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합성된 탄소나노튜브로부터 탄소나노튜브 섬유사를 제조하는 단계;상기 탄소나노튜브 섬유사에 기체 분자를 플라즈마 화학기상 증착시키는 단계;상기 탄소나노튜브 섬유사를 유기물로 가교 결합하는 단계;상기 탄소나노튜브 섬유사를 연신하면서 꼬는(twisting) 단계; 및상기 탄소나노튜브 섬유사를 용매에 침적시키는 단계를 포함하는 탄소나노튜브 섬유사 제조방법
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제1항에 있어서,상기 플라즈마 화학기상 증착 단계 내지 상기 용매 침적 단계의 순서를 바꾸어 제조하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 섬유사 제조방법
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제1항에 있어서,상기 플라즈마 화학기상 증착 단계에서의 온도는 상온에서부터 1,000℃까지인 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 섬유사 제조방법
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제1항에 있어서,상기 플라즈마 화학기상 증착 단계에서의 기체는, 모노 실란, 암모니아, 이산화질소, 산소, 플루오르화 탄소, 플루오르화 질소, 탄소, 수소, 트리메틸아민, 질소 또는 비활성 기체 중 하나 이상인 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 섬유사 제조방법
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제1항에 있어서,상기 플라즈마 화학기상 증착 단계에서의 압력은 0
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제1항에 있어서,상기 플라즈마 화학기상 증착 단계에서의 라디오 파워는 0
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제1항에 있어서,상기 플라즈마 화학기상 증착 단계에서의 기체의 유량은 0
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제1항에 있어서,상기 플라즈마 화학기상 증착 단계에서의 바이어스 파워는 0
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제1항에 있어서, 상기 유기물 가교 결합 단계에서의 유기물은,아젤릭 에시드 다이클로라이드(azelaic acid dichloride), 아자이드 화합물(azide compound) 또는 분자의 양끝단에 염소기, 아자이드기 또는 에폭시기를 갖는 화합물인 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 섬유사 제조방법
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제1항에 있어서,상기 유기물 가교 결합 단계는 상온에서 500℃까지의 온도 범위에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 섬유사 제조방법
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제1항에 있어서,상기 용매는 에탄올, 메탄올 또는 아세톤인 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 섬유사 제조방법
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합성된 탄소나노튜브로부터 제조된 탄소나노튜브 섬유사에 기체 분자를 증착시키는 플라즈마 화학기상 증착장치;상기 기체 분자가 증착된 탄소나노튜브 섬유사를 유기물로 가교 결합시키는 유기물 분사 장치;상기 가교 결합된 탄소나노튜브 섬유사를 연신하면서 꼬는 전동기; 및상기 꼬인 탄소나노튜브 섬유사가 침적되는 용매가 담겨진 용매 용기를 포함하는 탄소나노튜브 섬유사 제조장치
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제12항에 있어서,상기 플라즈마 화학기상 증착장치 및 유기물 분사 장치는 각각 진공 챔버 내에 형성되는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 섬유사 제조장치
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제12항에 있어서,상기 용매 용기 내부에는 상기 탄소나노튜브 섬유사를 가이드하는 한 쌍의 지지체가 설치되는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 섬유사 제조장치
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제13항에 있어서,상기 유기물 분사 장치가 형성되는 진공 챔버의 하단에는 가열 기구가 설치되는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 섬유사 제조장치
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제12항에 있어서,상기 용매 용기 일측에 형성되어 상기 탄소나노튜브 섬유사가 권취되는 탄소나노튜브 섬유사 조립체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 섬유사 제조장치
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