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X선이 입사하는 입사창과 전자기파가 투과하는 적어도 하나의 관찰창을 구비한 챔버;상기 챔버를 회전시키는 제 1 회전부;상기 X선이 상기 챔버내에 위치한 시료에 조사되어 산란된 X선을 상기 적어도 하나의 관찰창을 통하여 검출하는 디텍터; 및상기 디텍터를 회전시키는 제 2 회전부를 포함하는 스퍼터링 장치
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제1 항에 있어서,상기 챔버는 수평으로 눕힌 원통형 구조를 가진 원통형 챔버이며, 상기 적어도 하나의 관찰창은 상기 원통형 챔버의 옆면 또는 일 밑면에 위치하는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 장치
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제1 항에 있어서, 상기 제 1 회전부는 상기 챔버의 하단에 상기 제 2 회전부는 상기 제 1 회전부의 하단에 위치하며, 상기 제 1 회전부와 상기 제 2 회전부는 각각 상기 챔버 및 상기 디텍터가 서로 평행한 평면상에서 회전하도록 하는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 장치
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제2 항에 있어서, 상기 원통형 챔버는,상기 일 밑면과 반대방향에 위치한 타 밑면의 중심을 관통하여 설치되며 상기 원통형 챔버의 중심축을 중심으로 시료를 회전시키는 시료 회전장치를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 장치
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제4 항에 있어서, 상기 원통형 챔버는,상기 시료 회전장치의 일단에 연결되고 상기 원통형 챔버의 내부에 위치하며 지면을 기준으로 수직방향 또는 수평방향이 되도록 회전할 수 있는 시료 장착대를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 장치
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제5 항에 있어서, 상기 원통형 챔버는,수직 이송부와 수평 이송부로 구성되고 상기 원통형 챔버의 옆면에 위치하여 상기 시료 장착대와 결합할 수 있으며, 상기 시료 장착대가 수직방향인 경우에 상기 수직 이송부를 통하여 상기 시료 장착대를 상하방향으로 이동시킬 수 있고, 상기 시료 장착대가 수평방향인 경우에는 상기 수평 이송부를 통하여 상기 시료 장착대를 좌우방향으로 이동시킬 수 있는 시료 조절장치를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 장치
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제1 항 또는 제2 항에 있어서,상기 제 2 회전부는 상기 제 1 회전부가 회전하는 각도의 2배의 범위내에서 회전하는 것을 특징으로 스퍼터링 장치
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8
제2 항에 있어서,상기 시료에서 산란된 형광 X선을 검출하는 형광 검출기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 장치
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제8 항에 있어서, 상기 형광 검출기는 상기 원통형 챔버의 상기 일 밑면의 중심에 위치한 관찰창을 통하여 상기 형광 X선을 검출하는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 장치
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