법
|
