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빔입자 가속기라인의 광학기 전방에서 빔이 진행하는 x축 방향을 따라 순차적으로 배치되어 각각 y축 및 z축 방향으로 설정된 스트로크를 가지고, x축 방향으로 서로 이격되어 빔의 파워 및 빔의 사이즈를 제어하는 1쌍의 마스크부를 포함하며,상기 마스크부는,y축 및 z축 방향으로 이동되는 스테이지 플레이트,상기 스테이지 플레이트에 장착되고 x축 방향으로 관통되는 마스크 바디,상기 마스크 바디의 x축 방향 일측 개구에 설치되는 수평 블록, 및상기 수평 블록과 교차하여 배치되어 상기 개구의 크기를 조절하는 수직 블록을 포함하는 무버블 마스크 조립체
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제2항에 있어서,상기 마스크부는,상기 마스크 바디의 y축 방향의 측면에 장착되는 수평 쿨러, 및상기 마스크 바디의 z축 방향의 평면에 장착되는 수직 쿨러를 더 포함하는 무버블 마스크 조립체
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제3항에 있어서,상기 수평 쿨러는,상기 마스크 바디 내에서 측면을 형성하며,상기 측면은,x축 방향 선에 대하여 y축 방향으로 설정된 제1 각도의 기울기를 가지는 무버블 마스크 조립체
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제3항에 있어서,상기 수직 쿨러는,상기 마스크 바디 내에서 평면을 형성하며,상기 평면은,x축 방향 선에 대하여 z축 방향으로 설정되는 제2 각도의 기울기를 가지는 무버블 마스크 조립체
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빔입자 가속기라인의 광학기 전방에서 빔이 진행하는 x축 방향을 따라 순차적으로 배치되어 각각 y축 및 z축 방향으로 설정된 스트로크를 가지고, x축 방향으로 서로 이격되어 빔의 파워 및 빔의 사이즈를 제어하는 1쌍의 마스크부를 포함하며,상기 마스크부는x축 방향에서 빔의 입력 측에 구비되는 제1 마스크부, 및상기 제1 마스크부와 이격되어 빔의 출력 측에 구비되는 제2 마스크부를 포함하고,상기 제1 마스크부는,x축 방향으로 관통되는 제1 마스크 바디의 개구에 설치되고 설정된 위치에서 -y축 방향으로 구동되는 제1 수평 블록, 및상기 제1 수평 블록과 교차하여 배치되어 상기 개구의 크기를 조절하며 설정된 위치에서 -z축 방향으로 구동되는 제1 수직 블록을 포함하는 무버블 마스크 조립체
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제7항에 있어서,상기 제2 마스크부는x축 방향으로 관통되는 제2 마스크 바디의 개구에 설치되고 설정된 위치에서 y축 방향으로 구동되는 제2 수평 블록, 및상기 제2 수평 블록과 교차하여 배치되어 상기 개구의 크기를 조절하며 설정된 위치에서 z축 방향으로 구동되는 제2 수직 블록을 포함하는 무버블 마스크 조립체
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제7항에 있어서,상기 제1 마스크부에서,상기 제1 마스크 바디의 y축 방향의 측면에 장착되는 수평 쿨러의 측면은,x축 방향 선에 대하여 y축 방향으로 설정된 제1 각도의 기울기를 가지고,상기 제1 마스크 바디의 z축 방향의 내부 하측 평면에 장착되는 수직 쿨러의 표면은,x축 방향 선에 대하여 z축 방향으로 설정된 제2 각도의 기울기를 가지는무버블 마스크 조립체
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제8항에 있어서,상기 제2 마스크부에서,상기 제2 마스크 바디의 y축 방향의 측면에 장착되는 수평 쿨러의 측면은,x축 방향 선에 대하여 -y축 방향으로 설정된 제1 각도의 기울기를 가지고,상기 제2 마스크 바디의 z축 방향의 내부 상측 평면에 장착되는 수직 쿨러의 표면은,x축 방향 선에 대하여 -z축 방향으로 설정된 제2 각도의 기울기를 가지는 무버블 마스크 조립체
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