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방사광 스침각 흡수 분광 및 산란 실험을 위한 증착장치의 시료 홀더조립체에 있어서,본체와;상기 본체의 일측에 배치되며, 실험 대상 시료 기판을 장착하는 시료 장착유닛과;상기 본체에 장착되어, 상기 시료 장착유닛을 왕복 승강 이동시키는 승강유닛과;상기 시료 장착유닛에 연결되어, 상기 승강유닛의 구동에 의한 상기 시료 장착유닛의 승강방향의 가로 방향인 제1회전축선에 대해 상기 시료 장착유닛을 회전 운동시키는 제1회전유닛과;상기 시료 장착유닛에 연결되고, 상기 승강유닛의 구동에 의한 상기 시료 장착유닛의 승강방향에 대해 가로 방향이며 상기 제1회전축선과 상호 수직을 이루는 제2회전축선에 대해 상기 시료 장착유닛을 회전 운동시키는 제2회전유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 시료 홀더조립체
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제1항에 있어서,상기 승강유닛은,상기 본체를 왕복 승강 이동시키는 승강구동부와;상기 본체와 상기 승강구동부 사이에 배치되어, 상기 승강구동부의 구동력을 상기 본체에 전달하는 승강구동전달부를 포함하는 것을 특징으로 하는 시료 홀더조립체
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제2항에 있어서,상기 승강유닛은, 상기 본체의 승강 이동거리를 측정하는 거리측정부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 시료 홀더조립체
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제1항에 있어서,상기 제1회전유닛 및 상기 제2회전유닛은,각각 상기 시료 장착유닛을 상기 제1회전축선에 따라 회전 운동시키는 제1회전구동부 및 상기 제2회전축선에 따라 회전 운동시키는 제2회전구동부와;각각 상호 수직을 이루며 상기 시료 장착유닛과 상기 제1회전구동부 및 상기 제2회전구동부 사이에 배치되어, 상기 제1회전구동부 및 상기 제2회전구동부로부터의 구동력을 상기 시료 장착유닛에 전달하는 제1회전부 및 제2회전부를 포함하는 것을 특징으로 하는 시료 홀더조립체
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제4항에 있어서,상기 시료 장착유닛은,상기 제1회전부와 결합되어, 상기 제1회전축선으로 회전 운동되는 장착브래킷과;상기 장착브래킷 내부에 배치되고 상기 시료 기판이 장착되며 상기 제2회전부와 착탈 가능하게 결합되어, 상기 제2회전축선으로 회전 운동되는 시료 장착부를 포함하는 것을 특징으로 하는 시료 홀더조립체
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제5항에 있어서,상기 시료 장착부의 일측에는 상기 제2회전유닛을 향해 돌출된 돌출부가 마련되고, 상기 제2회전유닛에는 상기 시료 장착부를 회전 운동시키도록 상기 돌출부와 맞물리는 돌출수용부가 마련되는 것을 특징으로 하는 시료 홀더조립체
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제5항에 있어서,상기 제1회전구동부와 상기 장착브래킷을 상호 연결하는 상기 제1회전부의 양측 및 상기 제2회전구동부와 상기 시료 장착부를 상호 연결하는 상기 제2회전부의 양측은 유니버셜 조인트로 연결되는 것을 특징으로 하는 시료 홀더조립체
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제5항에 있어서,상기 시료 홀더조립체는,상기 시료 장착부에 장착되는 상기 시료 기판의 하부에 배치되어, 상기 시료 기판의 온도를 조절하는 온도조절부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 시료 홀더조립체
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방사광 스침각 흡수 분광 및 산란 실험을 위한 증착장치에 있어서,챔버와;상기 챔버 내부로 방사광을 조사하는 방사광 조사부와;상가 방사광 조사부로부터 조사된 방사광에 의해 시료 기판이 반응하도록 상기 시료 기판을 승강 및 회전 중 적어도 어느 하나로 운동시키는 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항의 시료 홀더조립체와;상기 시료 홀더조립에 장착된 시료 기판과 반응한 방사광을 검출하는 신호검출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 증착장치
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제9항에 있어서,상기 신호검출부로부터의 검출된 신호를 디스플레이하는 디스플레이부와;상기 신호검출부로부터의 신호에 기초하여, 상기 디스플레이부에 검출된 신호가 표시되도록 상기 디스플레이부를 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증착장치
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